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高穩定金屬膜電阻器用磁控濺射中高阻靶材及制備技術
成果與項目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜電阻器具有精度高、噪聲低、溫度系數小、耐熱性和穩定性好等優點，在精密電子設備和混合集成電路中大量采用。對于濺射制備電阻膜來說，靶材是至關重要的，它制約著金屬膜電阻器的電阻率、精度、可靠性、電阻溫度系數（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。電阻溫度系數(TCR)是金屬膜電阻器的一個重要性能技術指標之一，較大的 TCR 在溫度變化時會造成電阻值漂移，從而影響電阻器的精度和穩定性。目前國內外生產的金屬膜電阻器用高阻靶材，其性能不能滿足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技術原理與工藝流程簡介： 靶材煉制工藝如下圖所示所制備的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在濺射成電阻器薄膜后, 電阻溫度系數小(≤25 ×10-6 / ℃), 電阻值高(要求不刻槽數量級為千歐, 刻槽后數量級為兆歐)且穩定(隨時間變化小), 因此, 在本靶材研究中, 將選擇 Cr 、Si 作為高阻靶材的主體材料。由于 C r 、Si 熔點高, 原子移動性低, 因此由其所組成的薄膜穩定性高。通過在金屬 C r 中引入半導體材料 Si 來提高電阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收氣體的金屬元素, 在電阻器薄膜濺射過程中, 可通過通入微量的氧來提高薄膜的電阻率, 同時調節電阻溫度系數。技術指標如下：溫度沖擊實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 過載實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 壽命實驗后ΔR/R ≤±1 .0 %,電阻溫度系數 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
應用領域：
集成電路、電子元器件
合作方式及條件：具體面議
天津大學
2021-04-11
一種用于白內障手術的低溫等離子體組織消融系統及控制方法
本發明涉及一種用于白內障手術的低溫等離子體組織消融系統及控制方法，包括：智能能量平臺；組織抽吸模塊；組織消融電極，用于將生成的等離子體直接作用于目標組織，組織消融電極包括：由內向外依次同軸布置的陰極、絕緣套管、陽極，絕緣套管與陽極之間存在的間隙構成組織抽吸通道，組織抽吸通道與組織抽吸模塊連接；設在陽極外圍的持握手柄；設在持握手柄上的陰極長度控制滑塊，以控制陰極伸出絕緣套管的長度；設在持握手柄內的溫度傳感器；以及設在智能能量平臺的阻抗傳感器，溫度傳感器對電極周圍的溫度進行檢測，阻抗傳感器對陰極和陽極之間的阻抗進行檢測。本發明提高白內障手術的安全性和有效性，同時有效防止電極腐蝕現象的發生。
上海理工大學
2021-01-12
一種水下作業平臺壓載水艙進排水控制系統及控制方法
本發明公開了一種水下作業平臺壓載水艙進排水控制系統，用于控制壓載水艙的自動進排水，壓載水艙由多個對稱分布的子水艙構成，每個子水艙底部安裝有一個該通海閥、其艙內布置有至少一個高壓氣閥、其頂部安裝有若干透氣閥、壓載水艙艏艉的側壁上還對稱安裝有深度計，還包括安裝在控制艙中驅動閥箱，驅動閥箱與高壓氣閥、通海閥以及透氣閥分別通過信號線連接，在控制艙中還安裝有進排水PLC控制器，其對驅動閥箱發出指令，使驅動閥箱控制高壓氣閥、通海閥以及透氣閥以實現壓載水艙進排水。本發明還公開了基于狀態反饋的多變量模糊解耦控制方法實現對壓載水艙進排水的自動控制。本發明系統自動化程度高，控制準確，操作方便，可靠性高。
華中科技大學
2021-04-14
大顆粒狀速溶食品（菊花晶和金銀花晶）的開發及產業化
