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【政府采購意向】旋涂-烘烤一體機
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A033499其他專用儀器儀表
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】旋涂-烘烤一體機
預算金額：115 萬元
采購需求：
購置1套。 1.最大支持12寸晶圓 2.旋轉速度：0 –6000rpm，轉速調節精度1rpm，加速度在0.6s內達到6000rpm 3.涂膠均勻性小于±4% 4.熱板最大支持12寸晶圓，最高溫度250°C 溫度精度: +/- 0.8°C@100°C.
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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