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量程：－80m/s2～80m/s2，分辨率0.4m/s2；可進(jìn)行自由落體或超重失重實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹特點(diǎn)：傳感器：微機(jī)械電容、充氮阻尼、密封封裝內(nèi)置溫度傳感器（用于輸出溫度補(bǔ)償）全量程線性標(biāo)定DC/AC 加速度響應(yīng)可提供非標(biāo)量程定制服務(wù)傳感器已內(nèi)置放大信號(hào)處理符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用：地震監(jiān)測(cè) 消費(fèi)電子 機(jī)器人安全系統(tǒng) 沖撞測(cè)試 機(jī)械控制振動(dòng)檢測(cè) 模態(tài)分析 振動(dòng)分析儀器儀表 車輛動(dòng)態(tài)性能測(cè)試參數(shù)：傳感器性能：（數(shù)據(jù)為8~32V供電，溫度輸出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 單位輸入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 g頻率響應(yīng)（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3000 Hz靈敏度（差分輸出） 2000 800 400 160 80 40 20 mV/g輸出噪聲（差分模式，典型值） 12 14 15 38 75 150 300 μg/root HZ可承受最大沖擊（0.1ms） 2000 g傳感器性能：（除注明外，數(shù)據(jù)為8~32V供電，溫度輸出 25℃ ，差分模式得出）性能參數(shù) 最小值 典型值 最大值 單位橫軸靈敏度 2 3 %偏置標(biāo)定誤差 -002   4 滿量程的% -005~-200   1.5 偏置溫漂TC=-55~125℃ -002 100 200 PPM%滿量程/℃ -005~-400 50 100 標(biāo)定誤差比例因子 1 2 %溫漂比例因子TC=-55~125℃ -150     +150 Ppm/ ℃非線性（±90%滿量程） -002~-050 0.15 0.5 滿量程的% -100 0.25 1.00 -200 0.4 1.5 電源抑制比 65 DB輸出阻抗 1 歐姆供電電壓 8 32 V功耗 27 30 mA質(zhì)量  21 克

已有樣品/n針對(duì)產(chǎn)業(yè)界對(duì)MEMS 代工的迫切需求，微電子所科研人員以高精度三軸加速度計(jì)開發(fā)為牽引展開攻關(guān)，致力于在現(xiàn)有8 英寸硅工藝線上實(shí)現(xiàn)與CMOS 工藝兼容的通用MEMS 加工平臺(tái)技術(shù)，成功開發(fā)出大深寬比MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕、MEMS 與ASIC 晶圓堆疊、TSV 電學(xué)連接及晶圓級(jí)蓋帽鍵合封裝等關(guān)鍵工藝技術(shù)的量產(chǎn)，最終實(shí)現(xiàn)了TSV的ASIC 晶圓、MEMS 結(jié)構(gòu)晶圓及蓋帽晶圓的三層鍵合工藝，并順利交付首款三軸加速度計(jì)產(chǎn)品。

一種微加速度振動(dòng)裝置，包括外殼和安裝于外殼內(nèi)的激振組件，激振組件由磁鋼、磁軛、動(dòng)圈、動(dòng)軸和復(fù)位彈簧組件組成，磁鋼和磁軛固定，動(dòng)圈和動(dòng)軸固定，動(dòng)圈由動(dòng)圈骨架和纏繞于動(dòng)圈骨架上的線圈組成，磁鋼、磁軛、動(dòng)圈和動(dòng)軸同軸，磁鋼、磁軛、動(dòng)圈和動(dòng)軸依次從下向上布置；復(fù)位彈簧組件設(shè)置于動(dòng)軸與外殼之間，復(fù)位彈簧組件具有提供使動(dòng)軸向下的預(yù)緊力的第一復(fù)位彈簧和提供使動(dòng)軸向上的預(yù)緊力的第二復(fù)位彈簧；外殼的頂部設(shè)有允許動(dòng)軸頂面外露的通孔，動(dòng)軸的外露面作為工作臺(tái)面；外殼通過吊裝彈簧懸掛于吊裝支架上。本實(shí)用新型具有能有效隔離外界振動(dòng)，使激振組件不受外界干擾振動(dòng)的影響，同時(shí)能夠提供微加速度震源的優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹特點(diǎn)：傳感器：微機(jī)械電容、充氮阻尼、密封封裝低噪音：5μg/√HZ （2g 滿量程為例）內(nèi)置溫度傳感器（用于輸出溫度補(bǔ)償）全量程線性標(biāo)定DC/AC 加速度響應(yīng)可提供非標(biāo)量程定制服務(wù)傳感器已內(nèi)置放大信號(hào)處理符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用：地震監(jiān)測(cè) 消費(fèi)電子 機(jī)器人安全系統(tǒng) 沖撞測(cè)試 機(jī)械控制振動(dòng)檢測(cè) 模態(tài)分析 振動(dòng)分析儀器儀表 車輛動(dòng)態(tài)性能測(cè)試參數(shù)：傳感器性能：（數(shù)據(jù)為5V供電，溫度輸出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 -400 單位輸入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 ±400 g頻率響應(yīng)（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3500 0-4000 Hz靈敏度（差分輸出） 2000 800 400 160 80 40 20 10 mV/g輸出噪聲（差分模式，典型值） 5 7 10 25 50 100 200 400 μg/root HZ可承受最大沖擊（0.1ms） 2000 5000 g傳感器性能：（除注明外，數(shù)據(jù)為5V供電，溫度輸出 25℃ ，差分模式得出）性能參數(shù) 最小值 典型值 最大值 單位橫軸靈敏度 2 3 %偏置標(biāo)定誤差 -002 2 4 滿量程的% -005~-200 1 2 偏置溫漂TC=-55~125℃ -002 100 300 PPM%滿量程/℃ -005~-200 50 200 標(biāo)定誤差比例因子 1 2 %溫漂比例因子TC=-55~125℃ -250 250 Ppm/ ℃非線性（±90%滿量程） -002~-050 0.15 0.5 滿量程的% -100 0.25 1.0 -200 0.4 1.5 -400 0.7 2.0 電源抑制比 25 DB輸出阻抗 90 歐姆供電電壓 4.75 5.0 5.25 V功耗 8 10 mA質(zhì)量（L型） 0.62 克

