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 基于硅材料和CMOS工藝制備光電子器件及其集成技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)低成本、批量化生產(chǎn)，并具有和微電子單片集成的潛力，是目前國(guó)際光電子前沿研究領(lǐng)域。該技術(shù)不僅可以用于片上光互連，也可為骨干網(wǎng)、光接入網(wǎng)和數(shù)據(jù)中心提供高性能、低成本收發(fā)模塊。 在國(guó)家973計(jì)劃項(xiàng)目《超高速低功耗光子信息處理集成芯片與技術(shù)基礎(chǔ)研究》的支持下，針對(duì)硅基材料不具備線性電光效應(yīng)、而利用自由載流子等離子色散效應(yīng)實(shí)現(xiàn)電光調(diào)節(jié)效率低、功耗高等科學(xué)難題，提出了一系列解決思路和具有創(chuàng)新性的器件結(jié)構(gòu)，形成了硅基光電子集成器件設(shè)計(jì)方法和基于CMOS工藝的制備工藝流程，成功制備了一系列硅基光電子集成芯片。 該技術(shù)不僅為我國(guó)硅基光電子集成技術(shù)的發(fā)展和華為等知名電信設(shè)備企業(yè)新一代產(chǎn)品提供了有力的技術(shù)支撐，也引起了國(guó)際同行的密切關(guān)注。美國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)《Optics & Photonics News》曾出版專題報(bào)道“Integrated Photonics in China”，對(duì)本項(xiàng)目的部分工作進(jìn)行了介紹。2014年底，Nature Photonics將本項(xiàng)目首次在硅基上研制成功的大容量可編程光緩存芯片作為Research Highlight加以報(bào)道。高速低功耗16*16光交換芯片版圖大容量可編程光緩存芯片（左：芯片照片，中：封裝后的結(jié)構(gòu)，右：性能測(cè)試結(jié)果）為華為公司研制的400G可調(diào)光模塊。

提出了基于表面等離激元和碳納米管的三維光電混合集成系統(tǒng)，該系統(tǒng)與現(xiàn)有的COMS制備工藝兼容，可以實(shí)現(xiàn)光子學(xué)和電子學(xué)的三維集成和互聯(lián)，為解決集成電路的速度瓶頸提供了一種方法。他們演示了幾種集成回路，包括在片光操控回路、波長(zhǎng)和偏振復(fù)用回路和具有COMS信號(hào)處理電路的集成模塊。Fig. 1. Integration of plasmonic-enhanced detector with carbon nanotube (CNT) complementary metal oxide semiconductor (CMOS) signal processing circuits. a, Schematic of the 3D integrated circuits, consisting of bottom-layer passive WFSAs and metal connection lines, in-between HfO2 dielectrics and Au cross-layer connection lines, and top-layer plasmonic receiver and CNT CMOS signal processing circuits. b, Output characteristics of the plasmonic-enhanced barrier-free-bipolar diode (BFBD) and the normal BFBD under the illumination at "λ" =1200 nm. c, Electric field pattern of the La=320-nm SA. d-e, Transfer (d) and output (e) characteristics of the CMOS. f, VTC curves of the CMOS (blue line) and the 3D integrated circuits (red line). Inset is the corresponding equivalent circuit diagram of the 3D integrated circuits. g-i, Statistical figures of merit of the deep-subwavelength modules, including photocurrent (g) and photovoltage (h) of the BFBD as well as on-state current of the CMOS (i). 這種三維集成系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)包括：1. 使用低溫COMS兼容制備工藝，可以在單片集成回路中集成光子學(xué)模塊、電子學(xué)信號(hào)處理系統(tǒng)和存儲(chǔ)系統(tǒng)；2. 利用具有原子厚度的碳納米管材料以及金屬工藝，使得光子學(xué)集成和電子學(xué)集成在材料上兼容；3. 基于表面等離激元使得光子學(xué)器件尺度可以和電子學(xué)器件尺度相近，便于集成；4. 碳納米管的工作波段可以覆蓋整個(gè)通訊波段，這是硅材料無(wú)法做到的；5. 光電探測(cè)器工作于光伏模式，可以減小能耗。該工作是首次利用原子厚度材料實(shí)現(xiàn)三維光電混合集成，可以實(shí)現(xiàn)更小的尺寸、更快的速度和更多的功能，同時(shí)，有可能解決電子學(xué)集成回路在速度上的瓶頸。

