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本發(fā)明屬于金屬材料表面改性技術領域，具體涉及一種通過表面引發(fā)聚合在金屬材料表面接枝陰離子型共聚物的方法。本發(fā)明采用表面引發(fā)聚合技術，首先將引發(fā)劑錨固到金屬材料表面，隨后加入陰離子型單體和共聚單體，通過表面熱/光引發(fā)聚合反應制備得到陰離子型共聚物修飾的金屬材料。本發(fā)明具有操作簡便、反應條件溫和等優(yōu)點，通過該方法接枝在金屬材料表面的聚合物層穩(wěn)固、均勻且化學結構易調，從而拓寬了其在醫(yī)療器械、電子能源、航空航天等領域的應用前景。

陰離子聚合技術是指采用碳負離子進行聚合的一種技術。上世紀八十年代 國外已經(jīng)實現(xiàn)了工業(yè)化，目前在國內燕山石化、巴陵石化和獨山子石化已經(jīng)實 現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，隨著國內輪胎行業(yè)對合成橡膠性能要求的逐步提高，陰離子聚合技 術愈發(fā)引起人們的重視。 陰離子聚合技術在鏈增長反應中，如果無雜質可以一直保持活性，因而屬 于“活性”聚合。迄今為止，陰離子聚合仍是實現(xiàn)聚合物分子結構設計最為精確、 有效的方法，可以進行可控合成，具體包括：⑴可控分子量，可以根據(jù)需要設 計合成幾百－幾十萬；⑵可控分子鏈的微觀結構，通過加入不同量的極性溶劑， 77 可以控制合成 1,4-結構含量從 10％－90%；⑶可控官能團的位置,可以精確地在 鏈端和鏈中引入官能團。

陰離子聚合技術是指采用碳負離子進行聚合的一種技術。上世紀八十年代國外已經(jīng)實現(xiàn)了工業(yè)化，目前在國內燕山石化、巴陵石化和獨山子石化已經(jīng)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，隨著國內輪胎行業(yè)對合成橡膠性能要求的逐步提高，陰離子聚合技術愈發(fā)引起人們的重視。 陰離子聚合技術在鏈增長反應中，如果無雜質可以一直保持活性，因而屬于“活性”聚合。迄今為止，陰離子聚合仍是實現(xiàn)聚合物分子結構設計最為精確、有效的方法，可以進行可控合成，具體包括：⑴可控分子量，可以根據(jù)需要設計合成幾百－幾十萬；⑵可控分子鏈的微觀結構，通過加入不同量的

本研究根據(jù)科技部統(tǒng)一部署，依據(jù)國家山東半島藍色經(jīng)濟區(qū)戰(zhàn)略規(guī)劃、黃 河三角洲高效生態(tài)經(jīng)濟區(qū)發(fā)展規(guī)劃，針對山東省高端裝備制造產(chǎn)業(yè)轉型發(fā)展需 求，重點突破服務型制造關鍵技術和產(chǎn)業(yè)急需的共性關鍵技術；積極拓展“兩 化”融合的發(fā)展空間，圍繞制造業(yè)轉型升級，推進制造業(yè)信息化從單業(yè)務應用 向多業(yè)務綜合集成轉變，從企業(yè)信息應用向業(yè)務流程優(yōu)化再造轉變，從單一企 業(yè)應用向產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同應用轉變。 主要研究內容包括研發(fā)覆蓋重點產(chǎn)業(yè)的云制造服務平臺，服務 500 家企業(yè)； 面向區(qū)域內大型骨干企業(yè)，攻克產(chǎn)品數(shù)字化設計、集團精細化管控、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié) 同等關鍵技術，研發(fā)相應的信息化系統(tǒng)平臺，完成 3 家企業(yè)應用示范，拉動 30 家企業(yè)深化應用；開展智能嵌入式、工業(yè)泛在網(wǎng)、傳感網(wǎng)和智能控制等技術攻 關，并在 3 家高端裝備制造企業(yè)中集成應用，拉動 20 家企業(yè)深化應用；開展自 主知識產(chǎn)權核心軟件與制造物聯(lián)關鍵技術成果的應用，新增 10 家以上應用企業(yè)； 開展標準、評估、培訓等支撐環(huán)境建設，開展信息化指數(shù)調查（企業(yè) 100 家以 上），完成人才培訓 5 萬人次以上。 本項目獲得國家科技支撐計劃資助，項目執(zhí)行期 2012.1-2015.12。

