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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現設計圖形轉移的載體，是決定其微細結構和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導體掩膜版的國產化率10%左右，90%需要進口，高端掩膜版國產化率3%，miniLED和microLED產業升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續提升，掩膜版產能嚴重不足。并且中國半導體掩膜版的產業起步較晚，技術滯后，核心技術和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設備、材料領域眾多技術處于“卡脖子”狀態，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機、檢測機、測量機、修復機和貼膜機等都依賴進口，嚴重制約中國半導體產業的發展。華中科技大學徐智謀教授團隊致力于全套高端半導體光掩膜版的關鍵核心技術研發與量產，為“卡脖子”技術研究而努力。 具有建立180 nm技術節點半導體掩膜版量產線相關核心技術；具備130 nm至28 nm半導體掩膜版研發、設計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產核心技術，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術參數的搭配和優化，以及大數據量軟件快速處理、補償等。 2） 裝備國產化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術指標的核心，主要包括關鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團隊已掌握掩膜版的關鍵測量技術，達到國內先進水平，具有整套設備的整機制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標，直接影響到客戶的套合精度，該測量設備一直由國外極少數廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團隊目前正在攻克該項技術，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復裝備 掩膜版修補技術是提升良品率的關鍵手段，該技術一直為國外壟斷。團隊已熟練掌握UV、DUV激光化學沉積技術及皮秒飛秒激光金屬處理技術，具備整機制造能力，可降低設備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產品精度的提升和應用領域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環節。在IC制造領域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領域90%以上需貼膜，在LED領域80%以上需貼膜。該貼膜設備一直國外公司壟斷，國內廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設備需100萬美元左右。團隊具備研發制造該設備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設備正式在產線運營，制造成本可節約90%以上。 3） 廠房建設關鍵技術 團隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設備廠務設計有豐富經驗，掌握高等級防微震廠房結構和設備平臺的設計施工，可達到VC-D級技術標準，滿足納米級生產技術要求。 【技術優勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產的關鍵核心技術，包括部分裝備的國產化，解決“卡脖子”技術難題，量產線建設成本節約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術節點掩膜版設計開發能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產、研發和銷售經驗的隊伍，成熟的企業管理經驗，保證企業穩步成長，確保投資風險可控。 【合作方式】 股權投資合作共建或政府孵化+中試線。

本實用新型公開了一種高水材料強度檢測儀，該檢測儀由支架系統、動力系統、貫入系統和測算系統四部分構成。該發明的新穎之處在于采用球冠狀測頭貫入，并在測算過程中測量球冠狀測頭在材料上撞出的圓坑直徑而非深度。鑒于測量直徑更為直觀便捷，采用球冠狀測頭所測數據更為準確穩定，本實用新型實現安全便捷快速測量高水材料強度的技術效果。

"本發明公開了一種水凝膠避孕套及其制備方法；所述水凝膠避孕 套 包 括 由 質 量 比 為 5:1 ～ 20:1 的 結 構 單 元 <imgfile=""DDA0001128553220000011.GIF"" wi=""349"" he=""351""/>以及結 構 單 元 <img file=""DDA0001128553220000012.GIF"" wi=""542""he=""367""/>組成的水凝膠聚合物

本發明公開了一種摩擦制備柔性透明導電膜的方法，該方法將 聚乙烯膜或者聚氯乙烯膜平鋪在基板上，再將納米石墨粉按 0.005～ 0.02 毫克/平方厘米均勻鋪在聚乙烯或者聚氯乙烯膜上，然后將納米石 墨粉在聚乙烯膜或者聚氯乙烯膜上借助基板進行摩擦，使納米石墨粉 在聚乙烯膜或者聚氯乙烯膜表面形成的微導電溝道，得到柔性、透明 的導電膜。本發明具有工藝周期短，實施便捷的特點。產品與目前市 場上的透明導電 ITO 玻璃相比，表現出

成果簡介在本項目中運用流體力學理論和動力學方程提出了一種單流體多組元模型，它包含了一個可以適用于多組元的模型框架， 可以處理不同生物膜菌種相互之間的動力學作用、 內部的相互轉化、 群體的消散和混合， 整個材料系統近似為不可壓縮， 因此當一個種群的體積分數增長時， 一個或多個其他的種群必須相應的以體積分數的形式轉化為增長的種群。 我們還把這個二元模型變為更細致的三元模型， 除包含等效溶劑， 還將包含 EPS 和細菌兩種組分， 抗菌劑濃度和營養素也被更細致地建模。 并且使用二元和三元模型研

本發明公開了一種擠壓涂布機膜厚控制方法，包括以下步驟： 在擠壓涂布機更換新的漿料正式生產之前，進行一次預生產過程，測 量記錄有關參數；根據獲得的一系列濕料、干料厚度、及涂布間隙寬 度的樣本數據，采用降噪自編碼的方法訓練建立兩個神經網絡模型； 根據獲得的神經網絡模型，由目標干料厚度預測所需濕料的厚度和涂 布間隙的控制寬度；生產過程中實時監控濕料的厚度，采用神經網絡 模型預測方法，及時調整涂布間隙的控制寬度，以保證濕料厚

本發明公開了一種水潤滑橡膠艉軸承的設計方法：對傳統的板條式水潤滑橡膠艉軸承沿軸向進行硬度分區，將傳統的板條式水潤滑橡膠艉軸承的橡膠軸瓦從艉端到首端沿軸向分為多個區域，從艉端到首端的各個區域的橡膠硬度依次增大，且靠近首端的區域的長度最大，以使水潤滑橡膠艉軸承適應實際負載，改善軸承的接觸壓力性能。本發明還提供了相應的水潤滑橡膠艉軸承。本發明根據水潤滑橡膠艉軸承壓力分布特征，將整個長艉軸承劃分為硬度不同的幾個區域，顯著改善了水潤滑橡膠艉軸承的壓應力分布，并且有效沿周向延展了接觸區域，整體上很好地改善了艉軸

本發明屬于柔性膜收卷工藝相關領域，并公開了一種柔性膜收 卷質量視覺檢測方法，包括:針對收卷裝置來布置相應的視覺檢測裝 置及檢測驅動裝置;在收卷過程中對料卷端面執行成像檢測，并獲取 不同焦距下的端面圖像，直至收卷完畢;在收卷完成時構建適當算法 求得料卷端面的特征點深度方差，并利用該深度方差來作為量化指標 評價成卷質量。本發明還公開了相應的實時糾偏處理方式。通過本發 明，不僅實現了柔性膜收卷的高精度質量檢測，還提出了一種柔性膜 成卷效果量化評價指標，并適用于各類成卷設備的應用場合。

本課題組為復雜手術的提前預測提供客制化的解決方案，研發了專用儀器與設備，開發了具有優異性能的水凝膠材料。在嵌入式3D打印策略的基礎上研制了基于逆過程的嵌入式3D打印。所制作模型可以達到“一人一例”高度客制化，模型具有柔軟、透明、可剝離等先進特征。 其中，微量高精度步進泵以及微針裝置填補了技術空白，超高透明度觸變性水凝膠前體在國內為首次研制。 創新要點如下： 1） 所制作3D器官模型在材質和觸感上遠超普通3D打印方式，具有多內表面、柔軟、透明、可切割、可剝離等先進特征 2） 所研制的嵌入式3D打印機在國內尚屬首例，可完成廣泛意義上的嵌入式打印，兼容多種支撐介質 3） 打印速度相比一般3D打印（光固化，熔融沉積），速度快50%以上，具有更高的工作效率 4） 整個打印過程無需任何后處理和額外支撐