一種產生寬譜帶可連續調諧相干極紫外光源的方法及裝置
本發明公開一種產生寬譜帶可連續調諧相干極紫外光源的方法及裝置,所述方法為:產生飛秒激光光束,將激光光束聚焦于工作氣體處,在真空環境下所述激光光束與所述工作氣體相互作用產生高次諧波;調整所述激光光束的入射能量或所述工作氣體的氣壓,以改變高次諧波的相位匹配條件,使得高次諧波頻率發生紅移或藍移,從而實現極紫外光源各階次諧波輻射波長的連續調諧。本發明還提供了實現上述方法的裝置。實施本發明可實現極紫外光源各階次諧波輻射波長的連續調諧。
華中科技大學
2021-04-14