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項目成果/簡介:隨著支配半導體技術數十年的摩爾定律日益接近其發展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續集成電路發展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術。多元兼容集成制造技術就是為此而開發的，該技術通過在更大范圍內優選結構/功能材料組合，開發異質集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創新設計和制造的騰挪空間。經過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復合材料的MEMS異質異構制造技術體系，并在多種類型功能器件研發中發揮了關鍵作用，初步展現了其基礎性支撐作用，相關技術獲得2016年度上海市技術發明一等獎。微系統集成發展趨勢多元兼容集成制造技術 獲獎情況上海市技術發明一等獎2016年團隊獲獎國家技術發明二等獎2008年上海市技術發明一等獎2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學團隊在長期研究經驗和技術積累基礎上，創造性地提出了不同高熱導率材料組合構造的復合結構微通道散熱器設計方案，并基于多元兼容集成制造技術完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當的超薄散熱器冷卻能力達到800W/cm2以上，在保留傳統微通道散熱器良好系統兼容性和適用性的基礎上達到了相當高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發動機燃燒室等極端惡劣環境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數現場監測對傳感器技術是嚴峻挑戰，國內外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應力調控、曲面圖形化和高溫敏感介質等技術上取得了一定突破，成功開發了多種可與現場結構共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環境擾動小、響應快、靈敏度高、可分布式安置等優點，該團隊已經掌握了溫度、應力/應變、熱流等多種高溫狀態參數測量技術，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結構高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術薄膜溫度傳感器在發動機不同部位測溫需求無線溫度傳感器測溫系統高性能轉接板基于轉接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統的硅轉接板性價比不高，阻礙了廣泛應用。上海交大團隊基于非硅微加工技術的長期積累，突破了硅轉接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉接板。此外，還開發了復合材料非硅轉接板，TCV陶瓷轉接板，TGV玻璃轉接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發不同功能的專用轉接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復合材料非硅基轉接板實物圖片知識產權類型:發明專利 、 軟件著作權 、 集成電路布圖設計技術先進程度:達到國內領先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:國家級

大型機械臂六維力傳感器主要裝載在機械臂末端的效應器與關節之間，用于測量機械臂末端效應器與外界環境接觸的六維力和力矩，為機械臂的力柔順控制提供力信息輸入，是機械臂的重要傳感器之一。/line大型機械臂六維力傳感器的成果包括傳感器的機械結構設計、組橋方式的設計、硬件電路的設計、采集軟件、標定及解耦算法

通過分子間親核進攻將碳碳三鍵轉化為金屬卡賓的過程應用于交叉偶聯反應。應用結構簡單的炔酰胺用作鈀卡賓前體，通過有序的分子間氧化與卡賓轉移插入的串聯過程，實現了鈀催化下炔酰胺與芐基溴化物的加氧偶聯反應 （ Palladium-Catalyzed Oxygenative Cross-Coupling of Ynamides and Benzyl Bromides via Carbene Migratory Insertion. Yunpeng Gao, Guojiao Wu, Qi Zhou and Jianbo Wang, Angew. Chem. Int. Ed. 2018, 57, 2716） 。Fischer 卡賓是經典的穩定金屬卡賓絡合物，利用卡賓配體在不同金屬之間的轉移，一系列鈀催化的 Fischer 鉻卡賓交叉偶聯反應。 通過一系列機理驗證實驗和 DFT 理論計算，對該反應的機理進行了深入 的探討，驗證了卡賓轉移以及 鈀卡賓的遷移插入為催化循環中的關鍵步驟 （ Palladium-Catalyzed Reductive Cross-Coupling Reaction of Aryl Chromium(0) Fischer Carbene Complexes with Aryl Iodides. Kang Wang, Yu Lu, Fangdong Hu, Jinghui Yang, Yan Zhang, Zhi-Xiang Wang, and Jianbo Wang, Organometallics 2018, 37, 1 ）

本實用新型一種鋁基非晶甩帶裝置，包括箱體，所述第一電機輸出端通過輸出軸轉動連接有主動帶輪，所述箱體內腔底部位于隔離板遠離固定臺的一側固定連接有清理裝置，所述箱體內腔正面和背面中間位置轉動連接有甩帶輪，所述從動帶輪外表面通過皮帶與主動帶輪滑動連接，所述箱體內腔正面和背面位于高頻加熱器遠離橫板的一側轉動連接有調節輪，所述箱體內腔頂部固定連接有進氣口，所述箱體內腔遠離第二電機的一側內壁頂部固定連接有進氣泵，所述箱體頂部位于進料口兩側均固定連接有導料裝置，本實用新型涉及鋁基非晶加工技術領域。該裝置可及時清理

