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本發(fā)明公開了一種多元物質(zhì)原子層沉積膜制備方法和裝置，所 述方法，即使基片相對(duì)于原子層沉積反應(yīng)腔直線運(yùn)動(dòng)，依次通過其內(nèi) 用于完成不同原子層沉積的原子層沉積系統(tǒng)，基片通過每個(gè)原子層沉 積系統(tǒng)時(shí)：調(diào)整基片溫度為相應(yīng)原子層沉積反應(yīng)最適溫度。所述裝置， 包括原子層沉積反應(yīng)腔、基片承載臺(tái)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和溫度控制裝置；原 子層沉積反應(yīng)腔依次設(shè)置有多個(gè)原子層沉積系統(tǒng)；基片承載臺(tái)，設(shè)置 在原子層沉積反應(yīng)腔下方；運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，與基片承載臺(tái)連接，帶動(dòng)基片 承載臺(tái)運(yùn)動(dòng)；溫度控制裝置，設(shè)置在基片承載臺(tái)下方。所述方法能高 效快速的制備多元物質(zhì)原子層沉積膜，所述裝置，能方便的通過現(xiàn)有 原子層沉積系統(tǒng)組裝，兼容性強(qiáng)，功耗低，沉積效率高。 

分子篩膜是在多孔陶瓷支撐體上通過水熱晶化制備而成的一層分子篩薄膜，利用分子篩自身微孔道結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)分子水平的分離。分子篩膜滲透汽化脫水技術(shù)是一種新型的膜分離技術(shù)，通過膜一側(cè)引入含水有機(jī)溶劑，而另一側(cè)抽真空的方式，能夠有效實(shí)現(xiàn)溶劑脫水，獲得高純?nèi)軇┊a(chǎn)品。

煤是一種廉價(jià)的、使用量最大的、短期內(nèi)無法替代的能源。隨著機(jī)械化采煤技術(shù)的普及，煤炭在開采過程中的塊煤率降低，粉煤、末煤率卻高達(dá) 40~60% 以上。粉煤與塊煤的價(jià)格相差甚遠(yuǎn)，如不加以合理利用，會(huì)給煤炭企業(yè)帶來較大的經(jīng)濟(jì)損失。西安科技大學(xué)化學(xué)與化工學(xué)院周安寧教授帶領(lǐng)的科研團(tuán)隊(duì)針對(duì)這一現(xiàn)狀及粉煤熱解加工利用難題，成功開發(fā)了新型粉煤成型技術(shù)及連續(xù)式梯級(jí)熱解 - 活化耦合多聯(lián)產(chǎn)移動(dòng)床（自有專利技術(shù)），在實(shí)現(xiàn)粉煤熱解加工利用的同時(shí)，多聯(lián)產(chǎn)蘭炭（或高附加值的活性炭）和氫氣。相關(guān)的研究成果已申請(qǐng)發(fā)明專利 2 項(xiàng)，發(fā)表論文 10 余篇。目前該成果已進(jìn)入中試開發(fā)階段。

亞氨基二乙酸(IDA)是生產(chǎn)除草劑草甘膦的重要中間體。它也被用于生產(chǎn)新型兩性鉻絡(luò)合 品紅染料、漂白活化劑、順鉑類抗癌藥物等。目前生產(chǎn)亞氨基二乙酸主要有化學(xué)合成法和生物 合成法。利用高效、高酶活、穩(wěn)定的產(chǎn)腈水解酶生產(chǎn)亞氨基二乙酸，符合綠色化學(xué)的發(fā)展方 向，有著化學(xué)方法無可比擬的優(yōu)越性。本項(xiàng)目篩選到一株高效、高酶活、穩(wěn)定的產(chǎn)腈水解酶的 菌株，一步水解得到所需的亞氨基二乙酸。 本項(xiàng)目通過篩選適合的菌株、對(duì)菌株發(fā)酵優(yōu)化以及整個(gè)催化過程的優(yōu)化，最后分離純化得 到亞氨基二乙酸。整個(gè)反應(yīng)過程條件溫和、操作簡(jiǎn)單、無副產(chǎn)物產(chǎn)生。

