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哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）電子與信息工程學(xué)院的徐科副教授、姚勇教授與其合作者，針對(duì)光通信芯片集成度受限的問(wèn)題，通過(guò)光波導(dǎo)模場(chǎng)的精細(xì)調(diào)控，在實(shí)現(xiàn)多模波導(dǎo)低損耗和低串?dāng)_的同時(shí)，將關(guān)鍵器件的尺寸縮小了1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。芯片支持3×112 Gbit/s高速模分復(fù)用信號(hào)的任意緊湊布線，使多模光學(xué)系統(tǒng)的大規(guī)模片上集成成為可能。該成果將進(jìn)一步助力集成光子芯片在光通信、人工智能、高性能計(jì)算、量子信息等眾多高新領(lǐng)域中加速發(fā)展和應(yīng)用。

用于量子保密通信、近紅外探測(cè)成像、高速量子光通信、激光雷達(dá)探測(cè)。 針對(duì)單光子探測(cè)需求，提取關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)，通過(guò)多次半導(dǎo)體器件仿真優(yōu)化，最終得到外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。結(jié)合 13 所 自主外延生長(zhǎng)技術(shù)與精準(zhǔn)的鋅擴(kuò)散方案，最終實(shí)現(xiàn)較為成功的 GM-APD 芯片。該芯片已經(jīng)成功達(dá)到量子保密通信中單光子探測(cè)需求，并在安徽問(wèn)天量子技術(shù)有限公司的產(chǎn)品中得到應(yīng)用。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種廣譜成像探測(cè)芯片。包括熱輻射結(jié)構(gòu)和光敏陣列。廣譜入射光波進(jìn)入熱輻射結(jié)構(gòu)后，在納尖表面激勵(lì)產(chǎn)生等離激元，驅(qū)動(dòng)圖形化金屬膜中的自由電子向納尖產(chǎn)生振蕩性集聚，納尖收集的自由電子與等離激元驅(qū)控下涌入的自由電子相疊合，產(chǎn)生壓縮性脈動(dòng)，使電子急劇升溫并向周圍空域發(fā)射主要成分為可見(jiàn)光的熱電磁輻射，光敏陣列將熱電磁輻射轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)預(yù)處理后得到電子圖像數(shù)據(jù)并輸出。本發(fā)明能將廣譜入射光波基于壓縮在納空間中的高溫

本發(fā)明公開(kāi)了一種多頂針芯片剝離裝置，包括多頂針主體機(jī)構(gòu)， 安裝于 Z 向升降機(jī)構(gòu)上并連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其包括中心頂針和外圈 頂針，外圈頂針先接觸藍(lán)膜上芯片的外緣實(shí)現(xiàn)預(yù)頂松，然后中心頂針 上升至外圈頂針等高并協(xié)作頂起芯片，完成芯片剝離；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 連接多頂針主體機(jī)構(gòu)，用于先后驅(qū)動(dòng)外圈頂針和中心頂針上升以完成 芯片頂起動(dòng)作；Z 向升降機(jī)構(gòu)，安裝于三自由度微調(diào)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)上，停 機(jī)狀態(tài)時(shí)其處于下降位置，工作狀態(tài)其處于抬升位置，為頂起芯片做 好準(zhǔn)備；三自由度微調(diào)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，用于對(duì)多頂針主體機(jī)構(gòu)進(jìn)行 X、Y 和 Z 向的微調(diào)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)頂針的快捷更換以及各頂針高度的方便 調(diào)節(jié)，芯片受力均勻，有效減少剝離過(guò)程中的芯片失效。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種超薄芯片的制備方法，具體為：首先在硅晶圓表面光刻形成掩膜以暴露出需要減薄的區(qū)域，再采用刻蝕工藝對(duì)硅晶圓進(jìn)行局部減薄，對(duì)減薄后的區(qū)域進(jìn)行芯片后續(xù)工藝處理得到芯片，最后將芯片與硅晶圓分離。本發(fā)明只是部分減薄了硅片，所以硅晶圓的機(jī)械強(qiáng)度仍然可以支持硅片進(jìn)行后續(xù)的加工工藝，相對(duì)于傳統(tǒng)的利用支撐基底來(lái)減薄芯片的方法，簡(jiǎn)化了工藝流程，降低了工藝成本。另外由于不需要用機(jī)械研磨工藝來(lái)進(jìn)行減薄，所以不會(huì)因?yàn)闄C(jī)械研磨對(duì)硅晶圓造成的輕微震動(dòng)而使厚度不能減得過(guò)小，通過(guò)本發(fā)明可以使芯片減薄到比機(jī)械研磨方法更薄的程度。