項(xiàng)目采用了中山大學(xué)自主研發(fā)的低損耗低應(yīng)力超低溫氮化硅材料平臺(tái)，研制了一系列光子集成的關(guān)鍵 器件

近幾年，硅基集成電路的速度遭遇瓶頸、停滯不前，解決的辦法之一是引入光子學(xué)器件，部分取代電子學(xué)集成電路中的信號(hào)處理和互聯(lián)器件，這就要求光子學(xué)器件具有像電子學(xué)集成那樣的小尺度和三維集成能力，同時(shí)具有和電子學(xué)集成兼容的制備工藝。這些要求使得光電混合集成面臨巨大的挑戰(zhàn)，是一個(gè)世界性的難題。 光學(xué)所張家森教授團(tuán)隊(duì)與信息科學(xué)學(xué)院彭練矛教授團(tuán)隊(duì)合作，提出了基于表面等離激元和碳納米管的三維光電混合集成系統(tǒng)，該系統(tǒng)與現(xiàn)有的COMS制備工藝兼容，可以實(shí)現(xiàn)光子學(xué)和電子學(xué)的三維集成和互聯(lián)，為解決集成電路的速度瓶頸提供了一種方法。他們演示了幾種集成回路，包括在片光操控回路、波長(zhǎng)和偏振復(fù)用回路和具有COMS信號(hào)處理電路的集成模塊。Fig. 1. Integration of plasmonic-enhanced detector with carbon nanotube (CNT) complementary metal oxide semiconductor (CMOS) signal processing circuits. a, Schematic of the 3D integrated circuits, consisting of bottom-layer passive WFSAs and metal connection lines, in-between HfO2 dielectrics and Au cross-layer connection lines, and top-layer plasmonic receiver and CNT CMOS signal processing circuits. b, Output characteristics of the plasmonic-enhanced barrier-free-bipolar diode (BFBD) and the normal BFBD under the illumination at "λ" =1200 nm. c, Electric field pattern of the La=320-nm SA. d-e, Transfer (d) and output (e) characteristics of the CMOS. f, VTC curves of the CMOS (blue line) and the 3D integrated circuits (red line). Inset is the corresponding equivalent circuit diagram of the 3D integrated circuits. g-i, Statistical figures of merit of the deep-subwavelength modules, including photocurrent (g) and photovoltage (h) of the BFBD as well as on-state current of the CMOS (i). 這種三維集成系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)包括：1. 使用低溫COMS兼容制備工藝，可以在單片集成回路中集成光子學(xué)模塊、電子學(xué)信號(hào)處理系統(tǒng)和存儲(chǔ)系統(tǒng)；2. 利用具有原子厚度的碳納米管材料以及金屬工藝，使得光子學(xué)集成和電子學(xué)集成在材料上兼容；3. 基于表面等離激元使得光子學(xué)器件尺度可以和電子學(xué)器件尺度相近，便于集成；4. 碳納米管的工作波段可以覆蓋整個(gè)通訊波段，這是硅材料無(wú)法做到的；5. 光電探測(cè)器工作于光伏模式，可以減小能耗。該工作是首次利用原子厚度材料實(shí)現(xiàn)三維光電混合集成，可以實(shí)現(xiàn)更小的尺寸、更快的速度和更多的功能，同時(shí)，有可能解決電子學(xué)集成回路在速度上的瓶頸。 上述實(shí)驗(yàn)結(jié)果近期發(fā)表于最新一期《自然 電子學(xué)》雜志。 相關(guān)文獻(xiàn)：Yang Liu, Jiasen Zhang, and Lian-Mao Peng, Three-dimensional integration of plasmonics and electronics. Nature Electronics 1, 644-651 (2018).Yang Liu, Jiasen Zhang, Huaping Liu, Sheng Wang, and Lian-Mao Peng, Electrically-driven monolithic subwavelength plasmonic interconnect circuits. Science Advances 3, e1701456 (2017).

