中試階段/n該項目是采用納米級別的加工制造技術制作具備納米級尺度并且帶有一定功能的光電子器件。納米光電子器件的工作效率更快,能耗更低,具備強大的信息儲存量,且體積和重量明顯的變小。隨著光電器件在通信、照明、傳感器等領域上的運用,納米光電器件的制備技術已經受到越來越重要的關注。該項目實現了一種低成本、大面積、易操作、高效的納米結構制備工藝方法,可實現在各種材料表面納米結構(50-500nm 直徑納米孔、納