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本項(xiàng)目將研制一套軟硬件一體化的醫(yī)學(xué)圖像處理與三維重建系統(tǒng)產(chǎn)品，該產(chǎn)品由三大部分組成，包括： 高性能、大容量、適合處理醫(yī)學(xué)圖像的硬件平臺(tái)； 針對(duì)醫(yī)學(xué)圖像處理裁剪后的專用Linux操作系統(tǒng)；綜合醫(yī)學(xué)圖像處理與三維重建的醫(yī)療專業(yè)應(yīng)用系統(tǒng)。 成果性能：三維重建速度快、重建的圖像真實(shí)、精細(xì)，操作方便。 應(yīng)用范圍：CT、MRI等醫(yī)學(xué)圖像處理與三維重建虛擬手術(shù)

本發(fā)明公開(kāi)一種簡(jiǎn)易手動(dòng)真三軸儀，包括剛性底座、水平及豎直承載框、手搖式作動(dòng)器、圍壓固定端，可用于土類立方體試塊的三向加載。剛性底座主要用來(lái)為立方體試塊的豎向加載提供豎向支承，剛性底座上安裝導(dǎo)軌，使其與水平向的手搖式作動(dòng)器以及圍壓固定端裝配連接，通過(guò)移動(dòng)導(dǎo)軌上的裝置便于安放和取下立方體試塊，并可用來(lái)調(diào)節(jié)加載過(guò)程中立方體試塊的水平位置，手搖式作動(dòng)器安裝在Ｘ、Ｙ、Ｚ向，本發(fā)明制造成本低，使用過(guò)程中不耗電，加載力的量程小，安全性高，操作簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)實(shí)用，綠色環(huán)保，且體積小便于攜帶，具有良好的應(yīng)用前景。

根據(jù)復(fù)雜設(shè)備維護(hù)訓(xùn)練的需求，西安科技大學(xué)自 2011 年開(kāi)始研發(fā)桌面式三維虛擬拆裝訓(xùn)練技術(shù)，目前此技術(shù)已經(jīng)成熟并在部隊(duì)大型武器裝備維護(hù)拆裝訓(xùn)練中推廣應(yīng)用。該成果申請(qǐng)軟件著作權(quán) 1 項(xiàng)。 3DVSATS 軟件系統(tǒng)基于 OSG 三維渲染引擎開(kāi)發(fā)，可根據(jù)客戶需求定制拆裝訓(xùn)練設(shè)備，支持 3DMax 、 Maya 等主流建模軟件建立的三維模型，可對(duì)設(shè)備各部分零件進(jìn)行直觀的三維展示；設(shè)備維護(hù)人員通過(guò)鼠標(biāo)、鍵盤等進(jìn)行交互操作，可以完成定制設(shè)備的拆解和裝配訓(xùn)練，并可記錄操作過(guò)程，最終統(tǒng)計(jì)出每次操作的錯(cuò)誤步驟并打分。

成果與項(xiàng)目的背景及主要用途： 間三氟甲基苯酚是間氨基三氟甲苯的主要衍生產(chǎn)品之一，它是合成酰氨類農(nóng) 藥除草劑“吡氟草胺”的關(guān)鍵中間體。另外，其嘧啶丙烯酸酯作為農(nóng)藥殺菌劑使用； 在醫(yī)藥領(lǐng)域，用于合成抗菌素重要中間體 3-芳基甲基頭孢菌素衍生物，合成抗驚 蕨藥物苯基苯氧乙基氨基磺酸酯，抗結(jié)核病藥物 N、N-二苯基脲衍生物。 根據(jù)目前文獻(xiàn)報(bào)道，間三氟甲基苯酚的合成方法有五種: 過(guò)氧化氫氧化法, 三氟甲基烷基化法,電解法,重氮化水解法,醚水解法等。其中重氮化水解法所使用 的原料便宜易得,反應(yīng)條件溫和, 產(chǎn)品的收率和純度高。該法是目前工業(yè)上應(yīng)用得 最廣泛的方法。 技術(shù)原理與工藝流程簡(jiǎn)介： 由文獻(xiàn)資料以及生產(chǎn)的可行性分析,通過(guò)間三氟甲基苯胺重氮化、再水解的工 藝是較好的可行工藝,但目前存在的缺點(diǎn)是得到間三氟甲基苯酚的收率較低。分 析原因主要有,一是在重氮化反應(yīng)結(jié)束后,會(huì)有少量亞硝酸存在,在加熱水解時(shí),會(huì) 產(chǎn)生氧化反應(yīng),使焦油產(chǎn)生較多。二是在加熱水解重氮鹽時(shí),重氮鹽一次性都在反 應(yīng)器內(nèi)進(jìn)行分解,分解時(shí)間長(zhǎng)、副反應(yīng)多、焦油也多。 針對(duì)上述問(wèn)題，天津大學(xué)采用改進(jìn)的重氮化水解耦合水蒸汽蒸餾工藝，制備 間三氟甲基苯酚，具體方案是,將間三氟甲基苯胺重氮化反應(yīng)制得的重氮鹽水溶 26天津大學(xué)科技成果選編 27 液滴加到含有尿素的水介質(zhì)中加熱水解,同時(shí)通入水蒸氣蒸餾,使水解產(chǎn)生的間三 氟甲基苯酚馬上被蒸餾出,減少分解副反應(yīng),減少焦油生成量。