研究背景 芯片是人類最偉大的發(fā)明之一，也是現(xiàn)代電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心。小到手機(jī)、電腦、數(shù)碼相機(jī)，大到6G、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算均基于芯片技術(shù)的不斷突破。半導(dǎo)體光刻工藝水平的發(fā)展是以芯片為核心的電子信息產(chǎn)業(yè)的基石，目前半導(dǎo)體光刻的制造工藝幾乎是摩爾定律的物理極限。隨著制造工藝的越來(lái)越小，芯片內(nèi)晶體管單元已經(jīng)接近分子尺度，半導(dǎo)體制作工藝的“瓶頸效應(yīng)”越來(lái)越明顯。隨著全球化以及科技的高速發(fā)展，急劇增長(zhǎng)的龐大數(shù)據(jù)量要求數(shù)據(jù)處理模型和算法結(jié)構(gòu)不斷優(yōu)化升級(jí)，帶來(lái)的結(jié)果就是對(duì)計(jì)算能力和系統(tǒng)功耗的要求不斷提高。而目前智能電子設(shè)備大多存在傳輸瓶頸、功耗增加以及計(jì)算力瓶頸等現(xiàn)象，已越來(lái)越難以滿足大數(shù)據(jù)時(shí)代對(duì)計(jì)算力與功耗的需求，因此提高運(yùn)算速度同時(shí)降低運(yùn)算功耗是目前信息工業(yè)界面臨的緊要問(wèn)題。 如當(dāng)年集成電路開(kāi)創(chuàng)信息時(shí)代一樣，當(dāng)下已經(jīng)普及的光通信正在成為新革命力量的開(kāi)路先鋒。與此同時(shí)，光子芯片正在從分立式器件向集成光路演進(jìn)，光子芯片向小型化、集成化的發(fā)展趨勢(shì)已是必然。相對(duì)于電子驅(qū)動(dòng)的集成電路，光子芯片有超高速率，超低功耗等特點(diǎn)，利用光信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取、傳輸、計(jì)算、存儲(chǔ)和顯示的光子芯片，具有非常廣闊的發(fā)展空間和巨大的潛能。 項(xiàng)目功能 本項(xiàng)目瞄準(zhǔn)光通信關(guān)鍵技術(shù)及核心芯片，基于量子阱二極管發(fā)光探測(cè)共存現(xiàn)象，探索關(guān)鍵微納制造技術(shù)，研制出可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)通信、感知功能的一體化光電子芯片。 技術(shù)路線 一、技術(shù)原理及可行性 本項(xiàng)目主要負(fù)責(zé)人王永進(jìn)教授發(fā)現(xiàn)如圖1所示的量子阱二極管發(fā)光探測(cè)共存現(xiàn)象，首次研制出同質(zhì)集成發(fā)射、傳輸、調(diào)制和接收器件的光電子芯片，這些原創(chuàng)工作引起了業(yè)界相關(guān)科研小組地廣泛關(guān)注，化合物半導(dǎo)體同質(zhì)集成光電子芯片成為研究熱點(diǎn)。香港大學(xué)的蔡凱威小組和申請(qǐng)人合作提出濕法刻蝕和激光選擇性剝離技術(shù)，在藍(lán)寶石氮化物晶圓上實(shí)現(xiàn)LED基同質(zhì)集成光電子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉國(guó)王科技大學(xué)Ooi教授和美國(guó)加州大學(xué)圣巴巴拉分校Nakamura教授小組在藍(lán)寶石氮化物晶圓上，研制出基于氮化物激光器的同質(zhì)集成光電子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院蘇州納米所孫錢小組在硅襯底氮化物晶圓上，研制出基于氮化物激光器的同質(zhì)集成光電子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK調(diào)制方式下，InGaN/GaN量子阱二極管可實(shí)現(xiàn)Gbps的光發(fā)射、調(diào)制和探測(cè)速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。