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本技術(shù)提出以無(wú)溶劑法合成ZSM-5分子篩，在分子篩合成過(guò)程中無(wú)溶劑參與，僅將初始原料研磨混勻后，轉(zhuǎn)移到反應(yīng)釜中進(jìn)行晶化反應(yīng)，從而簡(jiǎn)化了合成工藝，實(shí)現(xiàn)ZSM-5分子篩低成本、高效、綠色合成。

本發(fā)明公開了一種硅光子晶體波導(dǎo)器件的飛秒激光制備系統(tǒng)及方法，系統(tǒng)包括飛秒激光器、多級(jí)半波片、偏振分光棱鏡、第一反射鏡、空間光調(diào)制器、第一透鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、電動(dòng)翻轉(zhuǎn)鏡、第四反射鏡、高倍物鏡、三維加工平臺(tái)、第三透鏡、CCD相機(jī)、計(jì)算機(jī)；由飛秒激光器輸出的激光通過(guò)多級(jí)半波片和偏振分光棱鏡，經(jīng)過(guò)反射鏡射入空間光調(diào)制器；用計(jì)算機(jī)將加工方案生成全息圖，加載到空間光調(diào)制器；光束經(jīng)調(diào)制后通過(guò)第一透鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、第四反射鏡，再經(jīng)過(guò)高倍物鏡聚焦到硅基片上，通過(guò)輸入到計(jì)算機(jī)內(nèi)的程序控制三維加工平臺(tái)移動(dòng)，完成加工任務(wù)。本發(fā)明加工步驟簡(jiǎn)易，加工精度高，加工速度快，加工成本低。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 南京金牛高速分析儀器有限公司專業(yè)制造各類鋼鐵成分分析儀器,鑄造生鐵化驗(yàn)儀,有色金屬分析儀，多元素分析儀，高頻紅外碳硫分析儀，電腦碳硫分析儀，五大元素分析儀等高速分析儀器，產(chǎn)品高、中、低檔齊全。一、碳硫主要技術(shù)指標(biāo)：1、測(cè)量范圍：碳0.02％～6.00％  硫0.002％～2.00％;2、測(cè)量時(shí)間：C、 S約45秒;3、測(cè)量精度：符合GB/T223.69-97　GB/T223.68-97標(biāo)準(zhǔn);二、元素分析主要技術(shù)指標(biāo)：1、分析方法：光電比色分析法;2、量程范圍：吸光度值0～1.999A、濃度值0～99.99％;3、測(cè)量精度：符合GB223.3－5.88標(biāo)準(zhǔn);4、可測(cè)元素：錳、磷、硅、鎳、鉬、鉻、鈦、銅、鉛、鋅、鐵、鋁、鎂、稀土、鈮、釩等元素的分析;5、電源電壓：220v±10%  50Hz ;三、碳硫主要特點(diǎn)：1、氣體容量法差壓式定碳、碘量法定硫；2、單片機(jī)控制電路，工作過(guò)程全自動(dòng)操作、徹底消除人為誤差、性能穩(wěn)定可靠；3、進(jìn)口精密傳感器檢測(cè)數(shù)據(jù)，測(cè)量準(zhǔn)確，自動(dòng)打印測(cè)量結(jié)果。4、啟動(dòng)一次完成碳硫全部測(cè)定。操作簡(jiǎn)單、維修方便。四、元素分析主要特點(diǎn)：1、零點(diǎn)、滿度均可自動(dòng)調(diào)整，無(wú)需準(zhǔn)確調(diào)整，直讀吸光度或百分比含量，自動(dòng)打印結(jié)果，包括爐號(hào)、日期、濃度百分含量；2、采用單片機(jī)控制電路，可儲(chǔ)存15條曲線；3、采用精密觸摸式鍵盤，32鍵音響提示，操作簡(jiǎn)單、適用、穩(wěn)定性好；4、更換不同的冷光源或?yàn)V光片，可擴(kuò)大測(cè)量元素的種類和含量范圍；5、采用先進(jìn)的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)，適用于各種金屬材料化驗(yàn)。

