激光光源傳輸腔室的溫控與凈化控制方法和系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種激光光源的傳輸腔室內(nèi)的溫控與凈化控制系 統(tǒng),包括:設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之前的二級調(diào)壓閥,用于 調(diào)節(jié)待進入模塊腔體的通道中的氣體壓力;設(shè)置在光路傳輸通道的氣 體凈化裝置和模塊腔體之間的毛細(xì)管,用于保證光路傳輸腔室氣壓與 外界氣壓有微正壓;以及設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之后的節(jié)流 閥,且每個模塊腔體之后對應(yīng)設(shè)置一個所述的節(jié)流閥,用于調(diào)節(jié)各模 塊腔室與環(huán)境大氣壓的壓差。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的溫控與凈化控制 方法。本發(fā)明的裝置和方法通過控制腔體與外界的壓差恒定,同時通 過加熱器和熱交
華中科技大學(xué)
2021-04-14