這些工作表明研發(fā)基于光子傳輸?shù)幕衔锇雽?dǎo)體同質(zhì)集成光電子芯片以實(shí)現(xiàn)片上光子通信是可行的。   二、總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及工藝流程 本項(xiàng)目提出的同時(shí)通信/感知一體化光電子芯片基于常規(guī)的藍(lán)寶石襯底氮化鎵基多量子阱LED外延片進(jìn)行設(shè)計(jì)，無(wú)需特殊定制的外延結(jié)構(gòu)。以典型的2寸氮化鎵基藍(lán)光LED外延片為例，其外延片結(jié)構(gòu)如圖2所示，從下至上依次為藍(lán)寶石襯底、AlGaN緩沖層、未摻雜GaN層、N型GaN層、InGaN/GaN多量子阱層和P型GaN層，通過(guò)調(diào)節(jié)InGaN/GaN多量子阱層的參數(shù)（層厚度與In的比例等等）可制備具有不同中心波長(zhǎng)的光源器件。   圖3為本項(xiàng)目所提出的同時(shí)通信/感知一體化光電子芯片結(jié)構(gòu)。在藍(lán)寶石襯底的氮化物晶圓上通過(guò)刻蝕和沉積等一系列晶圓級(jí)微納加工技術(shù)，制備出單片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N電極可以采用倒裝技術(shù)直接與基板相連，光線從透明的藍(lán)寶石襯底發(fā)出，這樣不僅使得器件具有優(yōu)良的電性能和熱特性而且簡(jiǎn)化了其后期的封裝工藝。 三、技術(shù)創(chuàng)新優(yōu)勢(shì) 1、同一塊晶圓上集成LED和PD使得兩者間距離大大縮短，不僅有助于增強(qiáng)PD對(duì)藍(lán)寶石表面反射光線的耦合，提升感知系統(tǒng)性能，而且縮小了器件整體外形，符合集成電子器件小型化、便攜化的發(fā)展趨勢(shì)； 2、單片集成的LED和PD器件相比于傳統(tǒng)異質(zhì)的、分立的LED和PD簡(jiǎn)化了封裝形式和工藝，不再需要對(duì)LED和PD進(jìn)行單獨(dú)的封裝，而且同質(zhì)集成器件的基板也較異質(zhì)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單統(tǒng)一，極大地縮短了集成系統(tǒng)的制作周期； 3、同時(shí)通信/感知一體化光電子芯片采用相同的工藝就可以制作出LED和PD，簡(jiǎn)化了生長(zhǎng)異質(zhì)材料的復(fù)雜性，縮短了器件流片的周期，使用同一工藝就可將LED和PD進(jìn)行批量生產(chǎn)，有效地降低了生產(chǎn)成本。 四、實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證 本項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)所在的Peter Grünberg研究中心擁有完整的LED器件制備、光電性能測(cè)試與電學(xué)性能測(cè)試平臺(tái)，并且項(xiàng)目成員積累了豐富的測(cè)試技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)，能夠滿足本項(xiàng)目的同時(shí)通信/感知一體化光電子芯片測(cè)試同時(shí)表征光電參數(shù)與電學(xué)參數(shù)的需求。下圖4所示為器件形貌表征圖，從左邊依次是掃描電鏡圖、光鏡圖、原子力顯微鏡圖。   基于通信感知一體化芯片，本項(xiàng)目利用單個(gè)多功能集成器件成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)人體脈搏的監(jiān)測(cè)功能，如圖5所示。   