產(chǎn)品收率>90%，純 度>99.5%，與目前已有工藝水平相比，收率提高 10%以上，純度達(dá)到優(yōu)級(jí)品標(biāo) 準(zhǔn)。 技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況： 已獲得成熟的小試技術(shù)成果，已獲得專利授權(quán)（ZL201010126241.2 ） 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測(cè)： 間三氟甲基苯酚是具有廣泛用途的精細(xì)有機(jī)中間體，本生產(chǎn)方法的反應(yīng)時(shí) 間短、技術(shù)簡(jiǎn)單、操作條件溫和；獲得的目標(biāo)產(chǎn)品純度高，收率高；水解廢水可 以回收利用；是生產(chǎn)間三氟甲基苯酚極具競(jìng)爭(zhēng)性的技術(shù)，具有可觀經(jīng)濟(jì)收益預(yù)期。 應(yīng)用領(lǐng)域：精細(xì)化工領(lǐng)域（農(nóng)藥、藥物和染料） 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件（包括：原料、設(shè)備、廠房面積的要求及投資規(guī)模）： 主要原料：間三氟甲基苯胺、尿素、硫酸、亞硝酸鈉、二氯甲烷 主要設(shè)備：重氮化反應(yīng)釜、硫酸高位槽、亞硝酸鈉配制罐、重氮鹽滴加罐、 水解罐、水蒸氣發(fā)生器、蒸餾液接收罐、萃取罐、蒸餾釜等 廠房面積：150-200m2 投資規(guī)模：主要設(shè)備投資 100 萬(wàn)元 合作方式及條件：擬與企業(yè)聯(lián)合進(jìn)行中試及工業(yè)化生產(chǎn)。 

（專利號(hào)：ZL 201510908980.X） 簡(jiǎn)介：本發(fā)明公開(kāi)一種三xz由度翻轉(zhuǎn)機(jī)器人，屬于工業(yè)機(jī)器人應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。該機(jī)器人包括氣動(dòng)抓手機(jī)構(gòu)、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、升降及伸縮機(jī)構(gòu)；其中氣動(dòng)抓手機(jī)構(gòu)包括抓手及氣動(dòng)手指；翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括三個(gè)傳動(dòng)板及氣缸；升降機(jī)構(gòu)包括升降板及氣缸；伸縮機(jī)構(gòu)包括伸縮板、氣缸、桌面連接板及固定座。本發(fā)明利用曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，將翻轉(zhuǎn)部分放在連桿上，當(dāng)氣缸推動(dòng)滑桿移動(dòng)，曲柄轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)連桿翻轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)抓手的180度翻轉(zhuǎn)，同時(shí)抓手部分的氣動(dòng)手指可以帶動(dòng)抓手實(shí)現(xiàn)抓取和放下的動(dòng)作。本發(fā)明具有機(jī)構(gòu)制作簡(jiǎn)單、安裝調(diào)試方便及制造成本較低等特點(diǎn)。

三烷氧基硅烷是重要的精細(xì)化工產(chǎn)品，其結(jié)構(gòu)式為(RO)3SiH。因其具有可水解的Si-OCH3鍵，又有活潑的Si-H鍵。硅氫鍵能與一系列的烯類單體發(fā)生硅氫加成，得到各種硅烷偶聯(lián)劑，有機(jī)硅封端固化的醚以及聚丙烯酸酯密封膠和粘合劑等產(chǎn)品，具有重要的應(yīng)用價(jià)值。目前使用最多的為三甲氧基硅烷，三乙氧基硅烷，是近年來(lái)很受重視的有機(jī)硅中間體。 其傳統(tǒng)的制備方法為：以三氯氫硅、相應(yīng)的醇為原料進(jìn)行醇解反應(yīng)，再進(jìn)行特種精餾方法得到。