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±2g ~ ±100g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ >11.5KHz 供電電源：5V輸出信號(hào)：±4V差分信號(hào)輸出/0.5~4.5V單端信號(hào)輸出工作溫度：-55~125℃    Colibrys 的MS8000加速度傳感器是廣泛的應(yīng)用于慣性和傾斜/傾角領(lǐng)域的傳感器. 強(qiáng)大而低功耗的設(shè)計(jì)加上出色的零位穩(wěn)定性保證了MS8000 MEMS加速度傳感器的很高的可靠性。Colibrys MS8000系列是一個(gè)電容式MEMS加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器等元件組成。    該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。該產(chǎn)品的零位長期穩(wěn)定度和比例因子通常都小于全測(cè)量范圍的0.1 ％。對(duì)于±2g的MS8002.D型, 在寬帶>800Hz(at -3dB)時(shí)，典型的零位溫度系數(shù)為100μg /oC,比例因子溫度系數(shù)為100ppm/oC。 特征 優(yōu)秀的零位穩(wěn)定性 ±2g，±10g，±30g， ±100g 全部測(cè)量范圍 惡劣環(huán)境（沖擊，振動(dòng)，溫度） 低成本高指標(biāo) 低功率模擬電壓輸出 防止掉電 LCC 48 集成溫度傳感器 應(yīng)用 慣性傳感 用于航天航空IMU / AHRS 航空電子設(shè)備 無人機(jī) 陸地導(dǎo)航 定向鉆井（油和氣） 傾角感應(yīng) 火車應(yīng)用 交通運(yùn)輸 穩(wěn)定裝置 參數(shù) 所有數(shù)值特指在溫度20 °C (+86°F)和5伏工作電壓條件下，除非另外說明  單位  MS8002.D  MS8010.D  MS8030.D  MS8100.D 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 100g 封裝  LCC 48  LCC 48  LCC 48  LCC 48 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50  < 150  < 500 大于48小時(shí)的零位穩(wěn)定性[1]  mg typ.  < 0.05  < 0.25  < 0.75  < 2.5 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[2]  mg typ. (max.)  1.5 (< 5)  7.5 (< 25)  22 (< 75)  75 (< 250) 開/關(guān)重復(fù)性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 7.5 零位溫度系數(shù)[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  1.5  5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 20 比例因子(輸出靈敏度)(K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  20 ± 1 一年期比例因子[2]  ppm typ. (max.)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000) 比例因子溫度系數(shù)[3]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 5.5 非線性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  < 0.9  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 1 帶寬[4]  Hz  0 to ≥ 200  0 to ≥ 200  0 to ≥ 100  0 to ≥ 200 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz)  ?V/?Hz typ.  11  11  11  11  max.  < 18  < 18  < 18  < 18 諧振頻率  kHz  1.4  3.7  6.3  11.5 [1]: 按IEEE 1293-1998 12.3.8標(biāo)準(zhǔn)：20°C條件下連續(xù)48h測(cè)量，測(cè)量前產(chǎn)品一小時(shí)穩(wěn)定準(zhǔn)備。[2]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001標(biāo)準(zhǔn): 打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C環(huán)境中,在 -40°C 到125°C 之間循環(huán),在-55°C 和 85°C環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊。[3]: 溫度系數(shù)是定義在 –40°C 到 20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線性的.