另外基于通信感知一體化氮化鎵光電子芯片，我們還實(shí)現(xiàn)了照明、成像和探測(cè)功能為一體的LED陣列系統(tǒng)，如圖6所示。該系統(tǒng)可以在點(diǎn)亮照明的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)對(duì)外界光信號(hào)的探測(cè)與感知，通過(guò)后端系統(tǒng)處理后，再將信息通過(guò)陣列顯示出來(lái)，實(shí)現(xiàn)多種功能的集成。 項(xiàng)目負(fù)責(zé)人王永進(jìn)教授是國(guó)家自然基金委優(yōu)秀青年項(xiàng)目、國(guó)家973項(xiàng)目獲得者，他以第一或通訊作者身份在Light-Sci Appl.等主流學(xué)術(shù)期刊發(fā)表一系列高質(zhì)量研究論文，獲授權(quán)中國(guó)發(fā)明專利23項(xiàng)，美國(guó)發(fā)明專利2項(xiàng)，被National Science Review、Semiconductor Today等做9次專題報(bào)道，榮獲2019年中國(guó)電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)（自然科學(xué)）、2019年南京市十大重大原創(chuàng)成果獎(jiǎng)等。

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產(chǎn)品詳細(xì)介紹更多產(chǎn)品及合作咨詢請(qǐng)用以下聯(lián)系方式：1、請(qǐng)回復(fù)我要咨詢或合作2、撥打熱線電話：023—68315688 152234316123、QQ：2082863815 4、微信公眾平臺(tái)：聚知寶其他聯(lián)系方式：售后服務(wù)熱線：023—68315696傳真：023—68269777E-mail：jubao@cqjubao.net聯(lián)系地址：重慶市北碚區(qū)蔡家崗鎮(zhèn)鳳棲路15號(hào)基礎(chǔ)設(shè)施 多媒體講臺(tái) 調(diào)整角度，臺(tái)面四角需進(jìn)行安全處理，有防水功能學(xué)生工作臺(tái) "臺(tái)面可組合式正六邊形，直徑1200-1500mm，或長(zhǎng)方形，1200-1800 mm；高720mm。采用≥28mm硬質(zhì)實(shí)木齒接精致加工。臺(tái)身：鋼木結(jié)構(gòu)，立腿為40×60mm矩管或￠50mm圓管，厚度不小于1.2mm。  每張桌子帶6根凳：實(shí)木凳或鋼木凳或塑鋼凳，具體技術(shù)參數(shù)見(jiàn)“課桌凳配備標(biāo)準(zhǔn)”。"專用工具操作邊臺(tái) 1200×450×720mm，臺(tái)面：采用≥40mm硬質(zhì)實(shí)木齒接精致加工，配臺(tái)面防滑透明耐磨塑膠墊；臺(tái)身：鋼木結(jié)構(gòu)，立腿為40×60mm矩管或￠50mm圓管，厚度不小于1.8mm，電源：配裝五組獨(dú)立空開(kāi)，臺(tái)下面裝防水五孔插座一個(gè)（帶安全防護(hù)蓋）、一盞節(jié)能日光燈。沿墻面采用PVC線盒將電源接至操作邊臺(tái)。保管陳列柜 基本規(guī)格：鋼質(zhì)家具，兩節(jié)儀器柜1100×450×2000mm，上柜玻璃對(duì)開(kāi)門，內(nèi)設(shè)三層可調(diào)節(jié)隔板；下柜鋼質(zhì)對(duì)開(kāi)門，內(nèi)設(shè)兩層可調(diào)節(jié)隔層。所有儀器柜鎖通用一把鑰匙?？破?qǐng)D版 寫真膜、壓克力，基本規(guī)格：850×600mm勞動(dòng)保護(hù)用品 手套、護(hù)目鏡教學(xué)掛圖及軟件 符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)初中等級(jí)技術(shù)教學(xué)掛圖 符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)初中等級(jí)技術(shù)教學(xué)光盤 符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)器材設(shè)備 通用工具 金工工具 符合國(guó)家安全標(biāo)準(zhǔn)。