反應(yīng)式：CH3SiH + 3ROH      (RO)3SiH + 3HCl↑ 由于該法中原料三氯氫硅沸點(diǎn)低，易水解，故貯運(yùn)極不方便，且制備過(guò)程中產(chǎn)生大量的氯化氫氣體，環(huán)境污染嚴(yán)重，危險(xiǎn)性大，設(shè)備腐蝕嚴(yán)重，工藝復(fù)雜，成本高，難以達(dá)到模生產(chǎn)，嚴(yán)重制約著國(guó)內(nèi)有機(jī)硅工業(yè)的發(fā)展。為此，我們經(jīng)過(guò)多年的研究，采用以硅粉及相應(yīng)的醇為原料直接合成三烷氧基硅烷，避免了醇解法的缺點(diǎn)，該工藝具有流程短、選擇性好、收率高、無(wú)環(huán)境污染、產(chǎn)品質(zhì)量大大提高等特點(diǎn)。新工藝經(jīng)小試、中試各項(xiàng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)處于國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先水平。反應(yīng)式：Si + ROH→(RO)3SiH + H2↑

隨著支配半導(dǎo)體技術(shù)數(shù)十年的摩爾定律日益接近其發(fā)展極限，多種功能器件集成被認(rèn)為是超越摩爾定律延續(xù)集成電路發(fā)展進(jìn)程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術(shù)。多元兼容集成制造技術(shù)就是為此而開(kāi)發(fā)的，該技術(shù)通過(guò)在更大范圍內(nèi)優(yōu)選結(jié)構(gòu)/功能材料組合，開(kāi)發(fā)異質(zhì)集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創(chuàng)新設(shè)計(jì)和制造的騰挪空間。經(jīng)過(guò)多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復(fù)合材料的MEMS異質(zhì)異構(gòu)制造技術(shù)體系，并在多種類型功能器件研發(fā)中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，初步展現(xiàn)了其基礎(chǔ)性支撐作用，相關(guān)技術(shù)獲得2016年度上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。 微系統(tǒng)集成發(fā)展趨勢(shì) 多元兼容集成制造技術(shù)  獲獎(jiǎng)情況 上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)2016年團(tuán)隊(duì)獲獎(jiǎng) 國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2008年 上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)2007年 超薄超快高熱流密度微通道散熱器 上海交通大學(xué)團(tuán)隊(duì)在長(zhǎng)期研究經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累基礎(chǔ)上，創(chuàng)造性地提出了不同高熱導(dǎo)率材料組合構(gòu)造的復(fù)合結(jié)構(gòu)微通道散熱器設(shè)計(jì)方案，并基于多元兼容集成制造技術(shù)完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當(dāng)?shù)某∩崞骼鋮s能力達(dá)到800W/cm2以上，在保留傳統(tǒng)微通道散熱器良好系統(tǒng)兼容性和適用性的基礎(chǔ)上達(dá)到了相當(dāng)高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統(tǒng)超高熱流密度散熱問(wèn)題提供了一個(gè)深具可行性的解決方案。 高溫薄膜溫度傳感器研究  發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室等極端惡劣環(huán)境下（高溫、強(qiáng)振動(dòng)、強(qiáng)腐蝕等）的工作參數(shù)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)對(duì)傳感器技術(shù)是嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，國(guó)內(nèi)外研究廣泛。