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本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進(jìn)行深感應(yīng)耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應(yīng)耦合等離子體機內(nèi)，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術(shù)中側(cè)壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現(xiàn)的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側(cè)壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。

一、前言 在中國長三角的核心地區(qū)，矗立著一座舉世矚目的新興城市——江蘇省蘇州昆山市。這是一方沃土，文化底蘊豐厚，孕育了百戲之祖昆曲、水鄉(xiāng)明珠周莊、奇石之王昆石，還有名聞遐邇的陽澄湖大閘蟹！ 她更是一方熱土，歷代英才輩出，創(chuàng)立圓周率的祖沖之、“富可敵國”的沈萬三、“國家興亡，匹夫有責(zé)”的顧炎武、創(chuàng)著《治家格言》的朱柏廬以及當(dāng)代著名作曲家丁善德、航天英雄費俊龍，他們的成就與光輝令昆山人引以自豪和驕傲。 解放后，特別是改革開放三十年來，昆山更是以其超凡的膽略、博大的胸懷和無盡的活力，深深地吸引了包括世界500強企業(yè)在內(nèi)的各國投資商、開發(fā)者和臺資企業(yè)四千余家，國民生產(chǎn)總值超過了中等發(fā)達(dá)國家水平，位列全國百強縣市之首，成為長三角區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)、商業(yè)繁榮、科技進(jìn)步、社會安定，最具競爭力的新型城市。 大開放、大發(fā)展、大跨越,呼喚著大教育。上世紀(jì)九十年代，以美籍華人學(xué)者梁順才博士為董事長的蘇州茵夢湖集團(tuán)以其遠(yuǎn)見和慧眼，看到了區(qū)域經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展必定帶來對人才，特別是高素質(zhì)高技能應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才的迫切需求，毅然決定投資辦學(xué)。1998年11月15日，在江蘇省和蘇州市人民政府的大力支持下，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院隆重奠基，成為昆山歷史上第一所高等院校。 “硅湖”二字由學(xué)院創(chuàng)始人梁順才先生親自選定，借“硅谷”人才涌動而成“硅湖”之意，寄自強不息、教育報國之弘愿。 二、綜述篇 硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院位于昆山市花橋國際商務(wù)城，背靠蘇州，緊鄰上海，為長三角的核心地區(qū)，發(fā)展?jié)摿薮蟆Ｔ萍K滬的眾多先進(jìn)制造業(yè)和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)企業(yè)，為學(xué)院的快速發(fā)展和學(xué)生良好就業(yè)創(chuàng)造了得天獨厚的區(qū)域優(yōu)勢。 學(xué)院根據(jù)市場需求，設(shè)立了機械與汽車工程系、土木建筑工程系、信息工程系、生物醫(yī)藥系、藝術(shù)設(shè)計系、工商管理系、外語系和基礎(chǔ)部、國際合作部、繼續(xù)教育部等十個系部，43個專業(yè)（含專業(yè)方向），覆蓋工程、經(jīng)管、生物、語言、設(shè)計五大門類，全日制在校生近7000人。 