一種原位橢圓偏振測量裝置
一種原位橢圓偏振測量裝置,包括密封蓋(100)上設(shè)置供偏振光入射與反射的入射孔(106)和反射孔(107),并在外開口處設(shè)置密封的入射透光口(108)和反射透光口(109),從而可以保持薄膜反應(yīng)腔密閉狀態(tài)下,在整個(gè)原子層沉積過程中隨時(shí)測量薄膜厚度,并且通過光路孔的腔內(nèi)開口與反應(yīng)腔的進(jìn)氣口與出氣口錯(cuò)開設(shè)置,使反應(yīng)腔的氣體流動不易進(jìn)入光路孔,從而避免在光路孔內(nèi)壁沉積反應(yīng)物,無需復(fù)雜的定期清洗,整個(gè)測量裝置結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,使用方便。
華中科技大學(xué)
2021-04-14