伴隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時(shí)，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過(guò)程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導(dǎo)致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴(yán)重影響了多晶硅電極的使用性能。 傳統(tǒng)制備技術(shù)下，設(shè)備熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)單一，熔體流動(dòng)性差，導(dǎo)致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導(dǎo)實(shí)現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進(jìn)而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應(yīng)分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應(yīng)用于刻蝕等半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。 本項(xiàng)目預(yù)期可以為半導(dǎo)體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實(shí)現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過(guò)程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，保護(hù)環(huán)境。

關(guān)鍵工序生產(chǎn)的自動(dòng)化 ① 粉碎（雷蒙磨）自動(dòng)控制系統(tǒng)的研發(fā)   研制可對(duì)粉碎車間雷蒙磨振動(dòng)下料、粉碎、氣流粗分工況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、自動(dòng)優(yōu)化控制的自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)。將雷蒙磨因堵塞停機(jī)造成的故障次數(shù)比現(xiàn)階段減少75%，且提高工效15%以上。    ② 氣流分級(jí)自動(dòng)控制系統(tǒng)的研發(fā)   研制氣流分級(jí)機(jī)用自動(dòng)控制系統(tǒng)，具備以下功能：可根據(jù)分級(jí)輪主機(jī)負(fù)載實(shí)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)喂料速度、根據(jù)所設(shè)定的風(fēng)壓值自動(dòng)調(diào)整變頻器運(yùn)行、根據(jù)生產(chǎn)工藝要求自動(dòng)向企業(yè)綜合信息平臺(tái)實(shí)時(shí)發(fā)送生產(chǎn)工況參數(shù)。    ③ 提純工序?qū)崟r(shí)檢測(cè)與信息管理系統(tǒng)的研發(fā)   開發(fā)可對(duì)提純缸、脫水機(jī)、烘干爐等主要設(shè)備工況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的智能化監(jiān)控儀設(shè)備。    ④ 水力分級(jí)自動(dòng)控制系統(tǒng)的研發(fā)   研發(fā)水力分級(jí)設(shè)備用自動(dòng)控制系統(tǒng)，可根據(jù)工藝曲線要求自動(dòng)控制水流量。采用水泵變頻控制，變常規(guī)的高低液位控制為恒液位控制，液位控制精度達(dá)到0.3%；研制出料自動(dòng)切換裝置，實(shí)現(xiàn)出料無(wú)人值守。 ⑤ SiC冶煉爐在線自動(dòng)測(cè)控裝置的研發(fā)   研制SiC冶煉爐在線自動(dòng)測(cè)控裝置，可按冶煉工藝和爐溫自動(dòng)進(jìn)行恒功率綜合優(yōu)化控制，爐溫控制精度達(dá)到2.5級(jí)。成果已在工廠正常運(yùn)行3年。獲得4項(xiàng)發(fā)明專利授權(quán)，5項(xiàng)軟件著作權(quán)授權(quán) 雷蒙磨粉碎自動(dòng)檢測(cè)方法及裝置                   專利號(hào)：ZL200810020792.3 一種提高碳化硅微粉水溢流分級(jí)效率的精密控制方法 專利號(hào)：ZL200910035173.6 一種燃煤鍋爐能效監(jiān)測(cè)方法                      專利號(hào)：ZL201110091483.7 陣列式LED照明燈具的中心區(qū)域溫度動(dòng)態(tài)控制方法  專利號(hào)：ZL201210356239.3 一種經(jīng)濟(jì)型燃煤鍋爐能效監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法           專利號(hào)：ZL201110292517.9 一種低冗余度高可靠性船舶發(fā)電機(jī)組智能測(cè)速裝置 專利號(hào)：ZL201110058228.2一種手機(jī)可遙控的總線型區(qū)域供熱計(jì)量管理系統(tǒng) 專利號(hào)：ZL201010134495.9

