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半導(dǎo)體輔材用多晶硅中碳、氮雜質(zhì)的分離去除技術(shù)

伴隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導(dǎo)致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴(yán)重影響了多晶硅電極的使用性能。 傳統(tǒng)制備技術(shù)下，設(shè)備熱場結(jié)構(gòu)單一，熔體流動性差，導(dǎo)致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項目團(tuán)隊前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導(dǎo)實(shí)現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進(jìn)而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應(yīng)分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應(yīng)用于刻蝕等半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。 本項目預(yù)期可以為半導(dǎo)體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實(shí)現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場競爭力，保護(hù)環(huán)境。

大連理工大學(xué) 2021-05-10

去除當(dāng)歸多糖提取物中蛋白質(zhì)的吸附劑的制備方法

本發(fā)明設(shè)計吸附劑技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種對當(dāng)歸粗多糖中蛋白質(zhì)去除的吸附劑的制備和應(yīng)用。在植物多糖的提取過程中，需要對粗多糖中的蛋白質(zhì)進(jìn)行去除，本發(fā)明為一種對蛋白質(zhì)具有選擇性吸附作用的吸附劑。可以實(shí)現(xiàn)對植物粗多糖中蛋白質(zhì)的選擇性去除。 技術(shù)特點(diǎn)：本發(fā)明合成了一種多孔的蛋白質(zhì)吸附劑，能夠選擇性的吸附去除植物粗多糖中的蛋白質(zhì)，而對多糖無任何吸附作用。該吸附劑對當(dāng)歸粗多糖中蛋白的去除率可以達(dá)到 81%，當(dāng)歸多糖的損失率 小于 5.0%，具有比商業(yè)采用的 sevag 法、三氯乙酸法、澄清劑法及反復(fù)凍融法等技術(shù)手段更

蘭州大學(xué) 2021-01-12

去除當(dāng)歸多糖提取物中蛋白質(zhì)的吸附劑的制備方法

當(dāng)歸，主產(chǎn)于甘肅東南部，其根可入藥，早在數(shù)千年前就已經(jīng)被人們作為滋補(bǔ)、造血、抗炎的良藥，隨著現(xiàn)代植物化學(xué)和藥理學(xué)的不斷發(fā)展，發(fā)現(xiàn)其根的主要活性成分是多糖（Carbohyd. Polym., 2012, 89,713–722）。研究表明當(dāng)歸多糖具有造血刺激、免疫調(diào)節(jié)、抗腫瘤、抗氧化、抗糖尿病等多種生物活性，同時還能起到保護(hù)胃腸道和肝臟的作用（Carbohyd. Polym., 2012, 89, 713–722），但是其結(jié)構(gòu)與生物活性的關(guān)系及作用機(jī)理尚不明確，為解決這一問題，首先應(yīng)該分離出高純度的當(dāng)歸

蘭州大學(xué) 2021-04-14

一種基于相關(guān)性去除的差分隱私數(shù)據(jù)發(fā)布方法及系統(tǒng)

一種基于相關(guān)性去除的差分隱私數(shù)據(jù)發(fā)布方法及系統(tǒng)，各數(shù)據(jù)擁有者分別對自己的原始數(shù)據(jù)集進(jìn)行 分段并得到差值數(shù)據(jù)集，對差值數(shù)據(jù)集的前兩項求和并加噪，然后同態(tài)加密后上傳給云服務(wù)提供商，云 服務(wù)提供商進(jìn)行同態(tài)解密運(yùn)算;各數(shù)據(jù)擁有者對差值數(shù)據(jù)集項進(jìn)行變換得到變換系數(shù)，加入由相互獨(dú)立 且服從高斯分布的白噪聲所組成的平穩(wěn)噪聲;數(shù)據(jù)擁有者進(jìn)行逆小波變換得到加擾后的數(shù)據(jù)集，上傳到 云服務(wù)提供商;云服務(wù)提供商利用維納濾波進(jìn)行濾波，當(dāng)數(shù)據(jù)使用者請求數(shù)據(jù)集時，云服務(wù)提供商對求 精后的數(shù)據(jù)集進(jìn)行反變換，發(fā)布給第三方數(shù)據(jù)使用者的數(shù)據(jù)項。本發(fā)明有效減少了數(shù)據(jù)計算量和交互量， 提高了資源利用率和數(shù)據(jù)可用性。

武漢大學(xué) 2021-04-13

三階式生物接觸氧化富營養(yǎng)化原水藻類及藻毒素去除技術(shù)

該技術(shù)運(yùn)用反應(yīng)器原理，將具有完全混合流特征的單階反應(yīng)器串聯(lián)組成具有推流特征的階式反應(yīng)器，大幅度提高了氨氮、可生物降解有機(jī)物、藻毒素的去除效率和生物除藻效果，并可減少后續(xù)工藝中混凝劑與消毒劑的用量，提高了飲用水的安全性。

