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1、采用焊接結構床身，整體高溫時效處理及高精密加工工藝 2、 采用龍門雙驅結構 3、 采用航空鋁材料橫梁及Z軸 4、高精度齒條，齒輪雙邊結構 5、 距板凹凸面隨動型切割頭設計 6、 萬向滾珠進料裝置 7、 多重限位保護（感應限位、硬限位、原點限位） 產品特點 1、采用焊接結構床身，整體高溫時效處理及高精密加工工藝 2、 采用龍門雙驅結構 3、 采用航空鋁材料橫梁及Z軸  4、高精度齒條，齒輪雙邊結構 5、 距板凹凸面隨動型切割頭設計 6、 萬向滾珠進料裝置 7、 多重限位保護（感應限位、硬限位、原點限位）

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本發(fā)明公開了一種雙碟片串接的泵浦光多程傳輸系統(tǒng)，該系統(tǒng) 包括第一離軸拋物面反射鏡，第一直角反射鏡組，其位于所述第一離 軸拋物面反射鏡的反射光路上；第一碟片激光晶體，置于第一離軸拋 物面反射鏡焦點處；球面反射鏡，第二離軸拋物面反射鏡，其與所述 第一離軸拋物面反射鏡相對于過所述球面鏡球心的平面α對稱設置； 第二直角反射鏡組，其位于所述第二離軸拋物面反射鏡反射光路上； 第二碟片激光晶體，其與所述第一碟片激光晶體相對于過所述

本發(fā)明公開了一種用于增強激光亮度的光學組件及高頻脈沖激光光源；光學組件包括用于將多路激光光線合成一束的棱鏡組、用于 將合束后的激光轉換為片激光的柱面透鏡組以及用于將片激光進行多 次反射使得激光亮度增強的反射鏡腔。高頻脈沖激光光源包括第一激 光器組、第二激光器組、第一組條紋鏡、第二組條紋鏡、偏振合束原 件、半波片、準直透鏡組、導光臂、聚焦透鏡、柱面透鏡組和反射鏡 腔；當所有的激光器同時激發(fā)發(fā)光，則能使發(fā)出的激光亮度急劇增強， 當激光器依次輪流發(fā)出激光，則能使發(fā)出的激光工作在一個很高的頻 率。本發(fā)明結構簡單，控制簡單，多個激光器的合成脈沖使得其具有 激光脈沖輸出頻率高，亮度大的優(yōu)點，可應用于高速相機的照明光源。 

本發(fā)明公開了一種用于增強激光亮度的光學組件及高頻脈沖激光光源；光學組件包括用于將多路激光光線合成一束的棱鏡組、用于將合束后的激光轉換為片激光的柱面透鏡組以及用于將片激光進行多次反射使得激光亮度增強的反射鏡腔。高頻脈沖激光光源包括第一激光器組、第二激光器組、第一組條紋鏡、第二組條紋鏡、偏振合束原件、半波片、準直透鏡組、導光臂、聚焦透鏡、柱面透鏡組和反射鏡腔；當所有的激光器同時激發(fā)發(fā)光，則能使發(fā)出的激光亮度急劇增強，當激光器依次輪流發(fā)出激光，則能使發(fā)出的激光工作在一個很高的頻率。本發(fā)明結構簡單，控制簡單

本發(fā)明提供的具有高單縱模成品率的脊波導分布反饋(DFB)半 導體激光器，是由自下而上依次排列的 N 型電極(1)、襯底(2)、下包層 (3)、下分別限制層(4)、應變多量子阱有源層(5)、上分別限制層(6)、緩 沖層(7)、光柵層(8)、上包層(9)、第一脊條(10)、第二脊條(11)、第一 脊條上的 P 型電極(12)、第二脊條上的 P 型電極(13)組成。本發(fā)明通過 在單個半導體激光器管芯上制作端面反射率相位相差π/2 的兩個

本發(fā)明公開了一種基于 CO2 激光器的自校準測量 SF6 濃度的裝置及方法，運用波長可調諧 CO2 激光器，在傳統(tǒng)光聲光譜技術的基礎上，檢測兩個不同波長的光聲信號，并通過數(shù)據(jù)處理計算出 SF6 濃度。該裝置成功實現(xiàn)了自校準的 SF6 濃度測量，避免了傳統(tǒng)光聲光譜技術中運用標準氣標定檢測系統(tǒng)的過程，從而排除了標定過程中氣壓、溫度、緩沖氣等因素對檢測結果準確性的影響，從而提高了光聲光譜技術的測量精度和實用性。此外該自校準

