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掃描光聲（熱波）顯微鏡
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.gxf2npi.xyz
關鍵詞：
光聲（熱波）顯微鏡
所屬領域:
項目成果/簡介:
當固體物質受到周期性強度調制的光束照射時，物質吸收輻射能而受激發，然后通過非輻射去激勵而將部分或全部吸收的光能轉化為熱能。周期性熱流使周圍的介質熱脹冷縮，因而激發聲波。檢測聲波信號可得到聲波攜帶的熱信號的振幅和相位，從而能分析樣品在不同深度的結構、性質和參量，實現分層成象。可應用于半導體材料和器件（特別是集成電路）的研究、分層檢測及其對生產工藝流程的控制等；層狀或不均勻材料的分層研究和檢測；各種固體殘余應力的研究；
項目階段:
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