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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺
實驗室智能中控箱
智能化控制系統(tǒng)的核心設(shè)備，具備本地邏輯運算功能，可不依賴于服務(wù)器完成人員刷卡的身份認證及相關(guān)控制指令的下發(fā)功能。同時具備本地的數(shù)據(jù)存儲功能，當出現(xiàn)斷網(wǎng)情況時，所有數(shù)據(jù)進行本地存儲，網(wǎng)絡(luò)恢復(fù)后自動與服務(wù)器進行同步。
重慶步航科技有限公司
2022-09-08
半導體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學
2022-07-22
超高純氨中痕量水檢測方法
超高純氨是LED行業(yè)、微電子行業(yè)中重要的原料氣體，主要應(yīng)用于金屬有機化學淀積法(MOCVD)制造外延芯片或氮化硅薄膜。過量的水分會嚴重影響工藝產(chǎn)率和產(chǎn)品質(zhì)量。氨氣中痕量水分析是氣體分析領(lǐng)域的難點之一，目前國內(nèi)外可以穩(wěn)定、準確測量超高純氨氣中痕量水的方法只有光腔衰蕩法、紅外光譜吸收法和熱分解露點法。國標中已將熱分解露點法列為檢測高純氨氣中痕量水分的方法，但國內(nèi)目前采用該種測定方法的單位為零，而且對熱分解露點法的研究也鮮有報道。本技術(shù)主要通過改進熱分解露點法可以穩(wěn)定、準確、快速的測量超高純氨氣中痕量水分。本技術(shù)主要設(shè)計、制作出氣密性良好的超高純氨進樣器、氨分解反應(yīng)槽、熱分解露點裝置。制作了氨分解催化劑d并考察了分解槽溫度、氣體流速對所選用的四種氨分解催化劑在測試中的水分基線的影響及分解槽溫度、氣體流量對氨分解率的影響，篩選出最適合的氨分解催化劑d用以測量超高純氨中痕量水。采用熱分解露點裝置分析高純氮氣中痕量水、超高純氨氣中痕量水，并用配有氦離子放電檢測器的氣相色譜檢測超高純氨中的痕量氧，折算出超高純氨中痕量水。與光腔衰蕩法、紅外吸收光譜法測試結(jié)果的比對分析證明熱分解露點法測試值準確度較高，成本低，可用以分析超高純氨氣中痕量水分，最低檢測限約80ppb。考查了氨分解溫度、氣體流量對高純氨中痕量水分析的影響，從而確定熱分解露點裝置最佳工作條件。考查了變壓置換、變流置換對縮短測試時間的影響，采用新的置換方式的測試時間是只平速吹掃所用時間的一半。比對了不同冷源的精密露點儀通過熱分解露點裝置測試高純氮氣、高純氫氣、超高純氨氣的檢測限，制冷機為冷源的精密露點儀檢測限最低。
北京化工大學
2021-02-01
3%啶蟲脒微乳劑、水乳劑
目前啶蟲脒常用劑型是乳油和可濕性粉劑，3%啶蟲脒微乳劑克服了乳油和可濕性粉劑各自存在的缺點，具有微乳劑的一系列特點，節(jié)省溶劑、降低生產(chǎn)成本、加工方便，是一種新型制劑品種，（2001年底前）國內(nèi)外尚未見報道。啶蟲脒原藥的合成技術(shù)近1~2年國外知識產(chǎn)權(quán)保護期將到，該微乳劑和水乳劑品種很快即可推出。
南開大學
2021-04-10
先導型水液壓數(shù)字比例方向閥
本發(fā)明公開了一種先導型水液壓數(shù)字比例方向閥，包括主閥和先導閥，所述先導閥為兩個，分別位于主閥左右兩側(cè)，并通過端面配合安裝在主閥上，其中，所述先導閥包括可變液阻和與其串聯(lián)的固定液阻，與主閥閥芯端面連通的控制口位于兩者之間，通過改變所述可變液阻阻值，改變控制口壓力，從而對主閥閥芯進行控制，實現(xiàn)液流方向和流量的控制。本發(fā)明的比例方向閥采用 PCM 先導控制，控制簡單可靠，精度高，頻率高，壽命長，且主閥流量大。先導閥由開關(guān)閥和阻尼孔組成，泄露小，抗污染能力和抗干擾能力強，可用于含固體雜質(zhì)較多的海洋環(huán)境。本發(fā)
華中科技大學
2021-01-12
