本發明公開了一種主動式氣浮支承裝置,包括氣浮支承本體、 氣膜主動調節單元、支承本體檢測單元和驅動控制單元,其中支承本 體檢測裝置測量氣浮支承的狀態,驅動控制系統根據檢測信號生成控 制信號,驅動控制氣膜主動調節裝置產生主動作用,動態調節氣浮支 承表面的氣膜形態,由此動態調整氣浮支承裝置的氣膜間隙壓強分布, 從而提高氣浮支承的動剛度特性。通過本發明,能夠顯著提高氣浮支 承的動剛度特性,并達到穩定氣浮支承的目的;此外,按照本發明的 主動式氣浮支承裝置還具備結構緊湊、便于操控和高精度的特點,因 而尤其適用于對支承動剛度要求高的超精密加工或高速主軸等場合。
掃碼關注,查看更多科技成果