本發明屬于重力補償結構相關技術領域,其公開了一種低剛度 的磁懸浮重力補償器,其包括動子結構及定子結構,動子結構包括外 永磁陣列環、內永磁陣列環及動子支撐框架,外永磁陣列環及內永磁 陣列環分別設置在動子支撐架的環形槽相對的兩個側壁上,內永磁陣 列環的厚度大于外永磁陣列環的厚度;定子結構包括收容于環形槽內 的線圈支架及嵌設在線圈支架上的定子永磁環,所述定子永磁環的高 度大于厚度,定子永磁環與內永磁陣列環的間距小于定子永磁環與外 永磁陣列環的間距。本發明還提供了具有上述的磁懸浮重力補償器的 微動臺結構。
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