1 成果簡介基于網(wǎng)絡及數(shù)字媒體平臺的高端信息服務關鍵技術和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡及數(shù)字媒體服務平臺（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺等），設計后端高端信息服務體系架構，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務平臺構建高端信息服務網(wǎng)絡生態(tài)系統(tǒng)平臺并產(chǎn)業(yè)化。 項目有利于改變目前網(wǎng)絡數(shù)字媒體和計算機軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務提供者會占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實際國情。同時，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡數(shù)字媒體平臺，高端信息服務，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡接入平臺的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術和把握市場機會，快捷有效地開發(fā)新的先進技術，拓展新商機，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內容服務和增值服務產(chǎn)業(yè)做大、做強。2 應用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡行業(yè)相關的企業(yè)如消費電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計算機產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設計公司，均可受惠。3 效益分析產(chǎn)業(yè)化后預期產(chǎn)值超過 1 億元人民幣。

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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現(xiàn)設計圖形轉移的載體，是決定其微細結構和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴重不足。并且中國半導體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術滯后，核心技術和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設備、材料領域眾多技術處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機、檢測機、測量機、修復機和貼膜機等都依賴進口，嚴重制約中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學徐智謀教授團隊致力于全套高端半導體光掩膜版的關鍵核心技術研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術研究而努力。 具有建立180 nm技術節(jié)點半導體掩膜版量產(chǎn)線相關核心技術；具備130 nm至28 nm半導體掩膜版研發(fā)、設計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術指標的核心，主要包括關鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團隊已掌握掩膜版的關鍵測量技術，達到國內先進水平，具有整套設備的整機制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標，直接影響到客戶的套合精度，該測量設備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團隊目前正在攻克該項技術，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復裝備 掩膜版修補技術是提升良品率的關鍵手段，該技術一直為國外壟斷。團隊已熟練掌握UV、DUV激光化學沉積技術及皮秒飛秒激光金屬處理技術，具備整機制造能力，可降低設備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應用領域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領域90%以上需貼膜，在LED領域80%以上需貼膜。該貼膜設備一直國外公司壟斷，國內廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設備需100萬美元左右。團隊具備研發(fā)制造該設備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設備正式在產(chǎn)線運營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設關鍵技術 團隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設備廠務設計有豐富經(jīng)驗，掌握高等級防微震廠房結構和設備平臺的設計施工，可達到VC-D級技術標準，滿足納米級生產(chǎn)技術要求。 【技術優(yōu)勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產(chǎn)的關鍵核心技術，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術難題，量產(chǎn)線建設成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術節(jié)點掩膜版設計開發(fā)能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗的隊伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風險可控。 【合作方式】 股權投資合作共建或政府孵化+中試線。

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采用我們的激光陶瓷制備技術，我們成功制備出高質量的Ce：YAG陶瓷熒光體，應用于白光LED照明領域，已獲得130 lm/W的流明效率，顯色指數(shù)達85，通過控制陶瓷熒光體的厚度和Ce離子摻雜濃度，可以方便的解決白光分檔的難題。如圖1、圖2、圖3所示分別為所制備Ce:YAG陶瓷的實物照片、吸收譜和發(fā)光性能測試時的照片。由于陶瓷熒光體的熱導率遠高于傳統(tǒng)熒光粉與樹脂的固化體，可顯著改善熱管理，這將徹底解決熒光粉因為溫度上升引起熱猝滅所導致的光衰和光色不穩(wěn)等問題。該陶瓷熒光體不含任何有機物，可實現(xiàn)全無機封裝，由于樹脂等有機物高溫老化所導致的發(fā)光體層發(fā)黑、變色甚至失效等問題將不復存在，這將顯著延長白光LED的壽命和發(fā)光穩(wěn)定性。通過采用高效率藍光芯片，預計可進一步提高白光LED的流明效率。該技術路線與目前Philips Lumileds公司在其功率型白光LED方面所采取的技術方案類似（Lumiramic陶瓷熒光體技術）。相比而言，我們的陶瓷熒光體的制備技術具有制備更簡便、成本更低、使用更靈活等優(yōu)勢。此外，該陶瓷熒光體也適用于遠程熒光體的解決方案，與Intematix（英特美）公司現(xiàn)有的遠程熒光體（樹脂加熒光粉的固化體）相比，我們的陶瓷熒光體方案具有更高的光抽取效率和更均勻的發(fā)光性能，可望用于射燈、室內筒燈、舞臺和廣告牌裝飾燈等對亮度要求較高的場合。陶瓷熒光體在高端功率型白光LED領域的應用才剛剛開始，隨著白光LED照明的不斷普及和應用領域對白光LED功率和效率需求的不斷上升，其重要性已逐漸引起市場關注，預計將來3-5年，市場規(guī)模將有大幅度增長。