擁有人工微結(jié)構(gòu)科學(xué)與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新中心、固體微結(jié)構(gòu)物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體節(jié)能器件及材料國(guó)家地方聯(lián)合工程中心以及江蘇省光電信息功能材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等科研平臺(tái)，在硅基納米結(jié)構(gòu)材料與性能調(diào)控，硅基光子學(xué)器件和新型能源器件等基礎(chǔ)研究領(lǐng)域具有很強(qiáng)的影響力。近年來(lái)，在硅基太陽(yáng)能電池片研發(fā)及其新型結(jié)構(gòu)材料在電池片上應(yīng)用等方面開展了全方位的研究，承擔(dān)完成了國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃課題和國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目等相關(guān)課題的研究。提出了漸變帶隙的納米硅量子點(diǎn)電池結(jié)構(gòu)，利用漸變帶隙進(jìn)一步拓寬電池的響應(yīng)光譜范圍，發(fā)展了包

實(shí)現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)冷氫化工藝過(guò)程工程化的關(guān)鍵加熱系統(tǒng)裝置；降低成本40%，減少能耗2/3。8000小時(shí)以上無(wú)故障穩(wěn)定運(yùn)行加熱合成反應(yīng)器關(guān)鍵技術(shù)。

本發(fā)明公開了一種硅太陽(yáng)能電池正面銀電極用銀粉的制備方法， 包括以下步驟：將硝酸銀和檸檬酸溶于去離子水配制得到 A 溶液；將 瓜爾豆膠、抗壞血酸以及硝酸溶于去離子水中配制得到 B 溶液；在攪 拌的情況下，將 A 溶液逐漸滴加到 B 溶液，反應(yīng)一段時(shí)間；靜置，沉 淀得到銀粉。本發(fā)明通過(guò)引入瓜爾豆膠為反應(yīng)離子分散劑、檸檬酸為 粒子表面改性劑，在液相化學(xué)還原法下制備得到平均粒徑 D50 為 1.0-3.0μm 的銀粉，并兼顧

本發(fā)明公開了一種基于 SiCx 織構(gòu)的硅量子點(diǎn)浮柵非易失性半導(dǎo) 體存儲(chǔ)器及其制備方法，包括硅襯底，在硅襯底上摻雜形成的源導(dǎo)電 區(qū)和漏導(dǎo)電區(qū)，以及在源漏之間的載流子溝道上依次生長(zhǎng)的隧穿氧化 層、電荷存儲(chǔ)層、控制柵氧化層及金屬柵層；所述電荷存儲(chǔ)層包括 SiCx 織構(gòu)和橫縱向均勻分布于 SiCx 織構(gòu)中的硅量子點(diǎn)。本發(fā)明有效利用硅 量子點(diǎn)-SiCx 織構(gòu)間的隧穿勢(shì)壘，構(gòu)成了控制柵氧化層-SiCx 織構(gòu)-Si 量子點(diǎn)-SiC

本發(fā)明公開的有機(jī)硅型海洋防污涂料基料，它的結(jié)構(gòu)如式（1），式中為含有殺菌劑側(cè)鏈的有機(jī)硅聚氨酯化合物，R為CH2CH3。制備步驟包括：1）氯丙基甲基二甲氧基硅烷和二甲基二甲氧基硅烷反應(yīng)得到含氯丙基聚硅氧烷；2）將含氯丙基聚硅氧烷、叔胺和含羥基叔胺回流反應(yīng)，生成含有季銨鹽與羥基的聚硅氧烷；3）將異氰酸酯、二月桂酸二丁基錫和含有季銨鹽與羥基與溶劑混合，加入γ-氨丙基三乙氧基硅烷進(jìn)行擴(kuò)鏈，得到含有交聯(lián)基團(tuán)-Si(OCH2CH3)的預(yù)聚體，預(yù)聚體在空氣中交聯(lián)縮合，即可。本發(fā)明的有機(jī)硅型基料既有低表面能性能，有很好的疏水性，分子鏈上也有環(huán)保型殺菌劑，有很好的殺菌效果，達(dá)到很好的海洋防污效果式（1）。