一種掃描電子顯微鏡中原位高溫微觀力學測試裝置
本實用新型公開了一種掃描電子顯微鏡中原位高溫微觀力學測試裝置,包括控制系統、拉伸測試裝置、加熱裝置及固定裝置,拉伸測試裝置設置有一容置空間,加熱裝置設置于容置空間內,拉伸測試裝置與加熱裝置的底端均與固定裝置連接,固定裝置的底端與掃描電鏡的樣品支撐架固定連接;拉伸測試裝置、加熱裝置及固定裝置均設置在掃描電子顯微鏡的腔室內,掃描電子顯微鏡、拉伸測試裝置及加熱裝置均與控制系統電連接。本實用新型中測試裝置結構緊湊,可方便安裝在顯微鏡中,加熱裝置的設置使測試能夠在高溫載荷條件下進行,方便實現掃描電子束對高溫載荷和應力載荷作用下測試樣品原位成像動態觀察,同時獲取同一觀察微區域中樣品的成分信息譜及晶體結構信息圖。
浙江大學
2021-04-13