一種多路液體溫度調節(jié)裝置及溫度控制方法
一種多路液體溫度調節(jié)裝置及其溫度控制方法,屬于液體溫度 調節(jié)裝置及其溫度控制方法,解決現(xiàn)有光刻機浸沒液溫度調節(jié)控制裝 置只具有一路輸出的溫度控制能力以及不能協(xié)同調節(jié)遠端、近端供水 溫度的問題。本發(fā)明的溫度調節(jié)裝置,包括純水供應部分、注液部分 和控制系統(tǒng),純水供應部分放置于遠端的純水設備內,注液部分放置 于光刻機內部;純水供應部分和注液部分之間通過遠傳管路連接;控 制系統(tǒng)分別采集純水溫度傳感器、供水溫度傳感器、第一~第三溫度 傳感器的溫度值;并對第 1~第 3 加熱器的加熱電壓進行控制,同時 對冷卻水
華中科技大學
2021-01-12