本發明公開了一種銦鎵鋅氧化物粉體的制備方法,其包括如下 步驟:首先配置鎵鹽溶液、銦鹽溶液和鋅鹽溶液;然后使用不含堿金 屬的堿液作為沉淀劑,并采用三步沉淀法分別使所述鎵鹽溶液、銦鹽 溶液以及鋅鹽溶液中的鎵離子、銦離子、鋅離子在不同 pH 值下先后沉 淀,以制備銦鎵鋅氧化物前驅體粉體;最后將制備的所述銦鎵鋅氧化 物前驅體粉體經洗滌、過濾、干燥、退火后制成獲得高純單相銦鎵鋅 氧化物粉體 InGaZnO4。本發明可制備具有高