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研發階段/n該成果一方面可以彌補串聯機器人的運動精度低、結構剛度低、承載能力小等缺點，另一方面可用于解決傳統的由桿支撐并聯機器人所存在的諸多缺陷問題，利用繩索代替剛性桿作為并聯機器人的驅動元件，可以使驅動模塊安裝在機器人底座上，因而其結構簡單，慣性小，質量輕，運動速度快，運動精度高；具有較高的負重比率；平動工作空間較大，可實現變構型且結構易于重新配置；制造維護費用較低。該成果的各項性能指標均優于目前市場上廣泛應用的六自由度液壓并聯轉臺，其主要技術指標有工作空間為主體框架空間的45-55%，最大運動速度≥1.5m/s，最大載荷為2kg，平移運動誤差≤，角度運動誤差≤。該成果可用于空中攝像系統、大型射電望遠鏡、輪船制造、起重機器人、并聯肢體康復機器人、海上精密儀器檢測系統等領域。。支持額度：。300。萬元。承接單位：。湖北省。項目進展：。該成果一方面可以彌補串聯機器人的運動精度低、結構剛度低、承載能力小等缺點，另一方面可用于解決傳統的由桿支撐并聯機器人所存在的諸多缺陷問題，利用繩索代替剛性桿作為并聯機器人的驅動元件，可以使驅動模塊安裝在機器人底座上，因而其結構簡單，慣性小，質量輕，運動速度快，運動精度高；具有較高的負重比率；平動工作空間較大，可實現變構型且結構易于重新配置；制造維護費用較低。該成果的各項性能指標均優于目前市場上廣泛應用的六自由度液壓并聯轉臺，其主要技術指標有工作空間為主體框架空間的45-55%，最大運動速度≥1.5m/s，最大載荷為2kg，平移運動誤差≤，角度運動誤差≤。該成果可用于空中攝像系統、大型射電望遠鏡、輪船制造、起重機器人、并聯肢體康復機器人、海上精密儀器檢測系統等領域。。項目基本內容：。該成果一方面可以彌補串聯機器人的運動精度低、結構剛度低、承載能力小等缺點，另一方面可用于解決傳統的由桿支撐并聯機器人所存在的諸多缺陷問題，利用繩索代替剛性桿作為并聯機器人的驅動元件，可以使驅動模塊安裝在機器人底座上，因而其結構簡單，慣性小，質量輕，運動速度快，運動精度高；具有較高的負重比率；平動工作空間較大，可實現變構型且結構易于重新配置；制造維護費用較低。該成果的各項性能指標均優于目前市場上廣泛應用的六自由度液壓并聯轉臺，其主要技術指標有工作空間為主體框架空間的45-55%，最大運動速度≥1.5m/s，最大載荷為2kg，平移運動誤差≤，角度運動誤差≤。該成果可用于空中攝像系統、大型射電望遠鏡、輪船制造、起重機器人、并聯肢體康復機器人、海上精密儀器檢測系統等領域。市場預期：八繩六自由度繩驅并聯機器人：銷售成本：50萬元/臺；銷售價格：300萬元/臺；年產值：1500萬元；年利潤：1250萬元。

本發明提供了一種模態頻率對質量的靈敏度分析方法，構造結構導納矩陣并獲得前ｍ階模態頻率，從結構第一個節點開始添加質量攝動項，將加速度導納信息代入矩陣修正公式形式獲得攝動后的加速度導納，提取結構的頻率信息，獲得結構模態頻率對質量的靈敏度，按照節點順序改變質量攝動點位置獲得對應得靈敏度，從而獲得整個結構模態頻率對質量的靈敏度。本發明方法首先通過有限元計算獲得結構的加速度導納，當結構質量發生攝動時，利用矩陣變換公式無需有限元二次計算，只需要初始的加速度導納信息進行數值計算即可獲得攝動后的加速度導納，簡化計算效率，更加方便，實現了基于加速度導納對質量的靈敏度快速計算方法，具有實際工程意義。

本發明提供了一種基于質量影響的快速靈敏度分析方法，構造速度導納矩陣，并獲得前m階模態頻率，從結構第一個節點開始添加質量攝動項，將速度導納矩陣代入矩陣修正公式獲得攝動后的速度導納矩陣，辨識結構的頻率，獲得結構模態頻率對質量的靈敏度，按照節點順序改變質量攝動點位置，重復前述步驟獲得對應得靈敏度，從而獲得整個結構模態頻率對質量的靈敏度，繪制靈敏度曲線。本發明當結構的質量發生變化時，利用矩陣變換公式無需進行有限元再次計算，只需要初始的速度導納信息進行數值計算即可獲得攝動后的速度導納，簡化計算效率，更加方便，實現了基于速度導納對質量的靈敏度快速計算方法，具有實際工程意義。

本發明公開了一種多探針平面度檢測儀及其相應的檢測方法，該檢測儀包括測量探針陣列、測量物鏡、干涉顯微鏡、CCD 成像裝置、垂直掃描工作臺和水平工作臺，其中干涉顯微鏡和 CCD 成像裝置設置在垂直掃描工作臺上，分別用于形成光的干涉條紋和干涉條紋的成像；測量探針陣列包括多個探針，這些探針各自的前端具有探針針尖，后端具有平面反射鏡；測量物鏡固定安裝在干涉顯微鏡下部并處于探針平面反射鏡上方，用于對光線進行匯聚；水平工作臺設置在測量探針陣列下方用于放置被測樣品。按照本發明，能夠實現多探針同時測量，充分利用光干涉的高精度特性并有效避免測量時被測表面材料光學性能的影響，相應能夠實現結構簡單、測量精度高和成本低的效果。