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本發(fā)明公開了一種精確控制浸沒式光刻機(jī)浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級(jí)熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的初級(jí)調(diào)控；次級(jí)熱交換器，其浸液入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進(jìn)行再次熱交換，實(shí)現(xiàn)浸液溫度的次級(jí)調(diào)控；流量伺服閥，其入口與初級(jí)熱交換器浸液出口連通，與次級(jí)熱交換器形成并聯(lián)，用于調(diào)節(jié)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量。通過協(xié)調(diào)控制進(jìn)入初級(jí)熱交換器和次級(jí)熱交換器的冷媒流量，并結(jié)合流量伺服閥對(duì)進(jìn)入次級(jí)熱交換器的浸液流量的調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液溫度的兩級(jí)調(diào)控，從而獲得溫

本發(fā)明公開了一種基于液壓絞車牽引的水下運(yùn)動(dòng)體的速度控制方法，包括：(1)確定主閥閥芯開度的設(shè)定值；(2)速度控制器獲取當(dāng)前的閥芯開度反饋值，并計(jì)算閥芯開度比；(3)若閥芯開度比不大于閾值，則以單調(diào)過阻尼的方式逐漸增大閥芯開度給定值值至閥芯開度設(shè)定值，若閥芯開度比大于閾值，則根據(jù)速度設(shè)定值與反饋速度值的差值以及閥芯開度反饋值,實(shí)時(shí)給定閥芯開度給定值；(4)液壓絞車根據(jù)主閥閥芯的開度牽引柔性水下運(yùn)動(dòng)體以對(duì)應(yīng)速度運(yùn)動(dòng)；(5)循環(huán)執(zhí)行步驟(2)-(4)，直至小車速度達(dá)到設(shè)定值。本發(fā)明還公開了對(duì)應(yīng)的控制系統(tǒng)。

本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和晶元盤 斜視相機(jī)的觀測(cè)和配合，對(duì)芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機(jī)的觀測(cè)和 配合，對(duì)芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)的觀測(cè)和配合，對(duì) 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個(gè)過程中芯片在位置及角度

本發(fā)明公開了一種行星輪式越障機(jī)器人爬樓梯控制方法，包括 如下步驟:1)保持越障機(jī)器人勻速直線前進(jìn)，測(cè)量其同一驅(qū)動(dòng)組中兩 行星輪組與前方臺(tái)階的距離及行星輪組的轉(zhuǎn)速，并計(jì)算偏轉(zhuǎn)角;2)計(jì)算各行星輪組的理論轉(zhuǎn)速，并使行星輪組以計(jì)算得出的轉(zhuǎn)速進(jìn)行運(yùn)動(dòng); 3)檢測(cè)當(dāng)前的 L1 和 L2，并計(jì)算當(dāng)前的偏轉(zhuǎn)角θ;4)判斷當(dāng)前偏轉(zhuǎn)角θ 是否超過預(yù)設(shè)值:若是，則轉(zhuǎn)入步驟 2)，若否，則控制機(jī)器人繼續(xù)等 速直線前進(jìn);5)判斷兩行星輪組是否到達(dá)階梯:若否，則繼續(xù)等速直 線

本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動(dòng)模塊內(nèi)部會(huì)對(duì)每軸反饋信號(hào)進(jìn)行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動(dòng)態(tài)調(diào)整的補(bǔ)償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補(bǔ)償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點(diǎn)，同步誤差補(bǔ)償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡(jiǎn)介 傳統(tǒng)的工業(yè)機(jī)器人控制和驅(qū)動(dòng)分離，即采用一個(gè)獨(dú)立運(yùn)動(dòng)控制器控制多個(gè)獨(dú)立伺服驅(qū)動(dòng)器的形式，存在集成度低、體積大、成本高等問題。本成果開發(fā)的六軸驅(qū)控一體工業(yè)機(jī)器人控制系統(tǒng)由工業(yè)機(jī)器人控制軟件和伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)組成，主要特點(diǎn)有： （1）基于多核的SoC芯片，通過片內(nèi)總線實(shí)現(xiàn)控制系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的高速互聯(lián)通信，保證信息傳輸?shù)母咝院头€(wěn)定性。機(jī)器人控制算法和六軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)共用一個(gè)芯片中不同的內(nèi)核完成，實(shí)現(xiàn)高度集成。 （2）針對(duì)傳統(tǒng)機(jī)器人六軸無法高精度同步問題，本成果六軸驅(qū)控一體系統(tǒng)內(nèi)部集成了基于相鄰交叉耦合的六軸同步控制算法。在驅(qū)動(dòng)模塊內(nèi)部會(huì)對(duì)每軸反饋信號(hào)進(jìn)行同步控制策略處理，并引入一種基于電流動(dòng)態(tài)調(diào)整的補(bǔ)償系數(shù)，解決傳統(tǒng)相鄰交叉耦合結(jié)構(gòu)補(bǔ)償響應(yīng)慢、同步精度不高的缺點(diǎn)，同步誤差補(bǔ)償周期短，具有更快的同步控制響應(yīng)和更高的靈活性。