隨著現(xiàn)代激光技術的快速發(fā)展，激光跟蹤在空間光通信、激光雷達、衛(wèi)星遙感、定向能應用及工業(yè)測量等領域得到了廣泛的應用，光束偏轉原理、跟蹤機構及其控制方法等是影響跟蹤范圍、精度、實時性和穩(wěn)定性等光電跟蹤性能的決定因素。在國家自然科學基金的支持下，由同濟大學牽頭，聯(lián)合中國科學院上海光學精密機械研究所以及上海同新機電控制技術有限公司等單位開展了面向機器人誤差測量等工業(yè)應用的多模式激光跟蹤儀的研究。該研究對復雜場合下時變軌跡跟蹤、測量或加工具有強適應性；結合圖像采集系統(tǒng)，可以精確調整成像視軸以實現(xiàn)視覺導引或大范圍高精度圖像拼接。該項目從原理上拓展了激光多模式、變尺度跟蹤的實現(xiàn)方法，形成了復雜場合下大范圍高精度動態(tài)目標激光跟蹤的核心技術，在機器人動態(tài)誤差測量、動態(tài)成像檢測、空間激光通信以及軍事偵察等領域具有廣泛的應用前景。

項目成果/簡介:隨著現(xiàn)代激光技術的快速發(fā)展，激光跟蹤在空間光通信、激光雷達、衛(wèi)星遙感、定向能應用及工業(yè)測量等領域得到了廣泛的應用，光束偏轉原理、跟蹤機構及其控制方法等是影響跟蹤范圍、精度、實時性和穩(wěn)定性等光電跟蹤性能的決定因素。在國家自然科學基金的支持下，由同濟大學牽頭，聯(lián)合中國科學院上海光學精密機械研究所以及上海同新機電控制技術有限公司等單位開展了面向機器人誤差測量等工業(yè)應用的多模式激光跟蹤儀的研究。該研究對復雜場合下時變軌跡跟蹤、測量或加工具有強適應性；結合圖像采集系統(tǒng)，可以精確調整成像視軸以實現(xiàn)視覺導引或大范圍高精度圖像拼接。該項目從原理上拓展了激光多模式、變尺度跟蹤的實現(xiàn)方法，形成了復雜場合下大范圍高精度動態(tài)目標激光跟蹤的核心技術，在機器人動態(tài)誤差測量、動態(tài)成像檢測、空間激光通信以及軍事偵察等領域具有廣泛的應用前景。應用范圍:該項目經(jīng)過幾年培育，截至2018年6月已生產多模式激光跟蹤系統(tǒng)樣機5臺套，主要應用于中國科學院空間激光信息傳輸與探測技術重點實驗室、同濟大學機械工程綜合實驗中心等單位。 在自由空間激光通信、激光雷達、光纖光開關、激光指示器等領域中，可用于激光光束的轉向及指向穩(wěn)定調整。在空間觀測、偵察監(jiān)視、紅外對抗、搜索營救、顯微觀察、干涉測量、機器視覺等領域中，可用于改變成像視軸，擴大搜索范圍或成像視場。國內外對基于旋轉雙棱鏡的激光跟蹤理論研究集中在光束轉向機制、光束掃描模式、棱鏡回轉控制等方面。 產學研合作開發(fā)，意向合作單位：從事光電精密儀器開發(fā)的經(jīng)驗，對于激光跟蹤技術具有一定的技術積累，如ABB公司、Leica、西門子、新松機器人、沈陽機床廠、高校科研院所以及國防單位等。項目階段:小試效益分析:本項目在多模式激光跟蹤方面形成的研究成果處于國際先進水平，不僅能夠解決工業(yè)生產中對大范圍、高精度特征的測量需求，而且在多自由度特征信息提取以及智能化控制等領域應用前景廣闊，在推動激光跟蹤測量技術的產業(yè)化進程、提高工業(yè)自動化水平和人才培養(yǎng)等方面，具有巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。

電路是以晶圓為載體，采用一定的工藝，把電路中的元器件和布線制作在晶圓片上，封裝為 一個整體，使晶圓上每個晶粒成為具有所需電路功能的微型結構。晶圓切割的過程是將集成有 電路的整片晶圓通過劃切分割成單個的晶粒，切割過程又是一種無法恢復的過程，因此，材料 和制造成本的積累以及工藝的不可重復性決定了切割工藝成為整個集成電路制造過程中最關鍵 和難度最大的工藝環(huán)節(jié)。 精密機械：可加工的晶圓最小直徑可達50mm，在晶圓里面印刷有晶格，每個晶格的寬度 為200μm，晶格間距約為20μm，所以設備的切割精度要求控制在2μm以內，每小時切割15片。 運動平臺采用高精度的直線電機平臺，定位精度為2μm，重復定位精度為1μm；旋轉平臺的定 位精度為30″，重復定位精度為4″。 計算機自動控制：劃片機系統(tǒng)將根據(jù)客戶要求以及配合視覺檢測系統(tǒng)傳輸?shù)木A數(shù)據(jù)，自 動生成切割路徑，在規(guī)定的工作時間內完成晶圓的切割。