"本成果主要依托國家“863”計(jì)劃（課題名稱：固定源煙氣處理稀土催化材料的應(yīng)用與開發(fā)，課題編號(hào)：2015AA03A401），由南京大學(xué)，石河子大學(xué)，新疆天富集團(tuán)有限責(zé)任公司三家單位共同研發(fā)完成。南京大學(xué)董林教授為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。 董林教授團(tuán)隊(duì)長(zhǎng)期以來致力于稀土基催化劑的制備科學(xué)和表面物理化學(xué)性質(zhì)研究以及有關(guān)大氣分子污染物的吸附、催化消除方面的應(yīng)用技術(shù)探索。基于前期相關(guān)工作積累，成功開發(fā)出了低溫稀土鈰基催化劑配方。 經(jīng)石河子大學(xué)的工業(yè)放大及新疆天富南熱電有限公司的側(cè)線運(yùn)行，該配方可以滿足在100 ℃運(yùn)行3000 h以上的壽命及穩(wěn)定性測(cè)試，脫硝效率達(dá)55 %以上，并且通過了2000 m3/h級(jí)側(cè)線驗(yàn)證（圖1）。 該項(xiàng)技術(shù)的試驗(yàn)成功，填補(bǔ)了我國在超低溫（100 oC）脫硝領(lǐng)域的空白，為燃煤煙氣高效除塵脫硫脫硝提供了一條新的技術(shù)途徑。 同時(shí)，通過課題的實(shí)施，還達(dá)到了去除“白煙”的效果，實(shí)現(xiàn)了能源利用和環(huán)境保護(hù)“一體化”，滿足了國家對(duì)大氣環(huán)境保護(hù)的實(shí)際需要。 隨著燃煤電廠尾端煙氣脫硝工藝的實(shí)施，不僅解決了氮氧化物超低溫催化消除的問題，而且符合國家當(dāng)前“超潔凈”排放的趨勢(shì)，有望在各大電廠及工業(yè)窯爐等推廣使用。 經(jīng)石河子大學(xué)的工業(yè)放大及新疆天富南熱電有限公司的側(cè)線運(yùn)行，該配方可以滿足在100 ℃運(yùn)行3000 h以上的壽命及穩(wěn)定性測(cè)試，脫硝效率達(dá)55 %以上，并且通過了2000 m3/h級(jí)側(cè)線驗(yàn)證。該項(xiàng)技術(shù)的試驗(yàn)成功，填補(bǔ)了我國在超低溫（100 oC）脫硝領(lǐng)域的空白，為燃煤煙氣高效除塵脫硫脫硝提供了一條新的技術(shù)途徑。 同時(shí)，通過課題的實(shí)施，還達(dá)到了去除“白煙”的效果，實(shí)現(xiàn)了能源利用和環(huán)境保護(hù)“一體化”，滿足了國家對(duì)大氣環(huán)境保護(hù)的實(shí)際需要。 隨著燃煤電廠尾端煙氣脫硝工藝的實(shí)施，不僅解決了氮氧化物超低溫催化消除的問題，而且符合國家當(dāng)前“超潔凈”排放的趨勢(shì)，有望在各大電廠及工業(yè)窯爐等推廣使用。 經(jīng)過國家“十五”和“十一五”的多年攻關(guān)，我國除塵和脫硫技術(shù)已相對(duì)成熟，但是關(guān)于氮氧化物治理方面的研究工作起步較晚，目前仍面臨諸多挑戰(zhàn)，特別是超低溫條件（100-150 oC）下的脫硝技術(shù)。 基于國家當(dāng)前嚴(yán)峻的大氣環(huán)境污染現(xiàn)狀及燃煤電廠在現(xiàn)有煙氣處理運(yùn)行模式下遇到的種種問題，我們創(chuàng)新性地提出了“除塵-脫硫-低溫脫硝”技術(shù)路線（圖2），即在電廠原有設(shè)備的尾端進(jìn)行煙氣脫硝處理。 與傳統(tǒng)脫硝技術(shù)路線相比，本項(xiàng)目的研究成果具有以下顯著特點(diǎn)： 1. 采用了新型工藝路線 傳統(tǒng)燃煤電廠煙氣處理多采用“脫硝-除塵-脫硫”的工藝路線（圖2上）。這一路線能夠很好地利用高溫?zé)煔猓呋瘎勖苤朴诜蹓m的沖刷，通常只能穩(wěn)定運(yùn)行2-3年。 本課題采用“除塵-脫硫-低溫脫硝”的技術(shù)路線（圖2下），即在電廠原有設(shè)備的尾端進(jìn)行煙氣脫硝處理，既可以作為氮氧化物“超潔凈”排放的有效保障，也可以作為脫硝工藝的新技術(shù)路線使用。 同時(shí)，由于煙氣經(jīng)過前期除塵和脫硫后，干擾組分（粉塵、SO2和堿重金屬等）極大減少，這有利于催化劑長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。 2. 開發(fā)低溫稀土基超低溫脫硝催化劑填補(bǔ)了國內(nèi)外研究領(lǐng)域空白 目前，我們開發(fā)的超低溫脫硝催化劑經(jīng)2000 m3/h級(jí)煙氣流量側(cè)線試驗(yàn)后，已連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行3000 h以上，脫硝效率保持在55 %以上，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于目前已有工業(yè)應(yīng)用報(bào)道的脫硝催化劑溫度（如，荷蘭殼牌公司生產(chǎn)的TiO2-V2O5催化劑工作溫度最低，為140 oC），進(jìn)一步拓展了脫硝催化劑的最低工作溫度區(qū)間（圖3）。

