三維微動(dòng)并聯(lián)工作臺(tái)(博實(shí))
產(chǎn)品詳細(xì)介紹:三維微動(dòng)并聯(lián)工作臺(tái)(三自由度并聯(lián)機(jī)器人) 采用閉環(huán)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),壓電陶瓷既作為驅(qū)動(dòng)元件又作為支撐桿件,同時(shí)實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)、檢測(cè)一體化的新型3-RPS 微動(dòng)并聯(lián)機(jī)器人。通過壓電陶瓷直接驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)繞X、Y方向的轉(zhuǎn)動(dòng)和Z方向的平動(dòng)。X、Y方向的轉(zhuǎn)角可達(dá)±0.8毫弧度,轉(zhuǎn)角分辨率可達(dá)0.8微弧度;Z方向位移可達(dá)40微米,位移分辨率可達(dá)4納米。主要應(yīng)用于空間、隔震、醫(yī)療、光學(xué)和工業(yè)等領(lǐng)域。
哈爾濱工業(yè)大學(xué)博實(shí)精密測(cè)控有限責(zé)任公司
2021-08-23