成果與項(xiàng)目的背景及主要用途： RFID是射頻識(shí)別技術(shù)的英文(Radio FrequencyIdentification)的縮寫，射頻識(shí)別技術(shù)是 20 世紀(jì) 90 年代開(kāi)始興起的一種自動(dòng)識(shí)別技術(shù)，射頻識(shí)別技術(shù)是一項(xiàng)利用射頻信號(hào)通過(guò)空間耦合(交變磁場(chǎng)或電磁場(chǎng))實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸信息傳遞并通過(guò)所傳遞的信息達(dá)到識(shí)別目的的技術(shù)。RFID 系統(tǒng)通過(guò)射頻信號(hào)自動(dòng)識(shí)別目標(biāo)對(duì)象并獲取相關(guān)數(shù)據(jù)，識(shí)別工作無(wú)須人工干預(yù)。作為條形碼的無(wú)線版本，RFID 技術(shù)具有條形碼所不具備的防水、防磁、耐高溫、使用壽命長(zhǎng)、讀取距離大、標(biāo)簽上數(shù)據(jù)可以加密、存儲(chǔ)數(shù)據(jù)容量更大、存儲(chǔ)信息更改自如等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)被世界公認(rèn)為本世紀(jì)十大重要技術(shù)之一，在生產(chǎn)、零售、物流、交通等各個(gè)行業(yè)等各個(gè)行業(yè)有著廣闊的應(yīng)用前景。 本項(xiàng)目主要研發(fā)了基于 ISO18000-6B 協(xié)議的無(wú)源電子標(biāo)簽芯片，其可用于物流，貨品識(shí)別，高速公路收費(fèi)等諸多領(lǐng)域，是目前國(guó)內(nèi)外射頻電路研究領(lǐng)域的熱點(diǎn)。 技術(shù)原理與工藝流程簡(jiǎn)介：UHF 頻段的無(wú)源電子標(biāo)簽工作原理如下：通過(guò)標(biāo)簽上外置的偶極子天線接收讀卡器發(fā)送的載波信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為直流信號(hào)，為整個(gè)芯片供電；同時(shí)片上的解調(diào)模塊解調(diào)出經(jīng)調(diào)制的載波信號(hào)所攜帶的數(shù)據(jù)信息，并傳遞給片上的基帶部分加以處理；基帶部分連同 EEPROM 部分一起完成數(shù)據(jù)的讀寫和控制功能，再由調(diào)制模塊以反向發(fā)射的形式將上行信號(hào)返回給讀卡器完成一次通信。 本設(shè)計(jì)的工藝流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 數(shù)字工藝，從芯片設(shè)計(jì)、仿真、版圖驗(yàn)證。最終通過(guò)代工廠完成芯片制作。技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況：根據(jù)測(cè)試結(jié)構(gòu)表明，各項(xiàng)指標(biāo)都達(dá)到了商用需求，在國(guó)內(nèi)屬領(lǐng)先水平。該項(xiàng)成果已獲得國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的集成電路布圖登記證書。BS.06500285.7 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測(cè)：目前國(guó)內(nèi)的 UHF 頻段的 RFID 產(chǎn)品正處于高速成長(zhǎng)期，需求量快速增長(zhǎng)，但大多數(shù)核心技術(shù)需要依賴進(jìn)口。如果本項(xiàng)目能夠?qū)崿F(xiàn)技術(shù)轉(zhuǎn)產(chǎn)，可以預(yù)計(jì)的前景和經(jīng)濟(jì)效益是相當(dāng)可觀的。有了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的 UHF頻段電子標(biāo)簽，在很多領(lǐng)域都可以加以移植，取代進(jìn)口產(chǎn)品不但可以大大節(jié)省開(kāi)支，同時(shí)也可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的自我定制及更新，最大程度的方便了國(guó)內(nèi)用戶的應(yīng)用。 應(yīng)用領(lǐng)域：貨品跟蹤和識(shí)別（代替條形碼）、高速移動(dòng)物體的識(shí)別、防偽認(rèn)證以及電子支付等領(lǐng)域都會(huì)有廣泛的應(yīng)用。 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件（包括：原料、設(shè)備、廠房面積的要求及投資規(guī)模）：四十平方米以上的辦公用房，電腦、工作站若干，相應(yīng)軟件。也可以和 RFID天線制造單位，卡片封裝單位共同合作，將成果轉(zhuǎn)產(chǎn)。 合作方式及條件：面談。