交大團(tuán)隊(duì)基于特種材料微納集成制造技術(shù)的長(zhǎng)期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應(yīng)力調(diào)控、曲面圖形化和高溫敏感介質(zhì)等技術(shù)上取得了一定突破，成功開(kāi)發(fā)了多種可與現(xiàn)場(chǎng)結(jié)構(gòu)共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環(huán)境擾動(dòng)小、響應(yīng)快、靈敏度高、可分布式安置等優(yōu)點(diǎn)，該團(tuán)隊(duì)已經(jīng)掌握了溫度、應(yīng)力/應(yīng)變、熱流等多種高溫狀態(tài)參數(shù)測(cè)量技術(shù)，適用溫度在800-1300℃之間。 薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測(cè)試結(jié)構(gòu) 高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術(shù) 薄膜溫度傳感器在發(fā)動(dòng)機(jī)不同部位測(cè)溫需求 無(wú)線溫度傳感器測(cè)溫系統(tǒng) 高性能轉(zhuǎn)接板 基于轉(zhuǎn)接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統(tǒng)的硅轉(zhuǎn)接板性價(jià)比不高，阻礙了廣泛應(yīng)用。上海交大團(tuán)隊(duì)基于非硅微加工技術(shù)的長(zhǎng)期積累，突破了硅轉(zhuǎn)接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉(zhuǎn)接板。此外，還開(kāi)發(fā)了復(fù)合材料非硅轉(zhuǎn)接板，TCV陶瓷轉(zhuǎn)接板，TGV玻璃轉(zhuǎn)接板等各種三維封裝基板，實(shí)驗(yàn)室能夠針對(duì)不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開(kāi)發(fā)不同功能的專用轉(zhuǎn)接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個(gè)性化解決方案。 TSV-3D 高密度封裝概念圖  金屬-聚合物-納米復(fù)合材料非硅基轉(zhuǎn)接板實(shí)物圖片

動(dòng)作捕捉技術(shù)（motion capture）在影視、體育、安防等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。傳統(tǒng)的動(dòng)作捕捉分為兩大類，光學(xué)動(dòng)捕系統(tǒng)通過(guò)在采集環(huán)境部署多個(gè)紅外攝像頭，再在人員的動(dòng)捕服上放置光學(xué)標(biāo)記球來(lái)求解出采集者的姿態(tài)信息，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)人體運(yùn)動(dòng)的捕捉與動(dòng)畫映射；慣性動(dòng)捕系統(tǒng)通過(guò)慣性測(cè)量單元（IMU）來(lái)采集肢體的運(yùn)動(dòng)信息，采集設(shè)備相對(duì)更輕便，但采集精度不如光學(xué)動(dòng)捕系統(tǒng)。光學(xué)動(dòng)捕系統(tǒng)包括Motion Analysis，Vicon，Optitrack等，慣性動(dòng)捕系統(tǒng)有Xsens，諾亦騰等。 然而，無(wú)論是光學(xué)動(dòng)捕還是慣性動(dòng)捕都需要?jiǎng)幼魅舜┥咸囟ǖ脑O(shè)備，不可避免地會(huì)影響到人體運(yùn)動(dòng)的真實(shí)性和動(dòng)捕的使用范圍。同時(shí)，相應(yīng)的專業(yè)動(dòng)捕設(shè)備往往價(jià)格不菲，很多有需求的小型工作室也會(huì)望而卻步。因此，學(xué)術(shù)界和工業(yè)界都在極力研究“無(wú)標(biāo)記運(yùn)動(dòng)捕捉”技術(shù)，即不需要任何穿戴設(shè)備，僅由相機(jī)觀測(cè)和算法分析，就實(shí)現(xiàn)對(duì)多人體運(yùn)動(dòng)的實(shí)時(shí)準(zhǔn)確捕捉。