一種基于納米位移計(jì)量傳感器的納米微位移檢測儀
本發(fā)明提出一種光學(xué)倍頻的納米位移計(jì)量傳感器,包括激光器、偏振分光棱鏡、1/4 玻片、角錐棱鏡、平面反射鏡、偏振片、光電探測 器和底座。本發(fā)明的傳感器采用光學(xué)倍頻技術(shù),直接在光學(xué)結(jié)構(gòu)上將 光程差進(jìn)行 8 細(xì)分,同時(shí)采用偏振分光棱鏡和 1/4 玻片組合減少了光 能損失,保證了干涉條紋的強(qiáng)度,具有結(jié)構(gòu)簡單,精度高,測量范圍 大,抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn),并且相比于單路光束系統(tǒng)在某種程度上可 減小非直線運(yùn)動(dòng)所造成的誤差。
華中科技大學(xué)
2021-04-14