本發明公開了一種電噴霧裝置及利用電噴霧制備太陽能電池減反層的方法,利用電噴霧的原理,在透明導電薄膜上制備一層倒置納米碗微結構的減反層,形狀類似于倒扣的半球形;通過調節噴液的流速,噴嘴的口徑大小,高壓發生器的電壓以及金屬噴嘴與透明導電層的間距等參數來控制倒置“納米碗”的形狀及大小;通過 PC 控制單元調節運動平臺在 X 和 Y 方向的運動速度來控制倒置納米碗的密度。本發明采用電噴霧技術來制備減反層,工藝環境要求低,整個工藝過程采用數字化控制,工藝參數易于控制;制備的減反層能有效地降低太陽能電池表面的反
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