適用于 IC 裝備工件定位運動臺的仿真系統(tǒng)及其建模方法
本發(fā)明公開了一種適用于 IC 裝備工件定位運動臺的仿真系統(tǒng)及 建模方法,該方法包括:獲取運動臺基礎(chǔ)部件的部件模型,將所述部 件模型以學(xué)科領(lǐng)域進(jìn)行分類,構(gòu)建部件級多領(lǐng)域模型庫;選用部件級 多領(lǐng)域模型庫中的部件模型,構(gòu)建功能模塊級模型庫;選用所述功能 模塊級模型庫中的模型構(gòu)建系統(tǒng)級模型;對系統(tǒng)級模型進(jìn)行檢查,檢 查無誤后設(shè)定模型參數(shù),以完成運動臺仿真系統(tǒng)的建模。該系統(tǒng)包括部件級多領(lǐng)域模型庫、功能模塊級模型庫、系統(tǒng)級模型、模型編譯及 仿真模塊、輸出模塊。上述部件級多領(lǐng)域模型庫、功能模塊
華中科技大學(xué)
2021-04-14