TCS208F 氣體熱導(dǎo)分析儀
產(chǎn)品詳細(xì)介紹
TCS208F采用先進(jìn)的MEMS加工技術(shù)生產(chǎn),利用被測組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護(hù)簡單等優(yōu)點(diǎn)。可廣泛應(yīng)用于天然氣,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等氣體成份檢測,也可用于測量非常小的氣體容積變化。
測量精度高
靈敏度高
集成溫度補(bǔ)償,漂移小
體積小,響應(yīng)速度快
可以測量微小的氣體容量
高性價(jià)比
TO8封裝,抗沖擊能力強(qiáng)
詳細(xì)介紹:
1. 最大限值
最小
典型
最大
單位
熱功率P(Rm1+Rm2):
—
—
30
mW
測量溫度Tm
—
—
180
°C
環(huán)境溫度
-20
—
+85
°C
氣體壓力(1)
—
—
200
bar
注:由于膜的熱時(shí)間常數(shù)短,短時(shí)間的加過高的熱功率會毀壞傳感器。
2. 參數(shù)說明:
最小
典型
最大
單位
電阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C)
92
100
115
?
電阻,Rt1,Rt2
220
240
275
?
商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2}
1.13
1.2
1.27
1
阻抗差,Rm1 - Rm2
-2.0
—
+2.0
?
α=溫度系數(shù),( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
4.8(2)
5.5
5.9
10-3·K-1
G =幾何系數(shù)(3)
—
3.6
—
mm
τm =膜的熱時(shí)間常數(shù)
—
<5
—
ms
τdiffusion =氣體交換的時(shí)間常數(shù)
—
<100
—
ms
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2}
—
0.001
0.01
%/week
散射結(jié)構(gòu)的體積
—
0.2
—
mm3
保持干凈的周圍環(huán)境空間大小
—
100
—
mm3
基礎(chǔ)材料
硅,采用蝕刻技術(shù)獲得微觀結(jié)構(gòu)
尺寸結(jié)構(gòu): 包括底座
不包括底座
3mm × 3mm × 1mm
13mm ? × 15.4mm
暴露在空氣中的材料
Si, SiOxNy, 金, 環(huán)氧材料
注釋: (1) 根據(jù)供應(yīng)商的說明書對于適當(dāng)?shù)脑O(shè)備提供的壓力參數(shù)
(2) α的最小值只適用于與低規(guī)格電壓輔助源結(jié)合的情況. 產(chǎn)品會不斷的改良使它更接近于DIN 43760的規(guī)格.
(3) 因數(shù)G是由內(nèi)部的傳感器的機(jī)構(gòu)決定的.
傳感器的機(jī)械測試:
振動: 符合IEC 68-2-6 附錄B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1階/分鐘
沖擊: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),徑向和軸向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.
上海維逸測控技術(shù)有限公司
2021-08-23