本實用新型公開了一種玉米莖桿原位刺穿和彎折力測量裝置，包括壓力測量器、穿刺測量頭和彎折力測量頭，它還包括C型架和移動橫梁，在所述C型架兩端內側設置有滑槽，所述移動橫梁的兩端位于所述滑槽內，且移動橫梁的至少一端與位于所述滑槽內的齒條連接，在C型架上設置有與所述齒條配合的齒輪，所述齒輪與驅動電機連接；在所述驅動電機的外殼上設置有與所述驅動電機連接的正轉按鈕和反轉按鈕；C型架的前端設置有固定卡扣；壓力測量器的測量端設置有連接頭，所述連接頭上設置有螺紋孔，在所述穿刺測量頭和彎折力測量頭的末端設置有與所述螺紋孔配合的螺紋端。本實用新型設計小巧，操作方便，可以拿到田地里直接在玉米株上測量。

復合功能腦深部刺激器及 MEMS 腦電極：本課題組針對 MEMS 腦電極及其配套腦起搏器極端制造技術中的諸多關鍵難題，開展了如下研究：環形腦電極的鍵合、封裝等工藝，制造了環形腦電極樣品；MEMS 硅基腦電極的結構設計及制造工藝、鍵合方法和封裝工藝，制造了硅基腦電極樣品；螺旋微導線和轉接線的制造工藝，制造了樣品；植入式顱內壓傳感器的制造和封裝工藝，制造出顱內壓微傳感器樣品；經皮無線能量傳輸供電的關鍵技術和方法，制造出穩定地無線供電裝置；植入裝置與體外控制裝置之間的無線通訊方法研究及其實用裝置；腦深部神經核團信號采集方法研究及其實用裝置；植入式腦起搏器的封裝工藝和方法。

在鐵路無縫線路中，氣溫的變化在鋼軌中產生了巨大的縱向力，稱為鋼軌溫度力。 由于鋼軌扣件扣壓力的不均勻分布和列車載荷的影響，鋼軌內的溫度力沿長度方向分布 不均勻。因此很難用計算的方法來測算鋼軌中的溫度力。這種不均勻分布的縱向力是導 致無縫線路發生在夏天脹軌、冬天鋼軌被拉斷的根本原因，嚴重影響列車的安全運行。 本實用新型是一種不影響現有軌道結構和列車運行的測定無縫線路鋼軌縱向力的無損 檢測方法，所得到的值就是測試點處的鋼軌中的實際縱向力的大小。操作簡單，所用時 間少，能在現場直接測試判斷，不需要進行專門標定。有著廣闊的應用前景。目前，還 沒有一種能夠有效測定無縫線路鋼軌溫度力和識別無縫線路是否處于安全穩定狀態的 測試方法和裝置。本專利裝置能測定無縫線路鋼軌縱向力的大小, 能識別鐵路無縫線路 是否處于穩定狀態,在安全運營方面有巨大的社會效益。

發現了聚集誘導熱激活延遲熒光（AIE-TADF）材料具有力致發光現象（Angew. Chem. Int. Ed., 2015, 54, 874-878），然后又發現了一些AIE分子具有力致發光性能，并對其產生機理進行了深入研究（Chem. Sci., 2015, 6, 3236-3241；Chem. Sci., 2016, 7, 5307-5312；Chem. Sci., 2018, 9, 5787-5794）。2017年，武漢大學李振教授團隊與池振國教授團隊合作，發現了一些純有機磷光材料具有力致發光現象，把力致發光拓展到有機磷光領域（Angew. Chem. Int. Ed., 2017, 56, 15299-15303；Angew. Chem. Int. Ed., 2017, 56, 880-884）。2018年，池振國教授團隊又發現了力致長余輝發光現象（Chem. Sci., 2018, 9, 3782-3787），至此，純有機材料的力激發發射熒光、TADF、磷光或長余輝等不同發光類型的力致發光拼圖拼齊。2018年，池振國教授團隊（Angew. Chem. Int. Ed., 2018, 57, 12727-12732）與青島科技大學楊文君教授團隊（Chem. Commun., 2018, 54, 8206-8209）同時研究發現，將主體材料（具有力致發光性能）與不同客體發光材料（不具有力致發光性能）進行復合，可以通過機械力激發不同發光顏色客體分子產生發光，從而把力致發光材料體系從純有機單組分進一步拓展到復合體系，極大地豐富了有機力致發光材料體系。?中山大學化學學院池振國教授研究團隊提出利用一種更加簡單的方法來精準設計力致發光復合材料體系的新設計策略。該策略設計的力致發光復合材料體系中，單獨的主體材料和客體材料都不具有力致發光性能，但是通過主客體復合得到的復合體系則具有力致發光性能，實現了從無到有的力致發光。同時，客體材料的選擇范圍非常廣，可以是純有機發光材料、配合物磷光材料，也可以是無機量子點發光材料等等。通過改變客體材料的種類，非常容易調節力致發光的發光顏色、亮度、色純度以及發光壽命等性能，極大地豐富了力致發光材料的研究內涵。結合光物理測試和理論計算，深入探究這類新型力致發光復合體系的激發過程和發射過程，并揭示了復合體系力致發光的激活機制是源于壓電效應和主客體分子的能量轉移。

T 型三電平電路結構，全數字化控制、低漏電流的 SVPWM 技術，產品功率等級為 10kW、12kW、 15kW、 17kW，適用于戶用型及小型并網發電站，自主知識產權。