一種原子力探針位姿調節裝置
本發明公開了一種原子力探針位姿調節裝置,包括探針座,調節 機構和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定;調節機構包 括由下至上的第一調節部件、第二調節部件、第三調節部件、第四調 節部件以及第五調節部件,分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左 右水平、上下旋轉、上下俯仰以及上下豎直位姿調節;連接頭用于與 原子力探針測量系統的顯微物鏡相連。本發明能夠實現原子力探針任 意姿態的細微調節,各個調節動作相互獨立,互不影響,提高了探針 姿態的調節精度;且能夠對調節后的位姿進行鎖定,使其保持穩定, 進一步保證原子力探針測量系統的穩定性和精度。
華中科技大學
2021-04-11