"氯乙烯(VCM)主要用于合成聚氯乙烯樹脂(PVC)。目前我國氯乙烯生產(chǎn)主要通過乙炔法生產(chǎn)。然而，乙炔法一直采用劇毒的氯化汞催化劑，嚴(yán)重制約著乙炔法的可持續(xù)發(fā)展。Au催化劑被眾多研究者認(rèn)為是最有可能工業(yè)化的非汞催化劑。本研究制備了一種促進(jìn)型Au基催化劑，結(jié)果表明該催化劑對(duì)Au活性物種的失活、催化劑載體表面的積碳消除作用有明顯的促進(jìn)效應(yīng)。穩(wěn)定性考評(píng)結(jié)果顯示，在工業(yè)條件下，氯乙烯選擇性為100%，預(yù)估壽命超過3000 h。相關(guān)研究結(jié)果已申請(qǐng)多項(xiàng)中國專利。 項(xiàng)目已完成實(shí)驗(yàn)室小試和催化劑組成，載體等參數(shù)的優(yōu)化和催化劑放大制備。擬應(yīng)用于全國層面的氯堿行業(yè)替代劇毒氯化汞催化劑，即煤基乙炔氫氯化合成氯乙烯單體過程中的關(guān)鍵催化劑，在不改變?cè)幸胰矚渎然I(yè)反應(yīng)條件前體下僅替換現(xiàn)有氯化汞催化劑即可，具有較好的社會(huì)效益。"

我國目前工業(yè)副產(chǎn)氯化氫總量達(dá)380萬噸/年，隨著MDI、TDI、甲烷氯化物等涉氯產(chǎn)品的 大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)和氯堿行業(yè)的發(fā)展，預(yù)計(jì)未來5年內(nèi)副產(chǎn)氯化氫總量將達(dá)到500萬噸/年，大量副產(chǎn) 氯化氫的循環(huán)利用問題已成為制約聚氨酯、氯堿、有機(jī)氟行業(yè)、農(nóng)藥、醫(yī)藥化工等眾多行業(yè)發(fā) 展的共性難題。以氯化氫為原料生產(chǎn)氯氣，實(shí)現(xiàn)氯資源循環(huán)利用，能夠有效解決副產(chǎn)氯化氫問 題，打破國外技術(shù)壟斷，促進(jìn)新興產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展和氯堿行業(yè)的優(yōu)化升級(jí)。我們開發(fā)了具有自 主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能的銅基催化劑，在單管試驗(yàn)裝置上連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行9600小時(shí)的基礎(chǔ)上，建成 了國內(nèi)首套千噸級(jí)中試裝置，氯化氫的轉(zhuǎn)化率超過80%，為2016年在上海化工區(qū)建成10萬噸級(jí) 生產(chǎn)裝置奠定了基礎(chǔ)，該項(xiàng)目已被列入上海市科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，將使我國成為全球 第二個(gè)擁有氯化氫催化氧化制氯氣技術(shù)的國家。

工業(yè)排放的揮發(fā)性有機(jī)污染物（VOCs）大多具有一定的環(huán)境毒性，VOCs的污染問題一直是世界各國極為重視的環(huán)境問題，并制定了相關(guān)排放法規(guī)。我國在生產(chǎn)和使用化學(xué)品過程中（如石化、制鞋業(yè)、皮革業(yè)、噴漆和涂料等行業(yè)），所產(chǎn)生的有機(jī)廢氣排放成為大氣污染的主要來源之一，國內(nèi)外實(shí)踐證明催化氧化是治理工業(yè)有機(jī)氣體污染物的最有效方法。本項(xiàng)目針對(duì)VOCs凈化催化劑開發(fā)過程中要解決的兩個(gè)關(guān)鍵難題（低溫催化活性和高溫穩(wěn)定性；減少貴金屬用量以降低生產(chǎn)成本），運(yùn)用納米技術(shù)開發(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的凈化催化劑的關(guān)鍵材料－高性能與穩(wěn)定性有機(jī)結(jié)合的稀土儲(chǔ)氧材料、高溫穩(wěn)定的大比表面氧化鋁復(fù)合氧化物；在凈化催 化劑的組成設(shè)計(jì)方面，充分利用我國豐富的稀土資源，提出了“稀土－非貴金屬－微量貴金屬”的催化劑活性組分設(shè)計(jì)方案，降低了貴金屬用量，從而顯著降低了催化劑生產(chǎn)成本；運(yùn)用系統(tǒng)工程學(xué)原理解決了均質(zhì)、穩(wěn)定、高凈化效率的整體式催化劑的制備工藝（真空涂覆－負(fù)壓抽提技術(shù)）和基于納米組裝技術(shù)的活性組分一次性涂覆技術(shù)，從而制備了高性能的VOCs凈化催化劑。本項(xiàng)目在多家化工企業(yè)得到了推廣應(yīng)用，產(chǎn)生了明顯的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

