一種用于薄膜太陽能電池的碳基光子晶體背反射器及其制備方法
本發明公開了一種用于薄膜太陽能電池的碳基光子晶體背反射器,由兩種結構不同的光子晶體疊加構成,其結構為[A/B]mAE[C/D]nC,其中A;B;C;D;E的厚度分別為d1=50nm,d2=100nm,d3=70nm,d4=140nm,d5=120nm,m;n為兩種光子晶體的周期數,m取3,n取4。其制備方法是:RF-PECVD法在普通載玻片上交替沉積a-Si:H和a-C薄膜。本發明的碳基光子晶體背反射器,具有一維光子晶體全角反射,可實現600—1300nm光波段平均75%的反射率,增加光波在太陽能電池吸收層中的傳播光程,提高光子利用效率,增加光電流密度和光電轉換效率。制備工藝簡單。
河北師范大學
2021-05-03