現(xiàn)有專任教師 344名，其中有享受國務(wù)院特殊津貼和省內(nèi)有突出貢獻(xiàn)的中青年專家2名,有高級職稱者59名，碩士以上研究生93名，雙師型教師117名；有來自加、日、韓等國的外籍教師6名；還有來自知名高校、企業(yè)的理論高、實踐豐富的兼職教師53人。 學(xué)院用地面積403畝；各類建筑15萬平方米，建有教學(xué)樓、實驗樓、圖書館、實訓(xùn)基地、學(xué)生公寓、餐廳、多功能文體娛樂中心和生活服務(wù)中心及田徑、球類運動場。教學(xué)實驗儀器設(shè)備齊全，各類設(shè)施滿足教學(xué)、學(xué)習(xí)和生活需要。學(xué)院擁有先進(jìn)的汽車拆裝中心、數(shù)控機電實訓(xùn)中心建筑、會計模擬、股市模擬等58個專業(yè)實訓(xùn)中心和實驗室,并與近百家企業(yè)合作，建有74個完備的校外實習(xí)、實訓(xùn)基地為學(xué)生理論聯(lián)系實際、鍛煉實踐能力提供了良好的條件。 覆蓋全校的千兆以太網(wǎng)構(gòu)建了教學(xué)、學(xué)習(xí)、交流和信息查詢的便捷通道，方正數(shù)字化校園信息平臺，為全面推行學(xué)分制提供管理支撐。 三、辦學(xué)篇 辦學(xué)十年來，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院謹(jǐn)遵“責(zé)任、榮譽”的硅湖校訓(xùn)，堅持走“產(chǎn)學(xué)研一體化”的辦學(xué)之路，將“社會需求就是辦學(xué)方向，企業(yè)滿意就是質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，適應(yīng)經(jīng)濟(jì)就是學(xué)校發(fā)展”作為辦學(xué)方針，致力于創(chuàng)建具有硅湖特色的高職教育體系，努力培養(yǎng)適應(yīng)現(xiàn)代經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展需要的應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才。 ? 就業(yè)主導(dǎo)，服務(wù)需求 十年來，學(xué)院堅持以就業(yè)為導(dǎo)向，提出了“立足昆山，面向長三角，為地方經(jīng)濟(jì)建設(shè)培養(yǎng)既能動腦又能動手的高技能人才”的辦學(xué)目標(biāo)以及“誠實守信，文化夠用，技能過硬，證書多樣”的人才培養(yǎng)要求，堅持定期進(jìn)行人才需求市場調(diào)研和畢業(yè)生的跟蹤調(diào)查，根據(jù)市場變化及時調(diào)整和開發(fā)新專業(yè)，做到“專業(yè)開發(fā)與市場同步，專業(yè)改造與知識更新同步，專業(yè)設(shè)置與區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展同步”，先后增設(shè)了機電一體化技術(shù)、電氣自動化、生物技術(shù)（中藥加工與鑒定）、物流管理、旅游管理等十多個市場急需、就業(yè)前景看好的專業(yè)或?qū)I(yè)方向。 學(xué)院各專業(yè)都組建了“專業(yè)建設(shè)委員會”，邀請相關(guān)企業(yè)的技術(shù)骨干和客座教授共同參與專業(yè)教學(xué)計劃、課程大綱和技能訓(xùn)練指南的制訂。在教學(xué)過程中，學(xué)院始終把提高就業(yè)競爭力作為立足點，努力提高培養(yǎng)質(zhì)量，強調(diào)“基礎(chǔ)能力與專業(yè)能力并重、創(chuàng)新教育與實踐教育并重和學(xué)歷證書與技能證書并重”三大原則，重點抓住英語、計算機、職業(yè)技能三大環(huán)節(jié)不放松，并將畢業(yè)設(shè)計（論文）、各類實習(xí)、軍事訓(xùn)練與學(xué)習(xí)、社會實踐、公益勞動等實踐教學(xué)環(huán)節(jié)以及素質(zhì)教育考核都納入學(xué)分考核體系，力求在全面提高學(xué)生綜合素質(zhì)的基礎(chǔ)上，培養(yǎng)個性化、多樣化的創(chuàng)新型人才。