這種技術(shù)有著更加廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，例如無(wú)人售貨超市、VR/AR游戲、遠(yuǎn)程全息通訊、數(shù)字人創(chuàng)建、虛擬主播、人機(jī)交互、全天候醫(yī)療監(jiān)護(hù)等。 近幾年，隨著深度學(xué)習(xí)技術(shù)的廣泛普及，無(wú)標(biāo)記動(dòng)捕領(lǐng)域也誕生了許多革命性技術(shù)，例如實(shí)時(shí)2D多人體關(guān)鍵點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)OpenPose等。然而，多目標(biāo)實(shí)時(shí)3D運(yùn)動(dòng)捕捉仍然是一個(gè)極具挑戰(zhàn)性的問(wèn)題，主要挑戰(zhàn)因素包括：如何實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)計(jì)算，如何進(jìn)行高效的多視角關(guān)聯(lián)，如何解決緊密交互帶來(lái)的觀測(cè)失真等。舉個(gè)例子，當(dāng)兩個(gè)人擁抱在一起的時(shí)候，當(dāng)前大多數(shù)檢測(cè)或重建算法都會(huì)失效。而理論上，多視角的觀測(cè)信號(hào)能夠在一定算法設(shè)計(jì)下互相補(bǔ)充，盡可能解決單視角運(yùn)動(dòng)重建的歧義性。如何充分利用多視角的視頻信號(hào)，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜、緊密交互場(chǎng)景下的多人體運(yùn)動(dòng)捕捉是當(dāng)前無(wú)標(biāo)記運(yùn)動(dòng)捕捉領(lǐng)域的核心問(wèn)題之一。 該項(xiàng)目研究工作提出的多視角人體運(yùn)動(dòng)捕捉系統(tǒng)包括相機(jī)采集模塊，2D姿態(tài)檢測(cè)模塊，4D關(guān)聯(lián)圖求解模塊，三維骨架求解模塊及渲染模塊。其主要算法貢獻(xiàn)在于提出并實(shí)現(xiàn)了4D Association算法。 當(dāng)前的多視角運(yùn)動(dòng)捕捉系統(tǒng)大多采用的是序貫地匹配策略，首先對(duì)每個(gè)視角進(jìn)行獨(dú)立的人體檢測(cè)和連接（例如，OpenPose檢測(cè)關(guān)鍵點(diǎn)和關(guān)鍵點(diǎn)相互連接的概率，從而對(duì)人體進(jìn)行連接；Mask-RCNN、AlphaPose和HRNet都需要先檢測(cè)每個(gè)人的BoundingBox，然后對(duì)每個(gè)人進(jìn)行獨(dú)立的人體檢測(cè)），然后對(duì)人體進(jìn)行多視角關(guān)聯(lián)和姿態(tài)求解，最后進(jìn)行時(shí)域跟蹤。這種常規(guī)方法的缺陷在于，當(dāng)單個(gè)視角檢測(cè)失敗以后，后續(xù)的算法難以對(duì)失敗的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行修正，從而將錯(cuò)誤的檢測(cè)傳遞到下一個(gè)步驟，影響跟蹤效果，對(duì)于緊密交互（例如前文提到的兩人擁抱）的情形，單視角的往往很難給出令人滿意的檢測(cè)結(jié)果，因此基于序貫式的算法一般會(huì)失效。 相較而言，該研究工作的創(chuàng)新性在于充分利用單圖連接(2D)、多視角連接(1D)、和時(shí)域連接(1D)之間的相互約束從而進(jìn)行全局優(yōu)化，用多視角信息和時(shí)域信息來(lái)避免單視角連接的歧義性，同時(shí)也通過(guò)單視角連接結(jié)果來(lái)優(yōu)化多視角的匹配，從而使得關(guān)聯(lián)結(jié)果更趨向于全局最優(yōu)。具體地，該研究工作提出了一種4D Graph的圖結(jié)構(gòu)，將上一幀的三維人體關(guān)鍵點(diǎn)（在初始幀或者人進(jìn)入動(dòng)捕范圍的時(shí)候可以缺失，不影響算法的運(yùn)行）和當(dāng)前每一視角的2D關(guān)鍵點(diǎn)建模在同一個(gè)圖結(jié)構(gòu)中，用單圖連接、多視角連接、時(shí)域連接的概率作為邊的權(quán)值，將人體多視角關(guān)聯(lián)的問(wèn)題看成提取有效邊的過(guò)程。為了快速地求解這個(gè)問(wèn)題，進(jìn)一步提出了一種基于完全子圖的近似求解算法，高效地完成了從4D圖結(jié)構(gòu)中提出正確的人體連接。 最終，該研究工作實(shí)現(xiàn)了緊密交互下人體的三維姿態(tài)重建，并展示了實(shí)時(shí)系統(tǒng)效果。其算法在多個(gè)數(shù)據(jù)集上均表現(xiàn)出了良好的視覺(jué)效果，在Shelf數(shù)據(jù)集上也取得了當(dāng)前最好的數(shù)值結(jié)果。