專用工具箱配套55件套，含26種必備常用工具，工具箱內(nèi)定點(diǎn)定位雙折雙開(kāi)，規(guī)格尺寸不小于：450mm×350mm，方便使用和管理。工具包括：鋼絲鉗，1把，7"，45#鋼；尖嘴鉗，1把，6"，45#鋼；鋼直尺，1把，300mm鋼直尺；扁銼刀，1把，200mm尖頭；半圓銼刀，1把，200mm半圓；三角銼，1把，200mm三角；圓銼刀，1把，200mm圓銼；劃針，1把，200mm；劃規(guī)，1把，150mm劃規(guī)；樣沖，1把，GP100C-2ΦD2mm，L100mm；什錦銼，6件/套（軸承鋼，半圓銼、三角銼、方銼、圓銼、尖頭扁銼、齊頭扁銼)。箱體設(shè)計(jì)合理科學(xué)，便于使用。木工工具 符合國(guó)家安全標(biāo)準(zhǔn)。專用工具箱配套20件套，含18種必備常用工具，工具箱內(nèi)定點(diǎn)定位雙折雙開(kāi)，規(guī)格尺寸不小于：400×300mm，方便使用和管理。工具包括：木工鑿子，1把，3/4”；美工刀，1把，包膠；木工銼，1把，8"半圓；剪刀，1把，多用；羊角錘，1把，0.5KG木柄；鳥(niǎo)刨，1把；手推刨，1把；鋼角尺，1把，300mm；螺絲刀，2把，6*125+-鉻釩鋼，芝麻柄；老虎鉗，1把，8"黃黑雙色柄；鋼卷尺，1把，3000×12.5mm×；G形夾，2把，3"；有機(jī)玻璃鉤刀，1把，鉤刀帶兩把刀片；木工折疊鋸，1把，錳鋼三面齒，磨齒鋸；木工鉛筆，1支。電工工具 符合國(guó)家安全標(biāo)準(zhǔn)。專用工具箱配套34件套，含22種必備常用工具，工具箱內(nèi)定點(diǎn)定位雙折雙開(kāi)，規(guī)格尺寸：400×300 mm，含零件內(nèi)盒，方便使用和管理。工具包括：電工膠布，1卷，5mPVC電工膠布；芝麻柄螺絲批，2把，6×100mmPH2# 十字一字各一支；芝麻柄螺絲批，2把，5*75mmPH1#，十字一字各一支；芝麻柄螺絲批，2把，3×150mmPH0# 十字一字各一支；鋼卷尺，1把，3000×12.5mm公制白色涂脂尺帶；吸錫器，1個(gè)，鋁塑吸錫泵；剝線鉗，1把，磨齒剝線鉗、剝線經(jīng)0.6-2.6mm、后面切線功能；刷子，1把，軟毛刷；焊錫絲，1卷，電烙鐵：100瓦1個(gè)。微型機(jī)床 "符合國(guó)家安全標(biāo)準(zhǔn)。每套含鋸床、車床、銑床、磨床、鉆床各一臺(tái)鋸床：1.功能：可以直線、曲線任意切割；2.技術(shù)參數(shù)：工作臺(tái)面不小于120×120mm;線鋸加工最大的切鋸深度不得小于：硬木4 mm、三夾板7 mm、軟木18 mm、薄鋁片0.5 mm、有機(jī)玻璃2 mm;    車床：1.功能：能加工木材、工程塑料、軟金屬（鋁、銅等），車刀為高速鋼材質(zhì)；2.技術(shù)參數(shù)：加工材料的最大直徑不小于30 mm，加工的材料長(zhǎng)度不小于150 mm;    銑床：1.功能：可以X.Y.Z三維空間操作，能夠變換立銑、臥銑、手銑；能加工木材、工程塑料、軟金屬（鋁、銅）等；2.技術(shù)參數(shù)：銑刀的側(cè)面和前面都有刀刃；行程不小于40×60 mm；夾頭不小于1-6 mm；    磨床：1.功能：可以用于拋光、打磨和進(jìn)行各種角度的研磨，可以根據(jù)不同的工作要求選用和替換各種砂紙；能加工木材、工程塑料、軟金屬（鋁、銅）等；2.技術(shù)參數(shù)：加工中心高度不小于25 mm；工作臺(tái)面不小于120×120mm;    鉆床;1.功能：操作要靈活、簡(jiǎn)便，能夠改裝為手鉆或手磨，工作的角度可以在180度內(nèi)調(diào)整，可以鉆出等分的孔徑；能加工木材、工程塑料、軟金屬（鋁、銅）等；2.