用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現(xiàn)有物理氣相沉積(PVD)制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源,生產過程中,薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜,按照常規(guī)技術路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材,這顯然是無法實現(xiàn)的。同時,采用合金靶材制備某些多元薄膜時,需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源,這類特殊靶材以現(xiàn)有技術難以制造。
為此,本發(fā)明研發(fā)出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法,利用本發(fā)明技術有助于新材料的研發(fā)和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發(fā)展。
武漢理工大學
2022-08-12