隨著我國(guó)汽車工業(yè)的快速發(fā)展，汽車產(chǎn)量和保有量迅速增加，汽車尾氣排放給城市空氣造成的污染日益嚴(yán)重。控制汽車尾氣污染的最有效途徑是降低單車排放量，安裝汽車尾氣凈化催化劑是目前最有效的方法之一，其關(guān)鍵是高效汽車尾氣凈化催化劑的開(kāi)發(fā)。根據(jù)汽車工業(yè)和燃油品質(zhì)的發(fā)展趨勢(shì)，我們對(duì)汽車尾氣凈化的關(guān)鍵催化反應(yīng)、凈化催化劑的組成、稀土與（非）貴金屬組分的相互作用等方面開(kāi)展了廣泛的應(yīng)用基礎(chǔ)研究，采用氧化共沉淀法、尿素水熱法、反相微乳液法等制備了高穩(wěn)定性與高儲(chǔ)放氧性能的稀土基儲(chǔ)氧材料；采用纖維素模板法和反相微乳液法等制備了大表面積和高熱穩(wěn)定性的氧化鋁基復(fù)合氧化物；為了降低凈化催化劑的成本，充分結(jié)合我國(guó)豐富的稀土資源，開(kāi)展了"稀土－非貴金屬－微量貴金屬"的催化劑設(shè)計(jì)方案，使催化劑的成本明顯下降；發(fā)展了整體式催化劑的制備方法，形成了一次涂覆可制備出均質(zhì)、穩(wěn)定的整體式催化劑的專有技術(shù)；解決了從實(shí)驗(yàn)室研究到工業(yè)化生產(chǎn)的工程化問(wèn)題，在多家企業(yè)實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)，產(chǎn)生了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。使用本技術(shù)生產(chǎn)的汽車尾氣三效催化凈化器后，汽車尾氣的排放可達(dá)到歐－Ⅳ排放標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)核心技術(shù)在工業(yè)源有毒有害污染物的催化凈化和天然氣催化燃燒中得到了廣泛應(yīng)用，取得了很好的應(yīng)用效果。

項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:隨著支配半導(dǎo)體技術(shù)數(shù)十年的摩爾定律日益接近其發(fā)展極限，多種功能器件集成被認(rèn)為是超越摩爾定律延續(xù)集成電路發(fā)展進(jìn)程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術(shù)。多元兼容集成制造技術(shù)就是為此而開(kāi)發(fā)的，該技術(shù)通過(guò)在更大范圍內(nèi)優(yōu)選結(jié)構(gòu)/功能材料組合，開(kāi)發(fā)異質(zhì)集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創(chuàng)新設(shè)計(jì)和制造的騰挪空間。經(jīng)過(guò)多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復(fù)合材料的MEMS異質(zhì)異構(gòu)制造技術(shù)體系，并在多種類型功能器件研發(fā)中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，初步展現(xiàn)了其基礎(chǔ)性支撐作用，相關(guān)技術(shù)獲得2016年度上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。