西北工業大學六英寸雙面光刻機項目 招標項目的潛在投標人應在詳見附件正文獲取招標文件,并于2022年10月09日 09點00分(北京時間)前遞交投標文件。
項目概況: 六英寸雙面光刻機主要用于微電子、MEMS微納圖形加工工藝中高精度的紫外曝光工藝,能夠實現4英寸晶圓和6英寸晶圓的雙面光刻,具有正面和背面掩膜對準功能,具有手動對準和全自動對準兩種對準模式,具有軟接觸、硬接觸、接近和真空四種模式的曝光功能,能實現亞微米分辨率光刻。
工期/供貨期:自中標通知書發出之日起270日歷天
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定;
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求:
《政府采購貨物和服務項目管理辦法》
3.本項目的特定資格要求:3.1投標人應具有獨立法人資格,具備有效的企業法人營業執照(具有統一社會信用代碼)。3.2投標人出具有效的法定代表人身份證明書、法定代表人授權委托書。3.3法定代表人身份證(正反面)和被授權人身份證(正反面)。3.4本項目不接受聯合體投標。? 3.5投標人(及擬派項目負責人)無不良行為記錄且當前招投標資格狀態有效,相關信息查詢以政府誠信平臺和學校不良行為記錄為準,其中政府誠信平臺是指信用中國、國家企業信用信息公示系統。
掃碼關注,查看更多科技成果