[4]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±2g ~ ±10g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ > 800Hz 供電電源：3V輸出信號(hào)：±2V差分信號(hào)輸出/0.5~2.5V單端信號(hào)輸出工作溫度：-40~125℃    Colibrys 的 MS7000 加速度傳感器是廣泛的應(yīng)用于振動(dòng)、慣性和傾斜/傾角領(lǐng)域的傳感器. 強(qiáng)大而低功耗的設(shè)計(jì)加上出色的零位穩(wěn)定性與相對(duì)高的帶寬的結(jié)合保證了M7000 MEMS 加速度傳感器很高的穩(wěn)定性。MS7000 系列是一個(gè)電容式 MEMS 加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗 ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。該產(chǎn)品的零位長期穩(wěn)定度和比例因子通常都小于全測(cè)量范圍的0.1％。對(duì)于±2g 的 MS7002.3 型, 在寬帶>800Hz(at -3dB)時(shí)，典型的零位溫度系數(shù)為 100 μg /oC,比例因子溫度系數(shù)為100ppm/oC。 特征 具有良好的高帶寬零位穩(wěn)定性 ± 2g, ±10g 全測(cè)量范圍 高沖擊 低成本高性能 低功率模擬電壓輸出 TO8包裝 應(yīng)用 振動(dòng)測(cè)量        數(shù)據(jù)記錄器                 HUMS                 結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè) 慣性測(cè)量        鉆井（石油和天然氣）                 民用航空 傾角測(cè)量        儀器儀表                 交通運(yùn)輸參數(shù) Specifications  所有數(shù)值特指在溫度20 °C (+86°F)和3伏工作電壓條件下，除非另外說明。  Units  MS7002.3  MS7010.3 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g 封裝  TO8, 12 管腳  TO8, 12 管腳 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[1]  mg typ. (max.)  2 (< 5)  10 (< 25) 零位溫度系數(shù)[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  500 ± 4  100 ± 1 一年期比例因子穩(wěn)定性[2]  ppm typ. (max.)  500 (< 1000)  500 (< 1000) 比例因子溫度系數(shù)[3]  ppm / °C typ.  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  % max  1  1 分辨率/閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6 非線性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  g max.  < 0.02  < 0.09 帶寬[4]  Hz  0 to ≥ 800  0 to ≥ 600 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz)  ?V/Hz typ.  7  7  max.  < 18  < 18 諧振頻率  kHz  1.4  3.7[1]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001標(biāo)準(zhǔn): 打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C環(huán)境中,在 -40°C 到125°C 之間循環(huán),在-55°C 和 85°C環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊。[2]: 溫度系數(shù)是定義在–40°C到20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線性的.[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±2g ~ ±200g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ > 1.0 kHz @ 5%供電電源：5V輸出信號(hào)：±4V差分信號(hào)輸出/0.5~4.5V單端信號(hào)輸出工作溫度：-40~125℃特征 超小型LCC20 封裝(8.9mm x 8.9mm) 振動(dòng)傳感  ±2g 到 ±200g 全部測(cè)量范圍   大帶寬(DC 到 > 1.0 kHz @ 5%) 優(yōu)秀的長期穩(wěn)定性 適應(yīng)惡劣環(huán)境（沖擊，振動(dòng)，溫度） 低功率模擬電壓輸出穩(wěn)壓保護(hù) 配有溫度傳感器 應(yīng)用直升機(jī)和飛機(jī)試驗(yàn)航天結(jié)構(gòu)/模態(tài)分析航天飛行和顫振試驗(yàn)直升機(jī)健康與使用監(jiān)控系統(tǒng)汽車測(cè)試和碰撞測(cè)試鐵路技術(shù)轉(zhuǎn)向架監(jiān)測(cè)與診斷工業(yè)試驗(yàn)介紹：    Colibrys VS9000 加速度計(jì)是一種新的超小型高端產(chǎn)品，致力于在振動(dòng)傳感領(lǐng)域的應(yīng)用。大帶寬，高耐用度和低功耗的設(shè)計(jì)以及優(yōu)秀的零位穩(wěn)定性，這種結(jié)合保證了 VS9000 MEMS 加速度傳感器卓越的可靠性。