東南大學(xué) 2021-04-10

一種用銅鈰材料活化過一硫酸鹽去除有機(jī)污染物的方法

本發(fā)明屬于水和廢水處理領(lǐng)域，公開了一種利用銅鈰復(fù)合材料(CuO?CeO2)活化過一硫酸鹽(PMS)去除水中有機(jī)污染物的方法，本發(fā)明是以單線態(tài)氧作為主導(dǎo)活性氧化種實(shí)現(xiàn)有機(jī)污染物降解的異相高級氧化方法。通過簡單的方法制得的納米復(fù)合材料具有良好的分散性、高效的催化活性，與過一硫酸鹽聯(lián)用，可實(shí)現(xiàn)多種難降解有機(jī)污染物的高效去除。本發(fā)明提出利用銅鈰復(fù)合材料通過非自由基途徑活化過一硫酸鹽產(chǎn)生單線態(tài)氧實(shí)現(xiàn)污染水體中有機(jī)污染物的去除，具有高效的污染物去除效率，擁有廣泛的應(yīng)用前景。在本發(fā)明之前，未發(fā)現(xiàn)有將銅鈰材料與過一硫酸鹽聯(lián)用的報道。本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新型高效以單線態(tài)氧為主導(dǎo)的氧化有機(jī)污染物的方法，用合成的銅鈰復(fù)合材料與過一硫酸鹽聯(lián)合，應(yīng)用到難降解有機(jī)廢水的處理和地下水高優(yōu)先級污染物的選擇性去除中，具有高效的污染物去除效率，擁有廣泛的應(yīng)用前景。

南開大學(xué) 2021-04-10

一種去除甲醛用天然沸石負(fù)載CuO納米管復(fù)合材料的制備方法

本發(fā)明屬于材料制備領(lǐng)域，具體為一種去除甲醛用天然沸石負(fù)載CuO納米管復(fù)合材料的制備方法。首先，用鹽酸對天然沸石進(jìn)行處理，并水浴加熱，攪拌、過濾、洗滌、干燥，熱處理后制備出性能穩(wěn)定的天然沸石，然后，結(jié)合浸漬工藝將天然沸石浸漬在氯化銅溶液中，以四甲基乙二胺為絡(luò)合劑，CTAB為軟模板，葡萄糖為還原劑，采用水熱法制備天然沸石負(fù)載Cu納米線，最后，采用熱處理法制備天然沸石負(fù)載CuO納米管復(fù)合光催化材料。該工藝過程簡單，成本低，便于實(shí)現(xiàn)，制備的天然沸石負(fù)載CuO納米管復(fù)合材料比表面積大，易于回收，吸附降解性能好。

天津城建大學(xué) 2021-04-11

一種新型胍類磁性離子液體及其去除非極性溶液中含硫有機(jī)物的用途

本發(fā)明涉及一種磁性離子液體，特指基于胍基官能團(tuán)的離子液體的制備方法及在萃取脫除非極性溶液中含硫有機(jī)物的用途。其結(jié)構(gòu)如通式（I）所示，該類離子液體是典型的室溫離子液體，具有很低的熔點(diǎn)及很高的沸點(diǎn)，室溫呈液態(tài)，蒸汽壓低，穩(wěn)定性好，與非極性溶劑互溶度極低；具有極高的脫硫效率，可在3~6min達(dá)到脫硫的萃取平衡；選擇性高，不會對原來的非極性溶液產(chǎn)生污染及著色。該發(fā)明的磁性離子液體之中，當(dāng)n=1.5~2時，具有很高的順磁性，其比磁化系數(shù)大于59.1×10-6emu/g,優(yōu)于已有的報道。因此，萃取脫硫結(jié)束后可以通過外加磁場的方法方便地實(shí)現(xiàn)離子液體和非極性溶劑的分離。該類磁性離子液體通過加水稀釋并用四氯化碳反萃取的方法能恢復(fù)其性能，并且可以循環(huán)多次使用而不會引起脫硫效率的明顯降低。脫除的含硫芳環(huán)化合物也能通過減壓蒸餾富集并實(shí)現(xiàn)回收利用。

四川大學(xué) 2017-12-28

一種利用鐵錳雙相摻雜石墨烯激活單過硫酸鹽去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法

一種利用鐵錳雙相摻雜石墨烯激活單過硫酸鹽去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法，它涉及一種去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法。本發(fā)明的目的是要解決現(xiàn)有方法去除水中內(nèi)分泌干擾物的去除效率低，成本高的問題。方法：一、將單過硫酸鹽與預(yù)處理的水混合；二、調(diào)節(jié)反應(yīng)pH值；三、制備鐵錳雙相摻雜石墨烯；四、投加鐵錳雙相摻雜石墨烯；五、采用外磁場分離鐵錳雙相摻雜石墨烯，即完成一種利用鐵錳雙相摻雜石墨烯激活單過硫酸鹽去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法。使用本發(fā)明的方法去除水中內(nèi)分泌干擾物的去除率可達(dá)85％～96％。本發(fā)明可以去除水中殘余內(nèi)分泌干擾物。

四川大學(xué) 2016-09-13

一種利用鈷摻雜磁性氧化還原石墨烯協(xié)同過硫酸鹽去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法

一種利用鈷摻雜磁性氧化還原石墨烯協(xié)同過硫酸鹽去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法，它涉及一種去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法。本發(fā)明的目的是要解決現(xiàn)有去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法去除效果差，成本高和產(chǎn)生有毒副產(chǎn)物的問題。方法：一、將過硫酸鹽與預(yù)處理的水混合；二、調(diào)節(jié)反應(yīng)pH值；三、制備鈷摻雜磁性氧化還原石墨烯；四、投加鈷摻雜磁性氧化還原石墨烯；五、采用外磁場分離鈷摻雜磁性氧化還原石墨烯，即完成一種利用鈷摻雜磁性氧化還原石墨烯協(xié)同過硫酸鹽去除水中內(nèi)分泌干擾物的方法。使用本發(fā)明的方法去除水中內(nèi)分泌干擾物的去除率可達(dá)88％～95％。本發(fā)明可以去除水中殘余內(nèi)分泌干擾物。

四川大學(xué) 2016-09-13