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高檔超精密磨床及LED劃片裝備
為滿足光電通訊、光學、信息等產業中小口徑非球面光學玻璃透鏡模具產業化的需求，研制了小口徑非球面光學玻璃透鏡模具超精密數控復合機床,具備納米級精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測量補償加工等功能，為小口徑非球面光學透鏡模具的產業化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉精度50nm；加工對象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應用領域包括集成電路（IC）、發光二極管（LED）、光學光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測高及非接觸式測高，刀痕檢測，具有切割深度自動補償，刀片破損補償功能，能保證切割質量。
湖南大學
2021-04-11
一種超精密工作臺
本發明公開了一種超精密工作臺，它包括宏運動平臺與微位移工作臺，其中宏運動平臺的導軌形式采用氣浮導軌，微位移工作臺與宏運動平臺連接，并隨宏運動平臺一起沿 X 向、Y 向移動。微位移工作臺中包含壓電智能結構，其中該壓電智能結構既能感知外界對其施加的力、位移等信號，又能主動地對外界施加力、位移等。此外，壓電智能結構不僅可以用于超精密工作臺的微位移工作臺中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統的俘能機構，應用在超精密工作臺中。本發明可以廣泛應用于超精密機床、超精密測量、微電子制造等領域。
華中科技大學
2021-01-12
一種精密主動減振裝置
本發明提供了一種結構緊湊、集成度高的精密主動減振裝置，它適用于需要進行微幅振動抑制的小質量精密加工（測量）設備。該裝置主要包括既能感受振動又能對振動進行抑制的壓電塊結構、壓電塊提供垂向預壓力的折疊彈簧以及提供垂向被動隔振的柔性鉸鏈。其中，壓電塊可以采用垂直布置，也可以采用 45 度傾斜布置，采用傾斜布置的壓電塊結構可以同時測量和抑制水平向振動和垂向振動。另外，一種實現水平面隔振的減振裝置可以提供 360 度水平面的振動隔離，其內部采用線切割加工出螺旋線形槽。水平面隔振減振裝置與垂向精密主動減振裝置結
華中科技大學
2021-01-12
一種超低頻精密主動減振器
本發明提供了一種結構緊湊的超低頻精密主動減振器，屬于超精密減振領域。該超低頻精密主動減振器由負剛度機構與空氣彈簧并聯組成被動減振單元，由洛倫茲直線作動器構成主動減振單元。負剛度機構是由片彈簧、鉸鏈和剛性桿等組成的壓桿結構。負剛度機構安裝在空氣彈簧的腔室內部，使減振器結構更加緊湊。正負剛度并聯使得減振器具有大的承載力的同時具有極低的剛度，大大地降低了其固有頻率。洛倫茲直線作動器用于提供主動阻尼，實現主動控制。本發明所提供的超低頻精密主動減振器具有極低的固有頻率，不僅對高頻振動干擾具有良好的隔振效果，還
華中科技大學
2021-01-12
強力高效多功能超精密拋光技術
1、項目簡介 本項目由江南大學留美博士后趙永武教授獨創.徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時間過長或需要多步才能完成的技術難題，填補了 國內空白。 2、創新要點 （1）拋光速度快,效率高,時間短。是國內現有拋光劑拋光速度的數倍至數 十倍以上。 （2）表面加工質量優異。經本拋光劑加工后的工件表面組織非常細膩，表 面粗糙度可達 Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時完成。而國內現有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時費力。 （4）加工批量大。對于小零件一次可以加工成千上萬件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運轉時的振動和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無毒無害，對環境友好,且操作方便,易于掌握。（8）本拋光劑既適用于螺旋振動和離心式光飾機,也適宜于滾筒和旋轉渦流 式等拋光機。 3、效益分析 對具備 10 臺機床的小型車間而言，每年凈提高產值 150 萬元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動和精密機械等企業
江南大學
2021-04-13
超精密電渦流位移傳感器
成果創新點 1.溫飄、分辨率、穩定性等指標具有國際領先水平； 2.溫度自補償技術、信號源漂移自矯正技術、噪聲抑 制技術等是主要創新點。 技術成熟度 小試中試階段 市場前景 可用在大型天文望遠鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉化計劃 預期轉化方式：自主轉化尋求投資，已于天使基金接 觸。
中國科學技術大學
2021-04-14
超精密電渦流位移傳感器
1.溫飄、分辨率、穩定性等指標具有國際領先水平；
2.溫度自補償技術、信號源漂移自矯正技術、噪聲抑制技術等是主要創新點。
中國科學技術大學
2023-05-16
高性能激光精密微加工裝備
團隊正積極布局研發工業級超短脈沖激光器，并已經突破了一系列關鍵技術，自主研發的全波段超短脈沖生成技術已處于國際領先水平，可提供覆蓋“可見光-近紅外-中紅外”的超快激光器，多款產品已獲得ISO9000質量體系認證以及歐盟CE安全資質認證。主要創新成果為掌握從鎖模光開光、超快種子源、光纖放大、諧波產生（倍頻）到最后組裝工藝一整套完整的超快激光技術方案。目前，商業上的光開關器件大多采用基于半導
南京大學
2021-04-14
一種精密定位隔振平臺
本發明公開了一種定位隔振平臺，它包括定位隔振裝置和主動控制器，兩者之間通過電氣連接，主動控制器對定位隔振裝置進行位置控制和振動控制。定位隔振裝置包括分布在正三角形頂點的三支撐腿及其共同支撐的一塊負載平板。每一個支撐腿中有一個螺旋彈簧作為主要支撐部件。一個位移傳感器布置在連接板下方檢測連接板位移，負載平臺對應支撐腿的位置安裝有垂向速度傳感器。主動控制器為主從開放式結構形式，由上位控制計算機和下位執行控制器組成，保證負載平臺保持在設定位置，并有效的隔離地基振動對平臺精度的影響。本發明可廣泛應用于精密加工
華中科技大學
2021-04-14
精密外圓磨削加工效率優化
上海理工大學
2021-01-12