該成果從煙粉虱的越冬、田間擴(kuò)散、暴發(fā)機(jī)制、田間種群動(dòng)態(tài)等方面研究江蘇地區(qū)煙粉虱種群的形成規(guī)律及成災(zāi)機(jī)制，提出了煙粉虱的控制策略、用藥原則和控制技術(shù)。研究成果在江蘇推廣應(yīng)用，可使化學(xué)農(nóng)藥用量減少 10~15%，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益， 2012 年獲全國(guó)商業(yè)科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

本發(fā)明公開了一種基于電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡的紅外波束控制芯片。其包括電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列；電控液晶紅外發(fā)散平面微柱鏡陣列包括液晶材料層，依次設(shè)置在液晶材料層上表面的第一液晶初始取向?qū)印⒌谝浑姼綦x層、圖形化電極層、第一基片和第一紅外增透膜，以及依次設(shè)置在液晶材料層下表面的第二液晶初始取向?qū)印⒌诙姼綦x層、公共電極層、第二基片和第二紅外增透膜；公共電極層由一層勻質(zhì)導(dǎo)電膜構(gòu)成；圖形化電極層由其上布有 m×n

本發(fā)明提供一種采用現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列(FPGA)的電機(jī)控制系統(tǒng)中智能功率模塊(IPM)的驅(qū)動(dòng)及保護(hù)方法。該方法利用 FPGA 給 IPM 發(fā)送驅(qū)動(dòng)信號(hào)，同時(shí)利用 FPGA 接收及處理 IPM 的出錯(cuò)信號(hào)，當(dāng) IPM 出錯(cuò)或出現(xiàn)其他異常時(shí) FPGA 可以關(guān)斷 IPM 驅(qū)動(dòng)信號(hào)的發(fā)送，實(shí)現(xiàn)對(duì)IPM 的保護(hù)。在驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送中，通過差分驅(qū)動(dòng)器、濾波電路、差分接收器、高速光耦對(duì) IPM 的驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行差分處理、光電隔離，可以提高IPM 驅(qū)動(dòng)信號(hào)傳輸?shù)目垢蓴_能力。在出錯(cuò)信號(hào)的接收及處理中，采用了濾波電路、高速光耦

本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，并公開了一種用于柔 性膜轉(zhuǎn)移的機(jī)械手控制系統(tǒng)，包括多自由度機(jī)械手、多傳感器反饋單 元和控制單元，其中多自由度機(jī)械手用于對(duì)柔性膜執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作；多 傳感器反饋單元包括 CCD 傳感器、激光位移傳感器、重力傳感器組、 真空傳感器、壓力傳感器等，并用于對(duì)機(jī)械手包括位置、姿態(tài)、真空度和接觸力在內(nèi)的多項(xiàng)狀態(tài)指標(biāo)執(zhí)行檢測(cè)；控制單元?jiǎng)t基于多傳感器 反饋單元的信息，對(duì)機(jī)械手整個(gè)轉(zhuǎn)移過程的操作執(zhí)行精確控制，同時(shí) 還可對(duì)拾取頭工作段的吸附面積大小進(jìn)行靈活調(diào)節(jié)。通過本發(fā)明，可 根據(jù)柔性膜

?  成果簡(jiǎn)介：本成果由全數(shù)字化雙軸伺服驅(qū)動(dòng)器和高性能永磁同步電機(jī)組成。單軸額定功率為750W，額定轉(zhuǎn)矩為2.5NM，額定轉(zhuǎn)速3600RPM，工作溫度為-40℃～60℃，滿足國(guó)軍標(biāo)相應(yīng)環(huán)境適應(yīng)性與電磁兼容性要求。?  項(xiàng)目來源：自行開發(fā)?  技術(shù)領(lǐng)域：光機(jī)電一體化?  應(yīng)用范圍：運(yùn)動(dòng)控制?  現(xiàn)狀特點(diǎn)：ü  伺服