一種六自由度磁浮微動(dòng)臺(tái)
本發(fā)明涉及一種六自由度磁浮微動(dòng)臺(tái),包括布置在微動(dòng)臺(tái)動(dòng)子基板的兩自由度電磁力驅(qū)動(dòng)單元,驅(qū)動(dòng)微動(dòng)臺(tái)實(shí)現(xiàn) X、Y、Z、θ<sub>x</sub>、θ<sub>y</sub>、θ<sub>z</sub>6 個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)。每個(gè)兩自由度電磁力驅(qū)動(dòng)單元包括粘接永磁體、豎直向、水平環(huán)繞線圈,粘接永磁體由三塊磁化方向不同的永磁體粘接而成,固定在正方形托盤底部;豎直向線圈提供垂向力,水平環(huán)繞線圈提供水平力,二者都固定在定子上。本發(fā)明線圈部分磁通密度大,磁感線方向、電流方向、目標(biāo)推力方向相互正交,使其在單位電流下獲得較大推力,由電磁力直接驅(qū)動(dòng),不存在機(jī)械摩擦,具有較高的位移分辨率,而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,易于安裝調(diào)試,可用于在微米行程實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位的超精密加工和半導(dǎo)體制造中。
華中科技大學(xué)
2021-04-11