光晶體管結(jié)構(gòu)的柔性紫外探測器
本發(fā)明涉及提出一種無機(jī)鈣鈦礦光晶體管結(jié)構(gòu)的紫外探測器。基底(1)為玻璃基底,在基底(1)上制備CsPbX3薄膜(2)作為有源層,在CsPbX3薄膜(2)表面制備同物質(zhì)的CsPbX3量子點(diǎn)(5)摻雜的PMMA有機(jī)層(4)作為柵絕緣層,以此為紫外光感應(yīng)窗口;薄膜晶體管的源極(3.1)、漏Au電極(3.2)分別位于CsPbX3薄膜(2)上的兩邊,F(xiàn)TO柵極(6)位于CsPbX3薄膜(2)的上的中間,在薄膜晶體管的源極(3.1)、漏Au電極(3.2)和FTO柵極(6)調(diào)制下,獲得光生載流子分離、轉(zhuǎn)換的電信號讀取、放大的集成功能,以實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)度的紫外信號探測。光晶體管探測器可采用如圖1所示的頂柵結(jié)構(gòu),也可以采用如圖2所示的底柵結(jié)構(gòu)。以上兩種結(jié)構(gòu)可制備在玻璃基板上,也可以制備在柔性基板上形成底柵或頂柵結(jié)構(gòu)的柔性光晶體管紫外探測器。
東南大學(xué)
2021-04-11