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項目成果/簡介:隨著支配半導體技術數十年的摩爾定律日益接近其發展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續集成電路發展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術。多元兼容集成制造技術就是為此而開發的，該技術通過在更大范圍內優選結構/功能材料組合，開發異質集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創新設計和制造的騰挪空間。經過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復合材料的MEMS異質異構制造技術體系，并在多種類型功能器件研發中發揮了關鍵作用，初步展現了其基礎性支撐作用，相關技術獲得2016年度上海市技術發明一等獎。微系統集成發展趨勢多元兼容集成制造技術 獲獎情況上海市技術發明一等獎2016年團隊獲獎國家技術發明二等獎2008年上海市技術發明一等獎2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學團隊在長期研究經驗和技術積累基礎上，創造性地提出了不同高熱導率材料組合構造的復合結構微通道散熱器設計方案，并基于多元兼容集成制造技術完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當的超薄散熱器冷卻能力達到800W/cm2以上，在保留傳統微通道散熱器良好系統兼容性和適用性的基礎上達到了相當高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發動機燃燒室等極端惡劣環境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數現場監測對傳感器技術是嚴峻挑戰，國內外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應力調控、曲面圖形化和高溫敏感介質等技術上取得了一定突破，成功開發了多種可與現場結構共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環境擾動小、響應快、靈敏度高、可分布式安置等優點，該團隊已經掌握了溫度、應力/應變、熱流等多種高溫狀態參數測量技術，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結構高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術薄膜溫度傳感器在發動機不同部位測溫需求無線溫度傳感器測溫系統高性能轉接板基于轉接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統的硅轉接板性價比不高，阻礙了廣泛應用。上海交大團隊基于非硅微加工技術的長期積累，突破了硅轉接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉接板。此外，還開發了復合材料非硅轉接板，TCV陶瓷轉接板，TGV玻璃轉接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發不同功能的專用轉接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復合材料非硅基轉接板實物圖片知識產權類型:發明專利 、 軟件著作權 、 集成電路布圖設計技術先進程度:達到國內領先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:國家級

產品詳細介紹 探測器帶有一個白色的聚酸碳脂塑料的外殼，頂部為一個防風的進煙口，后部則帶有不銹鋼滑動觸片，用于與探測器底座連接。探測器內部有一個印刷電路板，電路板上的一側安裝有一個離子腔，其中有Am241的輻射源，電路板上的另一側安裝有信號處理的電路。當探測器安裝在探測器底座上時，由系統中的報警控制盤通過區域監視模塊提供電壓和電流給探測器，使探測器處于待命工作狀態。此時探測器內部的輻射源在離子腔內部產生電離，自動形成正、負離子，并產生一個極小的電流和電壓。發生火災時，煙霧粒子經探測器的進煙口進入離子腔后，其中的正、負離子會吸附在這些煙霧粒子上，造成正常的電流和電壓發生變化，在達到預先設定的數值后會發出報警信號。。阿波羅APOLLO 55000-200PRC S60常規型離子感煙探測器。

此專利產品用于給水或污水處理的混凝（絮凝）工藝，用于在絮凝反應區形成微小 渦流和懸浮泥渣層。微渦流絮凝器為空心球形結構、表面開有小孔（孔徑和開孔率）、 采用塑料并添加少量調節比重和增強吸附性的材料制作、容重略大于水，具有以下特性： 1.無方向性，直接投入水中使用，不需要固定安裝； 2.工廠化批量生產，改造工程施工期短，便于推廣應用； 3.水流過孔速度變化，加之壁面磨擦阻力，使水流產生微渦旋； 4.材料強度好，無毒性，耐腐蝕，抗老化，使用壽命長； 在水流中可浮動和旋轉，不易被漂浮物堵塞。

產品詳細介紹供應火災感煙探測器，高溫煙霧感應器價格，常開煙霧報警器廠家名稱：點型光電式煙霧探測器型號:SN-828-2PL(高溫型)  生產廠家：世寧科技本“煙感探頭”是根據感應煙霧顆粒的原理來工作，獨特的結構設計以及光電信號處理技術，具有防塵、防蟲抗外界光線干擾等功能。對緩慢陰燃或明燃產生的可見煙霧，有較好的反應。適用于住宅、商場、倉庫等室內環境的煙霧檢測。  “煙感探頭”是非編碼型煙霧探測器，直接接入DC12V直流電源即可工作，并有一對輸出觸點，正常時觸點閉合，報警后觸點斷開，無煙會自動復位。煙霧探測器是一種在消防管理、安全防范系統中常用的報警器材，它工作可靠、體積小巧，使用方便、性能穩定、經濟合理。功能特點：1、采用微處理器控制2、自動復位/斷電復位可選3、紅外光電傳感器4、聯網輸出N.C. / N.O.可選5、LED指示報警6、金屬屏蔽罩，抗電磁干擾7、環境適應性強  8、SMT工藝制造， 穩定性強 9、防塵、防蟲、抗白光干擾設計技術參數： 　　工作電壓：DC9-35V  　　靜態電流：≤2mA 　　報警電流：≤10mA  　　工作溫度：-30℃～+85℃  　　工作濕度：≤95%RH  　　報警方式：聯網輸出 / LED指示報警  　　監測面積：20平方米 　　靈敏度等級：1級 　　報警輸出：繼電器輸出（常開、常閉可選）  　　外形尺寸：Φ104*51mm不用擔心，有世寧科技， 一切都是那么簡單。我公司同時大量供應門磁窗磁，煙霧報警器，燃氣報警器，紅外探測器，個人防護用品，商用防盜報警器材，工程建筑類報警主機，總線制主機及相關配件家用防盜報警器。銷售經理： 劉生 15013775514/0755-89206127 商務Q 272820915供應火災感煙探測器，高溫煙霧感應器價格，常開煙霧報警器廠家