ColibrysVS9000 系列是一個(gè)電容式 MEMS 加速度計(jì)，它是由一個(gè)體硅微加工工藝制成的硅表頭元件，一個(gè)低功耗 ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微處理器以及一個(gè)溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，耐用的和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。這種可變電容傳感器可專門用來提供大的帶寬。對(duì)于± 100g,（VS9100.D），帶寬是從直流到 > 1.0 千赫@ 5％。此產(chǎn)品還得益于MS9000 系列的高穩(wěn)定性，低噪音和低偏置和溫度系數(shù)比例因子。參數(shù)VS9000 side view0.8 所有數(shù)值特指在溫度20°C (+86°F)和5伏工作電壓條件下，除非另外說明              Units VS9002.D  VS9010.D  VS9030.D  VS9050.D  VS9100.D  VS9200.D 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 200g 封裝  LCC20 (non magnetic, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 帶寬, (± 5 %) [3]  Hz  0 to > 250  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000 諧振頻率  kHz  1.3  2  4  5.1  7.2  11 噪聲譜密度  V/Hz typ.  25  25  25  25  25  25 [0;400 Hz]  Max.  27  27  27  27  27  27 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1000 1年期的時(shí)間零位穩(wěn)定性[1]  Mg typ. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  37.5 (<125)  75 (<250)  150 (<500) 開/關(guān)重復(fù)性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 15.0 零位溫度系數(shù) [2]  mg/℃ typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 10.0  mg/℃max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 40 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  10 ± 1 一年期的比例因子穩(wěn)定性 [1]  ppm typ. (max.)  300(<1000)  300(< 000)  300(< 000)  300(<1000)  300(<1000)  300(< 1000) 比例因子溫度系數(shù) [2]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  100  100  min. / max. -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 11.0 非線性度 [4]  %ofFSmax < 0.8  < 1  < 1  < 1  < 1  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2 [1]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001 標(biāo)準(zhǔn)：打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C 環(huán)境中，在 -40°C 到125°C 之間循環(huán)，在-55°C 和 85°C 環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊（在6000g 單次沖擊）。[2]: 溫度系數(shù)是定義在 –40°C 到 20°C 溫度范圍, 其中溫度變化是線性的。[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到.5%以下。[4]: 200g 非線性規(guī)格適用的最大量程是100g.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介測(cè)量范圍：±2g，±10g，±30g， ±100g非線性：< 0.8%FS頻響：1400~26000Hz供電電源：5V輸出信號(hào)：0.5 到4.5 VDC 之間， (在 0g時(shí)，為2.5 V ± 5mV)工作溫度：-55~125℃特點(diǎn)：超小型LCC20 封裝(8.9mm x 8.9mm)±2g，±10g，±30g， ±100g 全部測(cè)量范圍優(yōu)秀的零位穩(wěn)定性適應(yīng)惡劣環(huán)境（沖擊，振動(dòng)，溫度）達(dá)到MIL-STD-833-E 標(biāo)準(zhǔn)低功率模擬電壓輸出穩(wěn)壓保護(hù)應(yīng)用：用于航空航天IMU / AHRS       航空電子設(shè)備        無人機(jī)陸地及海洋導(dǎo)航                定向鉆井            地球物理火車應(yīng)用     Colibrys 的MS9000慣性加速度傳感器是一種新的超小型產(chǎn)品，適用于惡劣的使用環(huán)境和耐用度要求極高的應(yīng)用領(lǐng)域。這種換代產(chǎn)品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封裝，具有從±2g 到±250g廣泛的加速度測(cè)量范圍。該傳感器可在較大的溫度范圍應(yīng)用并且全使用壽命期間零位穩(wěn)定保證在幾毫g以內(nèi)。 　　