辦學(xué)十年來，取得了一大批優(yōu)秀的教學(xué)成果，其中04屆藝術(shù)設(shè)計系畢業(yè)生顧旭東的“虛擬辦公空間設(shè)計”和05屆土木建筑工程系畢業(yè)生柳寒陽“蘇州市馨泓小學(xué)校區(qū)建筑設(shè)計”，分別獲得江蘇省普通高等學(xué)校本專科畢業(yè)設(shè)計（論文）三等獎和一等獎；07屆藝術(shù)設(shè)計系畢業(yè)生蔣浙峰同學(xué)的畢業(yè)設(shè)計《以慈溪市明峰醫(yī)院為例淺析醫(yī)院裝飾設(shè)計》，又在2007江蘇省普通高校本專科畢業(yè)設(shè)計（論文）評優(yōu)與抽檢中被評為二等獎。2007年10月，我院1081名學(xué)生報名參加省計算機等級考試，合格率為87.7%，其中優(yōu)秀率為21.46%，遠(yuǎn)高于全省69.72%的合格率和4.87%的優(yōu)秀率,居全省100多所參考學(xué)校的第11位。2008年5月，我院參加江蘇省計算機等級考試的學(xué)生達(dá)1204人，一次通過率達(dá)到91.29%，超過全省平均合格率72.26%近20個百分點，綜合排名列全省本專科高校第四名，實現(xiàn)了歷史性的突破。 ? 全面推行完全學(xué)分制 為培養(yǎng)真正適應(yīng)市場需求又有鮮明個性的應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院在學(xué)院董事會的大力推動下，學(xué)院自2007級起試行學(xué)分制改革，成為江蘇省教育廳首批批準(zhǔn)推行學(xué)分制的20所高校中唯一的一所民辦高校。史寶鳳董事長鮮明地提出“如果我們連學(xué)生自主選課都不讓，又談何培養(yǎng)應(yīng)用型、創(chuàng)業(yè)型人才？！” 學(xué)校根據(jù)高職教育的培養(yǎng)目標(biāo)和特點，將課程體系建設(shè)放在突出的位置，在保證主修專業(yè)培養(yǎng)質(zhì)量的前提下，全面整合和挖掘?qū)I(yè)內(nèi)外的課程資源以及校內(nèi)外的教學(xué)資源，構(gòu)建“以能力為本位，以職業(yè)實踐為主線，以項目課程為主體”的多樣化的模塊課程體系，嘗試部分專業(yè)課程進(jìn)行“訂單式”改革，并配置了目前國內(nèi)最先進(jìn)的教學(xué)管理軟件“正方高校現(xiàn)代教學(xué)管理信息系統(tǒng)”，建立了與學(xué)分制相適應(yīng)的全新教學(xué)和學(xué)生管理體制和運行機制。現(xiàn)在，在硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院，學(xué)生可以在完成主修專業(yè)核心課程的前提下，經(jīng)導(dǎo)師指導(dǎo)自主進(jìn)行跨類、跨系、跨專業(yè)選學(xué)學(xué)分課程。在校企合作中，凡涉及跨系跨類跨專業(yè)的項目，其專業(yè)核心課程設(shè)置及學(xué)分也可由相關(guān)專業(yè)與合作企業(yè)共同商定，以保證學(xué)分制的實施真正有利于推動產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、有利于教學(xué)模式的創(chuàng)新和辦學(xué)效益的提高，大大提高了學(xué)生的學(xué)習(xí)主動性和積極性，同時也為教師的自我提高、事業(yè)發(fā)展和增加收入拓展了空間。 ? 