微系統(tǒng)集成發(fā)展趨勢(shì)多元兼容集成制造技術(shù) 獲獎(jiǎng)情況上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)2016年團(tuán)隊(duì)獲獎(jiǎng)國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2008年上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學(xué)團(tuán)隊(duì)在長(zhǎng)期研究經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累基礎(chǔ)上，創(chuàng)造性地提出了不同高熱導(dǎo)率材料組合構(gòu)造的復(fù)合結(jié)構(gòu)微通道散熱器設(shè)計(jì)方案，并基于多元兼容集成制造技術(shù)完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當(dāng)?shù)某∩崞骼鋮s能力達(dá)到800W/cm2以上，在保留傳統(tǒng)微通道散熱器良好系統(tǒng)兼容性和適用性的基礎(chǔ)上達(dá)到了相當(dāng)高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統(tǒng)超高熱流密度散熱問(wèn)題提供了一個(gè)深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室等極端惡劣環(huán)境下（高溫、強(qiáng)振動(dòng)、強(qiáng)腐蝕等）的工作參數(shù)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)對(duì)傳感器技術(shù)是嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，國(guó)內(nèi)外研究廣泛。交大團(tuán)隊(duì)基于特種材料微納集成制造技術(shù)的長(zhǎng)期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應(yīng)力調(diào)控、曲面圖形化和高溫敏感介質(zhì)等技術(shù)上取得了一定突破，成功開(kāi)發(fā)了多種可與現(xiàn)場(chǎng)結(jié)構(gòu)共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環(huán)境擾動(dòng)小、響應(yīng)快、靈敏度高、可分布式安置等優(yōu)點(diǎn)，該團(tuán)隊(duì)已經(jīng)掌握了溫度、應(yīng)力/應(yīng)變、熱流等多種高溫狀態(tài)參數(shù)測(cè)量技術(shù)，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測(cè)試結(jié)構(gòu)高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術(shù)薄膜溫度傳感器在發(fā)動(dòng)機(jī)不同部位測(cè)溫需求無(wú)線溫度傳感器測(cè)溫系統(tǒng)高性能轉(zhuǎn)接板基于轉(zhuǎn)接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統(tǒng)的硅轉(zhuǎn)接板性價(jià)比不高，阻礙了廣泛應(yīng)用。上海交大團(tuán)隊(duì)基于非硅微加工技術(shù)的長(zhǎng)期積累，突破了硅轉(zhuǎn)接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉(zhuǎn)接板。此外，還開(kāi)發(fā)了復(fù)合材料非硅轉(zhuǎn)接板，TCV陶瓷轉(zhuǎn)接板，TGV玻璃轉(zhuǎn)接板等各種三維封裝基板，實(shí)驗(yàn)室能夠針對(duì)不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開(kāi)發(fā)不同功能的專用轉(zhuǎn)接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個(gè)性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復(fù)合材料非硅基轉(zhuǎn)接板實(shí)物圖片知識(shí)產(chǎn)權(quán)類型:發(fā)明專利 、 軟件著作權(quán) 、 集成電路布圖設(shè)計(jì)技術(shù)先進(jìn)程度:達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平成果獲得方式:獨(dú)立研究獲得政府支持情況:國(guó)家級(jí)