本發明的硅基縫隙耦合式的直接式毫米波信號檢測儀器是由傳感器、模數轉換、MCS51單片機和液晶顯示三個大模塊組成,傳感器是由共面波導、縫隙耦合結構、移相器、單刀雙擲開關、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構成,該結構制作在高阻Si襯底上,上方的兩個縫隙耦合結構實現信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波導、非對稱共面帶線和隔離電阻組成;直接式熱電式功率傳感器主要由共面波導、兩個
掃碼關注,查看更多科技成果