產(chǎn)學(xué)結(jié)合育人才 硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院建校伊始，學(xué)院董事會就將“產(chǎn)學(xué)研一體化”作為學(xué)校立校之本、強校之路，要求學(xué)院從“專業(yè)開拓、人才規(guī)格、教學(xué)計劃、課程內(nèi)容、隊伍建設(shè)和考核評價”等六個方面與企業(yè)全面合作，力求做到：專業(yè)設(shè)置與市場需求相接軌，培養(yǎng)規(guī)格與企業(yè)需求相吻合，教學(xué)內(nèi)容與企業(yè)技術(shù)改造和科技進(jìn)步相銜接，實現(xiàn)學(xué)校育人與企業(yè)用人的結(jié)合。 經(jīng)過十年的探索，學(xué)院在實踐中創(chuàng)建了“工學(xué)交替”、“訂單培養(yǎng)”、“跟班實習(xí)”、“頂崗實習(xí)”和“校企雙元培養(yǎng)”等多種形式的校企合作培養(yǎng)模式，并通過采取有力措施，鼓勵學(xué)生參加職業(yè)技能或職業(yè)資格認(rèn)證的培訓(xùn)和考核，使高素質(zhì)、高技能的培養(yǎng)目標(biāo)得到有力的保障。學(xué)院還組織專業(yè)教師通過“廠校崗位替換”、“訪問實踐鍛煉”和“互助培訓(xùn)”等方式，讓教師輪流到企業(yè)考察、實踐，幫助他們熟悉了解一線的實際工作情況，使專業(yè)理論與實踐經(jīng)驗等到較好的結(jié)合。與此同時，學(xué)校還克服困難，優(yōu)先為合作單位開展員工培訓(xùn)、技術(shù)咨詢和推薦優(yōu)秀畢業(yè)生，努力為校企合作創(chuàng)造“雙贏”環(huán)境，建立長效機制。 目前，學(xué)院擁有近百家較為穩(wěn)定的校外實習(xí)實訓(xùn)與就業(yè)基地，其中包括昆山宏圖三胞、蘇州名碩電腦、仁寶電子科技有限公司、好孩子集團(tuán)、上海同仁堂藥業(yè)有限公司、中鐵十局集團(tuán)、天合建設(shè)集團(tuán)有限公司、無錫旅游協(xié)會、易買得購物中心、蘇州金鷹裝飾工程有限公司等著名企業(yè)，也有眾多的中小企業(yè)，其中較完備的校外實習(xí)就業(yè)基地有47個。其中昆山天合建設(shè)集團(tuán)還在我院土木建筑工程系設(shè)置了“天合集團(tuán)獎教學(xué)金”，對在教學(xué)與學(xué)習(xí)中突出的教師和學(xué)生給予獎勵，鼓勵他們在為建筑業(yè)培養(yǎng)人才中創(chuàng)新創(chuàng)優(yōu)。 雙贏的校企合作、產(chǎn)學(xué)結(jié)合，使學(xué)校、企業(yè)、學(xué)生三方找到了共同的目標(biāo)、利益及動力，在為學(xué)生實習(xí)實訓(xùn)提供保障的同時，也為畢業(yè)生就業(yè)開辟了“綠色通道”。近5年來，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的畢業(yè)生一次性就業(yè)率始終高于96%，2008年達(dá)到99?07%！在社會上、特別是學(xué)生家長中形成了“到硅湖學(xué)院讀書，在長三角就業(yè)創(chuàng)業(yè)”的美譽和共識，成為硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院一張漂亮的名片。 在2008年5月召開的“硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院校企合作與實習(xí)實訓(xùn)基地建設(shè)座談會”上，易買得購物中心、無錫萬達(dá)物流公司、好孩子集團(tuán)、上海同濟(jì)堂藥業(yè)有限公司、南京索達(dá)軟件有限公司、林達(dá)策劃印務(wù)公司、昆山天合建筑集團(tuán)等企業(yè)的老總和人力資源總監(jiān)都異口同聲地說：硅湖學(xué)院通過校企合作“讓企業(yè)提前介入學(xué)校的教育教學(xué)，把企業(yè)需求、學(xué)校辦學(xué)和學(xué)生的職業(yè)生涯規(guī)劃三者緊密結(jié)合，無疑有助于將人才培養(yǎng)與企業(yè)需求真正做到對接，大大縮短了學(xué)生就業(yè)后與企業(yè)的磨合期，顯著提高了學(xué)生的就業(yè)競爭力”。 ? 強化責(zé)任，珍愛榮譽 硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院在學(xué)生工作中，堅持以人為本，注重學(xué)生的全面發(fā)展，學(xué)習(xí)和借鑒國內(nèi)外管理的先進(jìn)模式，以“國家、責(zé)任、榮譽”為綱，突出學(xué)生優(yōu)良品格的塑造。 學(xué)院針對學(xué)生入學(xué)起點偏低的現(xiàn)實，精心構(gòu)建了“賞識激勵，擠壓成才”的育人模式，要求教師對學(xué)生傾注愛心，堅定信心，充滿耐心，以“硅湖學(xué)生好、人人有潛能、個個能成才”為信念，以愛動其心，以嚴(yán)導(dǎo)其行，為每一個學(xué)生提供一個最佳的發(fā)展空間，成為一個具有健全人格、良好心理素質(zhì)和健康體魄的合格人才。 學(xué)院鼓勵學(xué)生自主建立各種專業(yè)和文體社團(tuán)，組織開展豐富多彩的校園文化活動和社會實踐活動，一年一度的“硅湖之春”文化藝術(shù)節(jié)和“硅湖之夜”系列講座受到廣大學(xué)生的歡迎；“大學(xué)生實踐創(chuàng)新訓(xùn)練活動”、“生存挑戰(zhàn)”和“學(xué)生技能大賽”成為學(xué)生熱捧的品牌項目，成為學(xué)生展示才能的最佳平臺。 學(xué)院還建立了學(xué)生服務(wù)中心，全天候地為學(xué)生提供咨詢、服務(wù)和管理，獲得了學(xué)生家長的好評。一位身有殘疾的母親在第二十四個教師節(jié)特地給學(xué)院院長寄來一封信，她動情地說“作為母親，我唯一的愿望就是希望女兒成人成才成功。當(dāng)看到她終于實現(xiàn)了自己的理想和愿望，順利地走向工作崗位。我很高興，這是硅湖老師教育培養(yǎng)的結(jié)果！” 十年深耕，桃李芬芳。硅湖學(xué)子特有的務(wù)實心態(tài)、誠信為人、敬業(yè)精神以及良好的專業(yè)技能，贏得了用人單位的青睞和好評。易買得華東區(qū)人事部高級經(jīng)理盛璐說：“我們是流通性企業(yè)，需要大量的人力資源。硅湖學(xué)院的學(xué)生肯學(xué)習(xí)、能吃苦，在培訓(xùn)中，他們明顯比其他高校的同學(xué)上手快，我們歡迎這樣的學(xué)生，將他們作為易買得的儲備干部來培養(yǎng)”。昆山好孩子集團(tuán)總裁宋鄭還先生對硅湖的畢業(yè)生贊賞有加：“硅湖培養(yǎng)的技術(shù)應(yīng)用型人才，對于我們這樣的企業(yè)來說是非常需要的。這些學(xué)生留得住、用得上。他們的從業(yè)態(tài)度、敬業(yè)精神和創(chuàng)新能力讓我們滿意！” 四、尾聲 “桃李不言，下自成蹊”。硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院，歷經(jīng)十年的艱苦耕耘，向各行各業(yè)輸送了8000余名優(yōu)秀的硅湖畢業(yè)生，他們扎根基層，能干實干，受到社會各界和用人單位的普遍好評。硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院富有特色的辦學(xué)經(jīng)驗，曾多次被《光明日報》、《瞭望周刊》、中央電視臺一套與新聞頻道等權(quán)威媒體采訪報道。學(xué)院先后被授予“全國自律與誠信建設(shè)先進(jìn)單位”、“江蘇省職業(yè)教育先進(jìn)單位”和“江蘇省百強民間組織先進(jìn)單位”等光榮稱號。 如今的硅湖校園，自然風(fēng)光令人陶醉，人文氣息沁人心扉。到處鋪著松軟翠綠的地毯，引來一群群白鷺，悠閑徜徉其間。氣勢恢弘的、外形宛如巨型飛碟的教學(xué)主樓，把一屆又一屆莘莘學(xué)子帶入知識的殿堂；古色古香的庭院式小樓，是專家、教授們安適的住所。校園里花木相映，小橋流水，自然品質(zhì)和人文精粹和諧統(tǒng)一，如詩如畫。 