Colibrys MS9000系列是一個(gè)電容式MEMS加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器以及一個(gè)溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。 　　參數(shù)：   Units  MS9002.D MS9010.D  MS9030.D  MS9050.D  MS9100.D  MS9250.D 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 250g 封裝  LCC20 (無磁性, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1250 大于48小時(shí)的零位穩(wěn)定性 [1]  mg typ.  < 0.05  < 0.25  < 0.75  < 1.25  < 2.25  < 6.25 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[2]  mgtyp. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  38 (<125)  75 (<250)  188 (<625) 開/關(guān)重復(fù)性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 18.8 零位溫度系數(shù)[3]  mg/ ℃typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 12.5  mg/℃max.   ± 0.4 ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 50 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  8 ± 1 一年期比例因子 [2]  ppmtyp.(max.)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000) 比例因子溫度系數(shù) [3]  ppm/℃typ.  100  100  100  100  100  100  min./max.  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  Mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 12.5 非線性度   %ofFS max.  < 0.8  < 0.9  < 0.9  < 0.9  < 1  < 1  gmax. < 0.02 < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2.5 帶寬[4]  Hz  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100 噪聲譜密度  V/Hztyp.  18  18  18  18  18  18 [0 ; 9kHz)  max.  24  24  24  24  24  24 諧振頻率  kHz  1.4  3.7  6.3  11  15  26 

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±4g 頻響：0~ >1000Hz 供電電源：6~15V工作溫度：-40~85℃    Colibrys公司設(shè)計(jì)和開發(fā)SiFlexTM SF2005加速度計(jì)是用于地震等“劇烈震動(dòng)”狀態(tài)的遙感應(yīng)用。電容式的MENMS產(chǎn)品是最優(yōu)秀的“數(shù)字檢波器”之一， 被廣泛地用于需要超低噪聲測(cè)量和低成本情況下的地震和振動(dòng)傳感。具有：寬廣的動(dòng)態(tài)范圍，優(yōu)異的帶寬，低失真，高抗沖擊性，熱穩(wěn)定性好等特性，使之非常適合于建筑物監(jiān)測(cè)，工業(yè)及過程控制和結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)等應(yīng)用。作為傾角傳感器，它還為精密測(cè)量提供了高清晰的分辨率。　　SF2005采用雙極工作電源，電壓為± 6V至± 15V，并且在± 6V時(shí)的典型電流消耗為12mA。全線性加速度的范圍是±4g, 相應(yīng)的靈敏度為0.8V /g。SF2005S和SF2005SN可在從-40°C至+85°C的溫度范圍內(nèi)工作。可承受高達(dá)1500克沖擊后而不會(huì)降低性能。在整個(gè)量程范圍的頻率響應(yīng)是從直流電到大于1000Hz　　特征　　極低的噪音水平：800 ngrms /√Hz　　寬廣的動(dòng)態(tài)范圍 114 分貝（100Hz）　　頻率響應(yīng)：從直流至 1000 赫茲范圍內(nèi)　　± 4G 全部測(cè)量范圍　　模擬加速度傳感器　　自我測(cè)試輸入　　應(yīng)用　　地震遙感　　結(jié)構(gòu)/建筑物監(jiān)測(cè)　　工業(yè)/過程監(jiān)控　　強(qiáng)烈震動(dòng)　　地球物理　　鐵路技術(shù) 單位 SF2005S.A / SF2005SN.A 線性輸出范圍  g 峰值  ±4 輸出范圍  g 峰值  ±4.5 靈敏度  V/g  0.8 (1.6) 頻率響應(yīng)（全信號(hào)）  Hz  DC to >1000 動(dòng)態(tài)范圍(100 Hz BW)  dB  114 噪音 (10 to 1000 Hz)  ngrms/√Hz  800 交叉軸抑制  dB  > 40 沖擊極限（0.5ms ?sine）  g 峰值  >1500 工作溫度范圍  ℃ -40 to +85 靈敏度溫度系數(shù)  ppm/℃ (re: ±1g)  200 直流偏移（最大值）  mg  ±300 熱偏移系數(shù)  g/℃ (re: ±1g)  ±300 線性誤差  % 全量程(re: ±1g)  ±0.1 輸入電壓  伏特DC  ±6 到±15 靜態(tài)電流（6VDC）  毫安（典型值）  11.6