脫硫廢水零排放和煙氣脫重金屬是燃燒煙氣治理的兩個(gè)新的熱點(diǎn)方向。本技術(shù)將脫硫廢水零排放與煙氣脫重金屬兩個(gè)工藝過(guò)程相結(jié)合，通過(guò)協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)兩者的有機(jī)耦合。本技術(shù)在將脫硫廢水經(jīng)過(guò)濃縮處理，噴灑到煤場(chǎng)或除塵器前的煙道中，通過(guò)高溫蒸發(fā)實(shí)現(xiàn)脫硫廢水零排放。同時(shí)利用廢水干燥后的鹵化物，促進(jìn)煙氣中汞、砷等重金屬的價(jià)態(tài)轉(zhuǎn)化，從而更容易實(shí)現(xiàn)在后續(xù)煙氣凈化設(shè)施中的同步脫除。

本技術(shù)采用煙道噴霧蒸發(fā)結(jié)晶技術(shù)實(shí)現(xiàn)脫硫廢水零排放。通過(guò)水泵將廢水 噴入到空預(yù)器和除塵器之間的煙道中的霧化噴嘴進(jìn)行霧化,在高溫?zé)煔獾募訜嶙?用下，水分迅速蒸發(fā)成氣相水蒸氣隨除塵后的煙氣進(jìn)入脫硫塔，在脫硫塔的噴淋 冷卻作用下，水分凝結(jié)進(jìn)入脫硫塔的漿液循環(huán)系統(tǒng)被重復(fù)利用。廢水中的污染物 轉(zhuǎn)化為結(jié)晶物或者鹽類等微小的固體顆粒，隨煙氣中的飛灰一起被靜電除塵器捕 捉而從煙氣中分離出來(lái)，從而除去污染物，實(shí)現(xiàn)廢水的零排放。該技術(shù)的使用對(duì) 電廠后續(xù)設(shè)備包括靜電除塵器(ESP)、脫硫塔(FGD)都會(huì)帶來(lái)有利的影響。 市場(chǎng)及經(jīng)濟(jì)效益分析： 脫硫廢水煙道噴霧蒸發(fā)結(jié)晶零排放技術(shù)具有工藝流程簡(jiǎn)單、適用范圍廣泛、 安全可靠、占地面積小等優(yōu)點(diǎn)，且能夠?qū)崿F(xiàn)真正意義的廢水零排放。該技術(shù)的投 資及運(yùn)行成本比其他技術(shù)低50%以上，具有極強(qiáng)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

脫硫廢水零排放和煙氣脫重金屬是燃燒煙氣治理的兩個(gè)新的熱點(diǎn)方向。本技術(shù)將脫硫廢水零排放與煙氣脫重金屬兩個(gè)工藝過(guò)程相結(jié)合，通過(guò)協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)兩者的有機(jī)耦合。 本技術(shù)在將脫硫廢水經(jīng)過(guò)濃縮處理，噴灑到煤場(chǎng)或除塵器前的煙道中，通過(guò)高溫蒸發(fā)實(shí)現(xiàn)脫硫廢水零排放。同時(shí)利用廢水干燥后的鹵化物，促進(jìn)煙氣中汞、砷等重金屬的價(jià)態(tài)轉(zhuǎn)化，從而更容易實(shí)現(xiàn)在后續(xù)煙氣凈化設(shè)施中的同步脫除。

本實(shí)用新型涉及一種脫硫廢水零排放耦合調(diào)濕除塵增效系統(tǒng)，包括順次連通的脫硫塔、石膏脫水系統(tǒng)、廢水旋流器、廢水箱、旋轉(zhuǎn)噴霧蒸發(fā)塔和除塵器，經(jīng)石膏脫水系統(tǒng)處理后的廢水經(jīng)過(guò)廢水旋流器處理后，一部分底流去脫硫塔重復(fù)利用，一部分溢流去廢水箱收集，廢水輸送至旋轉(zhuǎn)噴霧器進(jìn)行霧化，霧化后的霧滴下行，與從空氣預(yù)熱器前接入的高溫?zé)煔饽嫘薪佑|，蒸發(fā)后的廢水中固體顆粒與煙氣整體下行至旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)塔下部，經(jīng)旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)塔出口煙道進(jìn)入除塵器前煙道，廢水以凈化水蒸氣的形式通過(guò)除塵器進(jìn)入脫硫塔。本實(shí)用新型廢水治理穩(wěn)定性高，不受機(jī)組負(fù)荷影響，投資和運(yùn)行費(fèi)用低，節(jié)省水耗和能耗，實(shí)現(xiàn)廢水零排放同時(shí)增加煙氣濕度，提高除塵器除塵效率。