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本實用新型公開了一種微位移驅動開關閥，包括微位移驅動器、微位移放大機構、開關閥閥芯組件和閥體基座；微位移放大機構采用由三個滾珠與兩個三角斜面組合的三角放大原理對微位移驅動器輸出的微位移進行放大；開關閥閥芯組件采用上下閥芯等徑分離結構平衡液壓力及方便閥芯的裝配；閥體基座將微位移驅動器安裝空間、微位移放大機構安裝空間、開關閥閥芯組件安裝空間整合為一體。本實用新型微位移放大器可將位移從微米級放大為毫米級，其結構簡結，易于實現；為減少驅動的阻力，開關閥芯采用等徑分離結構，作用于閥芯軸向的液壓力大幅減少，且便于裝配；閥體基座將微位移驅動部分、位移放大部分、開關閥套部分設計為一體，結構緊湊。

本發明公開了一種測量微位移的裝置，包括導軌、固定安裝在導軌前端的固定板、固定安裝在導軌中部的主板以及活動安裝在導軌后端可沿導軌軸線滑動的鏡架，固定板上設有光檢測器，主板上設有激光器、分光鏡和第一反射鏡，鏡架上設有第二反射鏡，所述激光器、分光鏡、第一反射鏡、第二反射鏡和光檢測器構成邁克爾遜干涉儀，被測物體的兩端分別固定在主板和鏡架上。本發明所提供的測量微位移的裝置，結構簡單，更加小型化，便于攜帶；測量結果由光檢測器直接讀取，提高了檢測精度，且操作簡單，易于調節。

本發明提出一種光學倍頻的納米位移計量傳感器，包括激光器、偏振分光棱鏡、1/4 玻片、角錐棱鏡、平面反射鏡、偏振片、光電探測 器和底座。本發明的傳感器采用光學倍頻技術，直接在光學結構上將 光程差進行 8 細分，同時采用偏振分光棱鏡和 1/4 玻片組合減少了光 能損失，保證了干涉條紋的強度，具有結構簡單，精度高，測量范圍 大，抗干擾能力強等特點，并且相比于單路光束系統在某種程度上可 減小非直線運動所造成的誤差。

產品詳細介紹 產品名稱： SGAM SGAM系列電動平臺-5相步進電機產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313385916產品信息： 產品名稱： SGAMH SGAMH系列電動平臺－AC伺服電機驅動產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313372516產品信息： 產品名稱： 光柵尺型自動平臺產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313353916產品信息： 產品名稱： 光柵尺型自動平臺產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313343716產品信息： 產品名稱： 光柵尺型自動平臺產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313324316產品信息： 產品名稱： 光柵尺型自動平臺產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 8131327916產品信息： 產品名稱： SGSP(MS)Series 內裝磁性尺的自動平臺-5相步進電產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313255416產品信息： 產品名稱： VSGSP-YAW 真空用小型自動轉動平臺產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 8131325516產品信息： 產品名稱： 真空用X軸小型電動平臺產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 81313241516產品信息： 產品名稱： TSDM 小型移動平臺-5相步進電機產品類別： 光電測量產品 → 電動位移臺/電控位移臺產品編號： 8131323516產品信息： 【光電測量產品】 光源  真空紫外光譜儀  訂制光譜儀  軟X射線光譜儀  拉曼光譜儀  紅外\紫外激光觀察儀  夜視儀器  HPLC熒光光度計  CCD相機  動態光散射  高速攝影照相機  光纖光譜儀  海洋系列光譜儀  光譜系統  原子力顯微鏡  探測器  濾光片  紅外光譜儀  單色儀  光柵  照度計  光信號電子學儀器  工業內窺鏡  薄膜測量  PC示波器  數字記錄儀  遠紅外太赫茲光譜儀  太陽光模擬器  袖珍數碼顯微鏡相機  壓電陶瓷  紫外線固化機  紫外反射鏡  濾光片測量儀  電動位移臺/電控位移臺  納米位移臺  光電探測器  均勻光源  自動變焦技術光學測量儀器 

本發明公開了一種基于微位移測量的電流傳感器及其制作方法， 包括磁致伸縮反射面和光纖。其中制作方法包括以下步驟：選取長方 形的金屬玻璃(metglass)并進行清洗；在 metglass 上、下表面各濺射一 層一定厚度的磁致伸縮薄膜；在 metglass 下表面濺射一層一定厚度的 高反膜；在 metglass 下表面兩端用環氧樹脂各粘貼一個非磁性金屬塊； 在兩個非磁性金屬塊的另一端用環氧樹脂粘貼一塊正中帶有通孔的非 磁性金屬板；將光纖通過一個非磁性金屬管，再將它們通過非磁性金 屬板的孔，使光纖端面與高

本發明公開了一種基于微位移測量的電流傳感器及其制作方法， 包括磁致伸縮反射面和光纖。其中制作方法包括以下步驟：選取長方 形的金屬玻璃(metglass)并進行清洗；在 metglass 上、下表面各濺射一 層一定厚度的磁致伸縮薄膜；在 metglass 下表面濺射一層一定厚度的 高反膜；在 metglass 下表面兩端用環氧樹脂各粘貼一個非磁性金屬塊； 在兩個非磁性金屬塊的另一端用環氧樹脂粘貼一塊正中帶有通孔的非 磁

本發明為用于微形貌測量的磁懸浮觸針式位移傳感器。包括測量探頭、探頭支承座、讀數傳感器、信號處理控制裝置。其中觸針安裝在懸浮式探桿下端，探桿為磁體，探桿設置在探頭支承座內并與探頭支承座間留有間隙，探頭支承座為電磁鐵。讀數傳感器與測量探頭對應。設置有信號處理控制裝置分別與讀數傳感器及探頭支承座連接。本發明利用磁懸浮支承座和探桿間的磁力作用將探桿和觸針懸浮，徹底改變了傳統的機械固定接觸式探桿安裝方法，保證探桿和觸針的高順應性，使探桿只能在垂直于工件表面方向作直線運動，從本質拋掉了傳統傳感器的非線性誤差，大大提高測量精度，擴大了傳感器的測量范圍，適應了精密加工技術的發展，更好地滿足工業測量需要。

產品詳細介紹手動精密位移臺系列產品             

產品詳細介紹電控精密位移臺系列產品                   

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