本發明公開了一種位置檢測信號的細分裝置,包括線光源激光器、光靶、CCD、信號處理器和二個光學掃描振鏡;二個振鏡的轉動軸在同一平面內平行放置,其反射面相對放置,各自初始位置的法線·81·方向與兩光學掃描振鏡轉動軸所在平面成 45°角;線光源激光器的線狀激光束垂直于兩個掃描振鏡的轉動軸所在平面,線狀激光束射向振鏡的反射面且通過其轉動軸線;光靶位于與兩振鏡的轉動軸線所在平面平行的平面內,CCD 位于線狀激光束射向光靶后的出射方向上,并與兩個振鏡的轉動軸所在平面平行;信號處理器與 CCD 相連,用于獲取 C
掃碼關注,查看更多科技成果