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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本項(xiàng)目突破了機(jī)理模型與工況數(shù)據(jù)混合驅(qū)動(dòng)的航空/航天復(fù)雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預(yù)測(cè)技術(shù)，提出了零件全流程加工智能工藝優(yōu)化決策方法，開(kāi)發(fā)了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的智能加工產(chǎn)線工藝全流程智能決策和優(yōu)化軟件系統(tǒng)。 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目突破了機(jī)理模型與工況數(shù)據(jù)混合驅(qū)動(dòng)的航空/航天復(fù)雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預(yù)測(cè)技術(shù)，提出了零件全流程加工智能工藝優(yōu)化決策方法，開(kāi)發(fā)了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的智能加工產(chǎn)線工藝全流程智能決策和優(yōu)化軟件系統(tǒng)。 1、提出機(jī)理模型和工況數(shù)據(jù)混合驅(qū)動(dòng)的航空/航天復(fù)雜薄壁零件全流程加工精度/效率/能耗高效高精預(yù)測(cè)算法，突破全流程加工工藝智能優(yōu)化與決策技術(shù)。 2、開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的智能加工產(chǎn)線工藝全流程智能決策和優(yōu)化軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)能耗監(jiān)測(cè)/DFM/CAM/CAPP等工藝設(shè)計(jì)軟件核心算法完全自主可控。

本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于復(fù)雜零件的固熔復(fù)合增材成形方法， 該方法包括以下步驟：建立金屬零件 CAD 幾何模型，然后提取 STL 模型，利用分層切片軟件以分層厚度為單位對(duì) STL 模型進(jìn)行合理分層 并提取各層的輪廓信息，由計(jì)算機(jī)根據(jù)這些輪廓信息生成控制指令； 通過(guò)切割裝置用該層對(duì)應(yīng)的數(shù)控指令沿該層的輪廓軌跡切割該層板 料；按照各層的排列次序通過(guò)焊料依次將各層板料進(jìn)行粘合，以此完 成整個(gè)零件的粘合處理；粘合處理后的整個(gè)零件進(jìn)行加熱，以實(shí)現(xiàn)固 熔復(fù)合熔接成形，以此方式，完成復(fù)雜零件的增材成形。本發(fā)明與現(xiàn) 有

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于軸類零件在裝配或加工中實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)的裝置。包括氣爪機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，傳送鏈上沿傳送方向依次設(shè)置有用于控制軸類零件前進(jìn)和停止的氣爪機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)底座、兩根豎直導(dǎo)桿、水平導(dǎo)桿和導(dǎo)向桿，兩根豎直導(dǎo)桿下部分別插裝在兩側(cè)的底座上；豎直導(dǎo)桿上部固定安裝有水平導(dǎo)桿，兩側(cè)的水平導(dǎo)桿相對(duì)布置，兩側(cè)的水平導(dǎo)桿之間套接有導(dǎo)向桿；底座底部側(cè)壁開(kāi)有槽口，槽口內(nèi)裝有用于防止軸類零件過(guò)度翻轉(zhuǎn)的彈簧片。本實(shí)用新型能有效的保證零件的翻轉(zhuǎn)，減少了操作工位，同時(shí)也減少工作設(shè)備，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，而且不會(huì)占用太多空間，適用于各種軸類零件，降低了成本，大大提高了生產(chǎn)效率。

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本發(fā)明公開(kāi)了一種具有模式轉(zhuǎn)換功能的防風(fēng)防浪型仿生水黽機(jī)器人，包括布置在主體底板周圍的四條支撐腿，每條支撐腿包括：橫向支撐腿，一端與主體底板橫向轉(zhuǎn)動(dòng)鉸接；縱向支撐腿，一端與橫向支撐腿的自由端縱向轉(zhuǎn)動(dòng)鉸接；漂浮支撐腿，頂部與縱向支撐腿的自由端連接；所述仿生水黽機(jī)器人還包括保持主體底板、橫向支撐腿和縱向支撐腿之間相對(duì)位置的保持部件，以及用于驅(qū)動(dòng)橫向支撐腿相對(duì)主體底板橫向轉(zhuǎn)動(dòng)、驅(qū)動(dòng)縱向支撐腿相對(duì)橫向支撐腿轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)部件；本發(fā)明通過(guò)調(diào)整支撐腿的位置和形態(tài)，從而改變機(jī)器人的姿態(tài)和模式，可以更好的適應(yīng)自然環(huán)境；在風(fēng)浪較大時(shí)，調(diào)整成平穩(wěn)模式，抵御風(fēng)浪的侵襲；在風(fēng)浪較小時(shí)，調(diào)整成前進(jìn)模式，行進(jìn)阻力小、運(yùn)動(dòng)靈活。

智能化可燃性氣體傳感器具有本質(zhì)安全、自動(dòng)調(diào)校等優(yōu)點(diǎn)，在多個(gè)技術(shù)指標(biāo)上有明顯優(yōu)勢(shì)，成本低于同類產(chǎn)品。試生產(chǎn)產(chǎn)品在龍煤集團(tuán)下屬煤礦試用，其穩(wěn)定性、可靠性、本質(zhì)安全等優(yōu)點(diǎn)得到使用人員、領(lǐng)導(dǎo)的高度認(rèn)可。產(chǎn)品在重慶梅安森、中國(guó)礦業(yè)大學(xué)等生產(chǎn)或研究單位使用、實(shí)驗(yàn)，其性能、優(yōu)點(diǎn)得到有關(guān)人員認(rèn)可。智能化傳感器等產(chǎn)品與WIFI及網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、通訊技術(shù)結(jié)合產(chǎn)生的智能家居安防系列產(chǎn)品已完成，將作為智能家居重要成員進(jìn)入千家萬(wàn)戶。

我方與合作方聯(lián)合開(kāi)發(fā)了一套擁有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的眼動(dòng)識(shí)別軟件以及與配合使用的外接眼動(dòng)儀智能硬件。 該套設(shè)備可以自動(dòng)跟蹤并分析患者眼瞼的肌肉動(dòng)作，精確抓取不完全瞬目、眨眼過(guò)快、眨眼過(guò)慢、用眼過(guò)度等用眼習(xí)慣數(shù)據(jù)，以自主研發(fā)硬件進(jìn)行智能提示，幫助視頻終端引起的干眼癥及眼疲勞癥患者制定正確用眼習(xí)慣計(jì)劃，有效輔助治療視頻終端相關(guān)性干眼及視疲勞。

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