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一種基于紫外光激發的白光發射器件及其制備方法

2021-04-11 00:00:00
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本發明涉及一種半導體發光與顯示器件的制備方法,具體地說,是涉及一種基于紫外光激發的白光發射器件及其制備方法,屬光電集成技術領域。該制備方法包括如下步驟:清洗硅片、在清洗后的硅片上制備多孔硅、在多孔硅上沉積氮化鋁薄膜、用紫外光照射氮化鋁薄膜,得到在可見光區發光的白光發射器件。

技術推廣意向:半導體發光與顯示領域

技術創新:本發明具有如下的有益效果:器件結構簡單,無污染,制備成本低;不需要熒光粉,發光效率高;發光性能穩定,光譜波長范圍寬。

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