晶硅太陽電池生產仿真實訓讓學員以車間技術人員的身份參與整條晶硅太陽電池產線的生產工作。學員可以按標準生產流程操作車間生產設備、檢測生產樣品以及對電池生產進行工藝仿真，從而深刻了解整個太陽電池生產流程以及關鍵工藝參數。 一.1.1. 場景設計 場景由制絨車間、擴散車間、后清洗車間、PECVD鍍膜車間、絲網印刷車間和分選包裝車間六大場景組成。場景素材從多個真實工廠采集而來，高保真還原車間設備與生產流程 場景模型主要包括：潔凈車間、制絨機、自動上下料機、硅片、電子天平、分光光度計、電源柜、水冷機、空壓機、化學液柜、電腦，鍵盤、鼠標、擴散爐、石英舟、插片房、傳遞窗、純水箱、石英舟清洗槽、防毒面具、試驗臺、緩沖墊、防化服、源瓶、氣柜、硅槳、方阻測試儀，萬用表，石墨舟、PECVD鍍膜機、舟車、烘箱、全自動絲網印刷機、網版、刮刀、攪拌機、槳料、夾具、接觸電阻測試儀、燒結爐、IV分選儀、硅片盒、五格花藍等... 一.1.2. 互動設計 第一人稱視角控制主角場景漫游，學員可以在三維空間中自由活動和觀察場景中的物體。 拾取物體操作采用3D空間實際抓取的方式，沒有采用一般游戲中的背包欄方式，而當需要同時拾取多個物體時則提供3維工具用于裝放，采取這種方式會更加接近現實，使學員更真實的體驗實際工具的存放及使用的技巧。 各生產車間按照真實生產流程設計實訓生產任務，完成當前任務后才能進入下一個任務，每個任務記錄完成時間以及工藝仿真結果 縮略地圖實時顯示角色位置與任務點位置 第一人稱視角與特寫觀察視角無縫平滑撤換 機器與設置仿真控制，通過機器控制面板設置工藝參數，控制啟動生產，檢測生產結果 表單填寫與作業報告生成 使用儀器與設備檢測生產樣品 操作規程與關鍵知識點主動提示學習 原理動畫演示

此專利產品是針對小型供水系統開發的一體化凈水設備，是傳統一體化凈水設備的 改進和更新換代產品，亦可用于中水回用工程。原水投加絮凝劑后依次進入凈水器的凝 聚層、絮凝層和過濾層，歷時 10～15 分鐘，完成絮凝反應、沉淀和過濾過程，出水濁 度達到 0.5NTU 以下，超過國家標準要求。主要特性如下： 1.采用特制異型塑料顆粒材料，快速完成凝聚反應； 2.采用特制高效陶粒材料，吸污和含污能力強、絮凝效率高； 3.雙濾板結構，分層小膨脹反洗，不亂層，反洗效果好，耗水少； 4.利用巨大的吸附表面積，除有機物等較傳統工藝比率高； 5.安裝簡便，全自動控制運行。

項目的背景及目的 在生物醫學的科學研究和臨床檢驗中，細胞級的微操作越來越受到人們的重視。在此類試驗中，向細胞中注射或從細胞中抽取物質，對注射量和抽取量要求都十分的精確。目前國內操作人員完全依靠經驗，手動完成實驗，成功率低，對操作人員要求高，精確度無法保證。因此我們設計出一種可編程的高精度微注射控制器，它具有精度高、可編程、使用方便等特點，可以大大提高細胞注射的成功率和注射精度，給科學實驗和臨床注射帶來極大的方便。 技術原

太陽能作為一種潔凈和相對易于獲取的能源在未來的動力產品中將占有越來越大的比份。如何發展高光電能量轉換效率、高可靠性和低成本的太陽能電池是目前太陽能利用領域所面臨的關鍵問題。相對于第一代和第二代太陽能電池(轉換效率<<50％)，各國科學家紛紛研究不同的應用于第三代太陽能電池的新材料和新結構，目標是使光電轉換效率大于5 0％。近年來，一種具有微、納米量級特殊結構的光伏材料成為太陽能電池的研究熱點。利用飛秒脈沖激光在極短的持續時間內激發出極大的峰值能量，其在硅片的相互作用過程中具有很強的非線性效應，聚焦燒蝕硅表面很小的一塊面積，形成規則排列的微納米結構。這種微納米結構由于表面積增大，對入射光波有很大的吸收，且對光的敏感性提高了數百倍，這些性質對我們提高光電轉換效率具有很大的指導意義。這種材料與本底未處理材料的性質相比，材料帶隙減小，對光的敏感性提高了數百倍，這使得其對波長為250—2500 nm的入射光波有大于90％的吸收；另外，黑硅比傳統材質的硅的比重低。這些奇特的光電和物理性質能進一步提高太陽能電池的光電轉換效率。根據光吸收效率，激子光量子效率，化學電勢效率以及填充因子計算總的光電轉換效率，普通硅基太陽能電池光電轉換效率只有1 5％，而基于微納結構光伏材料的太陽能電池轉換效率可望達到50%-60%。 針對國民經濟可持續發展在太陽能光伏技術方面的重大需求，發展利用超短脈沖激光制備具有優異光電轉化效率的微納結構光伏材料的新方法，以及通過探測光伏材料中非平衡載流子的能帶結構及微分負電導等特性，探知光伏材料的光電轉換效率，從而篩選出轉換效率較高的微納結構光伏材料，最終在發展新型、高效太陽能電池的新原理和新技術方面取得創新性突破，為我國研發具有自主知識產權的高效第三代光伏電池打下堅實基礎。

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