本發明公開了一種多路高精度溫度控制器,由接口板和溫度控制板組成,用于倒裝鍵合熱壓固化。溫度控制板包括采集模塊、驅動模塊、存儲器模塊、控制模塊、通訊模塊和電源模塊。工控機設定熱壓頭工作溫度,通過接口板和通訊模塊將設定值輸出到控制模塊。采集模塊將鉑熱電阻采集的熱壓頭溫度值輸出到控制模塊,同時對傳感器的溫度特性進行線性化處理。控制模塊將溫度設定信號與采集的溫度信號相比較,其差分信號經過 PID 運算產生控制信號輸出到驅動模塊。驅動模塊采用 PWM 方式控制場效應管驅動熱壓頭的發熱元件。本發明可在 0~30
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