眾所周知，煉油廠催化裂化裝置中煙氣輪機(jī)的安全運(yùn)行和使用壽命在很大程度上取決于第三級(jí)旋風(fēng)分離器排出的煙氣介質(zhì)中所含催化劑濃度和顆粒度的大小。為保證煙氣輪機(jī)得以安全長(zhǎng)期運(yùn)行，有必要對(duì)煙氣輪機(jī)入口的煙氣進(jìn)行在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以及時(shí)了解煙氣中含催化劑的濃度和粒度大小以及變化，并采取相應(yīng)的控制措施。 我校最新研制的全自動(dòng)TSM-2顆粒濃度和粒度在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，根據(jù)先進(jìn)的Mie光散射理論，針對(duì)催化煙氣的工藝特點(diǎn)和粒徑范圍，采用全散射原理和多波長(zhǎng)消光測(cè)粒技術(shù)，可實(shí)時(shí)地獲得顆粒的粒徑分布和濃度數(shù)據(jù)。系統(tǒng)功能如下 1．能實(shí)現(xiàn)非接觸連續(xù)測(cè)量。 催化劑檢測(cè)范圍：粒度：0.1微米—20微米；濃度：20—1000mg/m3。 2．系統(tǒng)使用開放式的數(shù)據(jù)庫管理技術(shù)，采用樹狀管理結(jié)構(gòu)。保證了系統(tǒng)的易擴(kuò)展性和數(shù)據(jù)的易維護(hù)性，同時(shí)為用戶提供了方便、開放、靈活的系統(tǒng)設(shè)置和組態(tài)功能。 3．采用兩種數(shù)據(jù)保存方式：數(shù)據(jù)文件和數(shù)據(jù)庫的形式，大容量的存儲(chǔ)空間可以保留長(zhǎng)期的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。 4．查詢催化劑監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。 5．報(bào)警： ①可以設(shè)置濃度報(bào)警限值 ②可以設(shè)置平均粒徑報(bào)警限值 6．采樣時(shí)間間隔設(shè)置：可以任意設(shè)置（大于１分鐘），最快的采樣時(shí)間間隔為５秒鐘。 眾所周知，煉油廠催化裂化裝置中煙氣輪機(jī)的安全運(yùn)行和使用壽命在很大程度上取決于第三級(jí)旋風(fēng)分離器排出的煙氣介質(zhì)中所含催化劑濃度和顆粒度的大小。為保證煙氣輪機(jī)得以安全長(zhǎng)期運(yùn)行，有必要對(duì)煙氣輪機(jī)入口的煙氣進(jìn)行在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以及時(shí)了解煙氣中含催化劑的濃度和粒度大小以及變化，并采取相應(yīng)的控制措施。 我校最新研制的全自動(dòng)TSM-2顆粒濃度和粒度在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，根據(jù)先進(jìn)的Mie光散射理論，針對(duì)催化煙氣的工藝特點(diǎn)和粒徑范圍，采用全散射原理和多波長(zhǎng)消光測(cè)粒技術(shù)，可實(shí)時(shí)地獲得顆粒的粒徑分布和濃度數(shù)據(jù)。

利用 外源化學(xué) 手段 實(shí)現(xiàn) 生物大分子的功能 調(diào)控 ，一直以來都是化學(xué)生物學(xué) 的重要研究方向之一。陳鵬課題組長(zhǎng)期致力于 “ 活細(xì)胞上的化學(xué) 反應(yīng) ” 的開發(fā)與應(yīng)用 ， 提出 并發(fā)展 了 “ 生物正交斷鍵反應(yīng)（ Bioorthogonal  c leavage reaction ） ”  這一 新反應(yīng)類型 ，突破了在活體內(nèi)研究蛋白質(zhì)功能的技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了一系列原始創(chuàng)新 （ Nat. Chem.   2014,  6 , 352-61 ;  Nat. Chem. Biol.  2016,  12 , 129-37 ;   Nature  201 9,   569 , 509-13 ） 。