一排排信息櫥窗前，名家的學(xué)術(shù)講座，精彩的文藝演出，激烈的體育比賽，豐富的專業(yè)技能比武，歷屆“硅湖之春”文化活動的特寫鏡頭，還有那一幅幅中外合作辦學(xué)的彩照，一份份創(chuàng)業(yè)有成的畢業(yè)生事跡簡介，生動展現(xiàn)了硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的豐碩成果和勃勃生機，描繪出硅湖文化絢麗多彩的畫卷。 我們堅信，經(jīng)過硅湖人的不懈努力，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的明天一定能綻放出更加璀璨的花朵，硅湖職業(yè)技術(shù)學(xué)院的未來一定會更加美好！

主要生產(chǎn)藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產(chǎn)品。現(xiàn)擁有14條國際先進(jìn)的拉管生產(chǎn)線，70余臺國際先進(jìn)的制瓶機，年產(chǎn)各類安瓿/管制瓶32億支，藥用玻管（精品7.0）30000噸。

射頻識別（Radio Frequency Identification-RFID）技術(shù)被公認(rèn)是21世紀(jì)最有發(fā)展前途的信息技術(shù)之一，已廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)、零售、物流、交通、醫(yī)療、消費、旅游、國防等各個領(lǐng)域。超高頻（UHF）RFID技術(shù)憑借其無源遠(yuǎn)距離多標(biāo)簽快速識別的優(yōu)勢，能廣泛應(yīng)用于智能物流、智能交通、 物品質(zhì)量追溯、公共安全管理、智慧城市等物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)，顯著提高各行各業(yè)的管理效率，降低成本，具有最為廣闊的市場規(guī)模和發(fā)展?jié)摿Γ殉蔀镽FID及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)下一個爆發(fā)式增長點。 本團(tuán)隊在2008年度廣東省重大科技專項的支持下，研究突破了低功耗低壓射頻/模擬/數(shù)字電路及SOC架構(gòu)、高效率整流電路、多標(biāo)簽防碰撞、高穩(wěn)定時鐘電路等共性關(guān)鍵技術(shù)，掌握了基于CMOS工藝的高識別靈敏度的超高頻RFID標(biāo)簽芯片設(shè)計、測試與驗證、質(zhì)量可靠性保障等核心技術(shù)，已獲得授權(quán)發(fā)明專利7項、公開的發(fā)明專利申請8項，發(fā)表論文30多篇。自主設(shè)計開發(fā)出符合ISO18000-6B、ISO18000-6C標(biāo)準(zhǔn)的四款超高頻RFID標(biāo)簽芯片，通過了賽寶實驗室（工信部五所）的測試認(rèn)證，超高頻RFID標(biāo)簽芯片測試性能達(dá)到Impinj等國際主流公司同期同類產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)。在此基礎(chǔ)上，自主設(shè)計開發(fā)出具有溫度感知功能的超高頻RFID標(biāo)簽芯片、具有開關(guān)狀態(tài)數(shù)監(jiān)測的超高頻RFID標(biāo)簽芯片、具有多傳感器接口的超高頻物聯(lián)網(wǎng)標(biāo)簽芯片等樣品。 超高頻RFID標(biāo)簽芯片主要技術(shù)指標(biāo)： ？ 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)：ISO18000-6B/6C ？ 工作頻率：840-960MHz ？ 識別（讀取）靈敏度：-15dBm ？ 讀寫距離：讀8 米/寫5 米(與天線形式及當(dāng)?shù)責(zé)o線電頻率規(guī)范相關(guān)) ？ 識別速率：>100次/秒 ？ 存儲容量：256、512、1000bits ？ 前向鏈路速率：10-40kbps（6B）/40-160kbps(6C) ？ 反向鏈路速率：40-80kbps（6B）/160-640kbps(6C) ？ 工作溫度：-40 —850C ？ 數(shù)據(jù)保存時間：10年 ？ 寫入次數(shù)：100000

