本發(fā)明公開(kāi)了一種真空下多探針摩擦磨損測(cè)試及原位形貌探測(cè)系統(tǒng),包括主體和外部手動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置;所述主體包括腔體上蓋、安裝在腔體上蓋上面用于密封的光窗頂蓋和安裝腔體上蓋內(nèi)部的多探針組件;其能在高真空下實(shí)現(xiàn)對(duì)具有不同功能的SPM針尖切換,使摩擦學(xué)測(cè)試及原位形貌探測(cè)在高真空環(huán)境下可相繼完成,且原位定位精度較高。由于更換針尖時(shí)無(wú)須打開(kāi)腔體,確保了實(shí)驗(yàn)樣品不受外界因素干擾,使實(shí)驗(yàn)所得結(jié)果更為真實(shí)可信;不僅如此,也節(jié)省了實(shí)驗(yàn)前期設(shè)備調(diào)整校準(zhǔn)時(shí)間,提高實(shí)驗(yàn)效率。
國(guó)內(nèi)領(lǐng)先
前景優(yōu)越