本發明屬于光電子領域,涉及一種異質結近紅外光敏傳感器及其制備方法。是由熱蒸發氣相沉積法 制備的碲鋅氧復合物與 p-Si 形成的異質結光敏傳感器,包括 p 型硅襯底,碲鋅氧復合物,頂電極和底電 極。其關鍵在于碲鋅氧復合物的制備。這種新型的傳感器表現出了波段可調的穩定優良的光敏探測性能, 可探測波長從紫外-可見-近紅外波段調節至限定在 1040nm 的近紅外波段