菊花晶和金銀花晶具有清熱去火的功效，目前市售的菊花晶和金銀花晶主要 以粉末狀的形態存在，外觀形狀較差，且溶解時所需的時間較長。本項目開發的 菊花晶和金銀花晶顆粒較大，溶解性較好。
溶解時間：熱水中 3 s 以內全部溶解，不使用食品添加劑。
效益分析：菊花和金銀花中的有效成分具有清熱去火等諸多功效，將其從菊花和金銀花 中提取出來制備成菊花晶和金銀花晶可以提高食用的方便。此外，將菊花晶和金 銀花晶與奶粉同時食用，可以有效降低嬰兒食用奶粉時引起的上火等問題。因此， 開發具有良好外觀形態和溶解性的菊花晶和金銀花晶具有較強的市場競爭力。
江南大學
2021-04-11
【中國教育新聞網】中國高等教育學會副會長、中國工程院院士周玉：推動高校技術成果走向產業市場“最后一公里”
“市場是檢驗科技成果的重要標準，科技成果必須從實驗室走向市場、走向應用。”4月9日，在第二屆“科創中國·高等學校技術交易大會”上，中國高等教育學會副會長、科技服務專家指導委員會主任委員，中國工程院院士周玉說。
云上高博會
2023-04-11
科技部關于發布國家重點研發計劃“生物安全關鍵技術研究”等重點專項2023年度項目申報指南的通知
國家重點研發計劃深入貫徹落實黨的二十大精神，堅持“四個面向”總要求，持續推進“揭榜掛帥”、青年科學家項目等科技管理改革舉措，著力提升科研投入績效，加快實現高水平科技自立自強。根據《國家重點研發計劃管理暫行辦法》和組織管理相關要求，現將“生物安全關鍵技術研究”等重點專項2023年度項目申報指南予以公布，請根據指南要求組織項目申報工作。
科學技術部
2023-07-28
電子科技大學電磁環境仿真及智能處理平臺采購項目競爭性磋商
電子科技大學電磁環境仿真及智能處理平臺采購項目競爭性磋商
電子科技大學
2022-05-27
一種基于運行數據對中央空調系統節能診斷及節能潛力分析的方法
成果描述：本發明公開了一種基于運行數據對中央空調系統節能診斷及節能潛力分析的方法，基于中央空調系統實際運行數據，經對輸入數據進行數據預處理后，再經數據分析步驟對已進行預處理的數據進行系統工況模式識別、系統設備運行時長與均等運行策略分析、系統設備運行次序分析、系統設備變頻特性分析、系統設備出力與能耗特性分析、系統及設備運行約束條件分析，基于此再經節能潛力計算步驟對系統最小運行能耗(或費用)進行計算，得到系統節能診斷結果及節能潛力情況。本發明方法通過對系統實際運行數據的分析，給使用者提供更全面、更符合實際的節能診斷和節能潛力結果，為系統節能優化運行和節能改造等提供重要決策依據。市場前景分析：暖通工程領域。與同類成果相比的優勢分析：技術先進，性價比較高。
西南交通大學
2021-04-10
一種果菜類作物無土栽培營養液、制備方法及供液方法
本發明涉及一種果菜類作物無土栽培營養液、制備方法及供液方法。一種果菜類作物無土栽培營養液，包括N、P、K、Ca、Mg、S的大量元素和B、Mn、Cu、Zn、Fe、Mo微量元素的營養液，分別配制幼苗期大量元素營養液、開花期大量元素營養液、結果期大量元素營養液，其中幼苗期大量元素營養液中N、P、K含量低于開花期和結果期；開花期大量元素營養液中N含量大于幼苗期，K含量小于結果期；結果期大量元素營養液中K含量高于N、P含量。在作物不同生育期，最大程度地利用營養液中所需離子，減少了未吸收離子的過量積累；提高了Ca和P含量，達到各離子之間作物吸收最合理的平衡比例，減少了過量離子的積累，并提高了肥料利用效率。
中國農業大學
2021-04-11
一種以廢石膏為鈣源制備納米碳酸鈣漿料的方法、產品及應用
本發明公開了一種以磷石膏為鈣源制備納米碳酸鈣漿料的方法，向廢石膏中加入水配制成石膏漿料，將氨水與石膏漿料攪拌混合，通入二氧化碳，并攪拌至廢石膏中硫酸鈣完全轉化為納米碳酸鈣，過濾，將濾餅分散于水中得到納米碳酸鈣漿料。本發明方法簡單易行，成本低廉，碳酸鈣分解溫度低。本發明還公開了上述方法制備的納米碳酸鈣漿料及其在制備氧化鈣基二氧化碳吸附劑和用于反應吸附甲烷水蒸汽重整制氫的復合催化劑中的應用。制備得到的氧化鈣基二氧化碳吸附劑循環穩定性好、吸附速率高，復合催化劑用于甲烷水蒸汽重整制氫，能制備得到純度90％以上的氫氣。
浙江大學
2021-04-11