傳統(tǒng)的體外生理信號監(jiān)測如心電、腦電等基于濕電極在電極皮膚建立穩(wěn)定且低阻抗的接觸,需要凝膠，不易佩戴且容易滋生細(xì)菌感染等。使用干電極是可穿戴和醫(yī)療健康芯片的必然趨勢。但目前的商業(yè)芯片在干電極下無法使用，存在諸多性能上的缺陷，諸如功耗、輸入阻抗、共模抑制比等方面均無法滿足要求。在對國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的研究和綜述的基礎(chǔ)上，我們提出了提出一種基于干電極的信號采集芯片。經(jīng)流片驗證，可以提供足夠的空間分辨率，功耗在μW級別。同時該技術(shù)采用了實驗室積累多年的低功耗集成電路設(shè)計技術(shù)。以下是兩款超低功耗干電極腦電與心電采集芯片及其應(yīng)用場景。其中腦電芯片可以在耳道采集腦電信號，方便舒適，易于集成，其產(chǎn)業(yè)化已經(jīng)在逐步推行。

自主設(shè)計開發(fā)出符合ISO18000-6B、ISO18000-6C標(biāo)準(zhǔn)的四款超高頻RFID標(biāo)簽芯片，通過了賽寶實驗室（工信部五所）的測試認(rèn)證，超高頻RFID標(biāo)簽芯片測試性能達(dá)到Impinj等國際主流公司同期同類產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)。在此基礎(chǔ)上，自主設(shè)計開發(fā)出具有溫度感知功能的超高頻RFID標(biāo)簽芯片、具有開關(guān)狀態(tài)數(shù)監(jiān)測的超高頻RFID標(biāo)簽芯片、具有多傳感器接口的超高頻物聯(lián)網(wǎng)標(biāo)簽芯片等樣品。

在后摩爾時代，發(fā)揮多功能、異質(zhì)集成技術(shù)的優(yōu)勢和特點，面向存儲系統(tǒng)應(yīng)用，集成DDR3/DDR4、FLASH、LDO、IPD元件以及阻容元件等，構(gòu)成具有多功能的存儲微系統(tǒng)芯片。

LED具有長壽命、節(jié)能環(huán)保、微型化等優(yōu)點，是目前最具競爭力的新一代綠色照明光源。突破高發(fā)光效率的功率型高端LED芯片技術(shù)，將加快實現(xiàn)LED在通用照明、可見光通信、高端顯示等領(lǐng)域的應(yīng)用。在國家863計劃、廣東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)LED專項等重大項目的支持下，項目團(tuán)隊成功開發(fā)出效率超過130lm/W的高壓LED芯片、大尺寸垂直LED芯片和新型倒裝薄膜LED芯片，相關(guān)技術(shù)指標(biāo)處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。相關(guān)成果發(fā)表在Nanoscale Research Letters等國際權(quán)威期刊上，申請了22 項國家專利，其中已授

利用超表面與圖像傳感器集成的新方案實現(xiàn)快照式光譜成像芯片，結(jié)合計算光譜分析原理及重建算法，研制出了可見光波段、高精度的光譜成像芯片。

本發(fā)明公開了一種紅外聚光芯片。該芯片包括圓柱形的液晶調(diào)相架構(gòu)，其包括液晶材料層，依次設(shè)置在液晶材料層上表面的第一液晶初始取向?qū)印⒌谝浑姼綦x層、圖形化電極層、第一基片和第一紅外增透膜，以及依次設(shè)置在液晶材料層下表面的第二液晶初始取向?qū)印⒌诙姼綦x層、公共電極層、第二基片和第二紅外增透膜；圖形化電極層由圓形導(dǎo)電膜和同心設(shè)置在圓形導(dǎo)電膜外圍的至少一個圓環(huán)形導(dǎo)電膜構(gòu)成，圓形導(dǎo)電膜的直徑大于與其相鄰的圓環(huán)形導(dǎo)電膜的徑向?qū)?