技術(shù)參數(shù)：工作臺(tái)面不小于120 mm *120mm；滑塊行程不小于40×60mm；夾頭不小于1-6mm。產(chǎn)品所有結(jié)構(gòu)部件是原生產(chǎn)廠家生產(chǎn)。"專用工具 臺(tái)虎鉗 鉗口寬度不小于60mm  最大開(kāi)口不小于60mm  ,可旋轉(zhuǎn)360°，帶砧臺(tái)鉗。臺(tái)  鉆 電壓:220V頻率:50HZ功率:240W。鉆削行程:不小于25mm,工作臺(tái)為鑄鐵臺(tái)面.尺寸不小于17×17mm,重量：不低于６公斤。臺(tái)式砂輪機(jī) 砂輪直徑Φ125 mm；轉(zhuǎn)速：2840+-10%RPM  配用電機(jī)：200W  電壓：220V 50Hz；附件：專用工作臺(tái)（架）。轉(zhuǎn)速：可調(diào)手電鉆 功率：500W，通用夾頭，最大夾持10mm,含鉆頭鉚槍 至少有4個(gè)規(guī)格頭鉗工錘 高碳鋼游標(biāo)卡尺 分度值0.02mm千分尺 分度值0.01mm手工制作工具材料 手工制作工具 專用配套工具10件以上，工具包括：鋼質(zhì)剪刀1把；鋼質(zhì)直尺1把；鋼質(zhì)鑷子1把；鋼質(zhì)12mm美工刀1把；2mm皮尺1條；鋼質(zhì)頂針1個(gè)；縫紉線線圈1個(gè)；大小規(guī)格各一鋼針1盒；竹質(zhì)毛衣針1副；鋼質(zhì)繡花針1盒；手持式縫紉機(jī)1個(gè)。手工制作材料 三層板200×400mm10塊、五層板200×400mm10塊，8mm實(shí)木板200×400mm10塊，12mm實(shí)木板200×400mm10塊，15mm實(shí)木板200×400mm10塊、20×30mm實(shí)木條400mm長(zhǎng)10條；高分子塑料軟片1.0厚200×400mm10塊、PVC板2.0mm厚200×400mm10塊，有機(jī)玻璃板200×400mm10塊,金屬片200×400mm10塊，亞克力板200×400mm10塊，泡沫板200×400mm10塊等10種以上泥塑制作工具 木質(zhì)泥塑刀6寸1把、木質(zhì)陶藝刀6寸1把、木質(zhì)造型刀6寸1把、不銹鋼鑷子6寸1把、木質(zhì)雕塑刀6寸1把。種殖專用工具設(shè)備包 容量500ml噴壺1個(gè)；直徑約150 mm 高度約60 mm篩子1個(gè)；壺身是加厚塑料，無(wú)毒，防摔．霧化，直射，噴灑等噴霧器1個(gè)；手持10X放大鏡1個(gè)；不銹鋼全長(zhǎng)200mm刃長(zhǎng)65mm 手柄寬度28mm嫁接刀1把；大扇硬度HRC54以上　小扇硬度HRC51以上修枝剪1把；鋸片長(zhǎng)130mm 180mm；210mm果枝鋸各1把、規(guī)格：592×340×70mm；塑料花盆、托盤各1個(gè)；木柄鐵質(zhì)鋤、鏟、鎬、鍬各1個(gè)更多產(chǎn)品及合作咨詢請(qǐng)用以下聯(lián)系方式：1、請(qǐng)回復(fù)我要咨詢或合作2、撥打熱線電話：023—68315688 152234316123、QQ：2082863815 4、微信公眾平臺(tái)：聚知寶其他聯(lián)系方式：售后服務(wù)熱線：023—68315696傳真：023—68269777E-mail：jubao@cqjubao.net聯(lián)系地址：重慶市北碚區(qū)蔡家崗鎮(zhèn)鳳棲路15號(hào)

所設(shè)計(jì)的頭盔顯示器目鏡畸變系數(shù)低于5%，色差小，視場(chǎng)角達(dá)到120度，放大率合適。配合光路結(jié)構(gòu)達(dá)到非常理想的成像效果。結(jié)構(gòu)采用2k分辨率的高z清顯示屏。 所設(shè)計(jì)的相關(guān)控制電路模塊精確簡(jiǎn)單，并且對(duì)頭盔姿態(tài)響應(yīng)敏感、準(zhǔn)確。高清顯示屏顯示內(nèi)容準(zhǔn)確，刷新速率滿足要求。整個(gè)驅(qū)動(dòng)電路在響應(yīng)速度上延遲不超過(guò)20ms，人眼難以察覺(jué)。