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冷卻水自動加藥控制裝置
循環(huán)水中緩蝕阻垢劑的加藥量由以下公式?jīng)Q定： 投加量（kg/h）=投加濃度×總補充水量（m3/天）/ K（濃縮倍數(shù)）×1000。根據(jù)這個原理，對數(shù)據(jù)采集量電導率、補水流量和總磷等參數(shù)進行優(yōu)化決策，調(diào)整到適合的加藥量，使系統(tǒng)中的藥劑濃度在控制范圍內(nèi)。這種控制效果，在同類控制系統(tǒng)中是比較先進的。在PH5-9的范圍內(nèi)，電導率和總?cè)芄毯看笾鲁删€性關(guān)系。根據(jù)已確定的濃縮倍數(shù)，設(shè)定電導率的控制范圍。在循環(huán)冷卻水運行過程中，通過控制排污和補水，實現(xiàn)濃縮倍數(shù)基本保持不變，保證循環(huán)水系統(tǒng)運行穩(wěn)定。正確選擇pH測量點和投加點，采用先進的PID控制算法，達到循環(huán)水系統(tǒng)中的PH值自動控制。NJHL- A型循環(huán)冷卻水自動加藥控制系統(tǒng)是以智能儀表和計算機為核心，不僅操作方便，而且智能化程度大大提高。NJHL-B型循環(huán)冷卻水自動加藥控制系統(tǒng)是以PLC可編程控制器和計算機為核心，性能和可靠性較高，價格略貴。 NJHL-A型和NJHL-B型能夠適合于不同的場合以及不同用戶的要求，在控制循環(huán)水腐蝕、結(jié)垢和菌藻的條件下，實現(xiàn)節(jié)省用水和用藥的目的。計算機用于自動加藥控制系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集和管理。采用大型數(shù)據(jù)庫軟件軟件，運行于Windows2000/Windows NT 操作系統(tǒng)，應(yīng)用軟件主要窗口有測量參數(shù)顯示面、控制系統(tǒng)流程顯示面、實時和歷史曲線顯示面、數(shù)據(jù)記錄顯示面、報警記錄顯示、水質(zhì)數(shù)據(jù)人工輸入顯示面、報表和曲線打印面等，能夠?qū)崿F(xiàn)企業(yè)連網(wǎng)。
南京工業(yè)大學
2021-04-13
工業(yè)冷卻水輔助制冷降溫技術(shù)
項目簡介 各種工業(yè)領(lǐng)域的冷卻水目前大都循環(huán)利用，最終通過涼水池、涼水塔將熱量散發(fā)到 大氣之中。但是，冷卻水在循環(huán)過程中會有蒸發(fā)損失，必須不斷地補充新水，排出部分 舊水，以維持水量和鹽分的平衡；此外，在夏季炎熱潮濕天氣下，涼水設(shè)施的散熱作用 大打折扣，回用冷卻水往往不能降低到工藝要求的溫度，從而嚴重影響正常生產(chǎn)。本技 術(shù)將空調(diào)制冷技術(shù)與蒸發(fā)散熱技術(shù)相結(jié)合，用于冷卻水的輔助降溫，通過消耗少量的能 源，減少新水消耗和污水排放，保證設(shè)備壽命，提高產(chǎn)品產(chǎn)量、收益率和質(zhì)量=。 性能
江蘇大學
2021-04-14
家庭盥浴中水收集利用裝置
本實用新型公開了一種中水回收利用裝置，尤其是一種家庭盥浴中水收集利用裝置。本實用新型提供了一種利用盥浴中水沖廁的家庭盥浴中水收集利用裝置，包括集水箱、排水管、沐浴中水排水管、沐浴單向閥、中水給水管、給水單向閥和給微型射流泵，所述集水箱的側(cè)壁靠近頂部處設(shè)置有溢水孔，所述集水箱的頂部設(shè)置有進水口，所述排水管與溢水孔連通；所述沐浴中水排水管的出口與集水箱相連通，并且沐浴中水排水管的進口高度高于出口高度，所述沐浴單向閥設(shè)置在沐浴中水排水管上并且其流向為朝向集水箱；所述中水給水管的進水口與集水箱相連通，所述給水單向閥設(shè)置在中水給水管上并且其流向為背向集水箱，所述給微型射流泵安裝在中水給水管上。
四川大學
2016-09-28
一種組合導水暗柱
主導水暗柱之間靠兩端直角 L 形搭接面緊密搭接，側(cè)向?qū)抵⒇Q向?qū)抵c主導水暗柱之間靠弧形面搭接并由連接桿連接。主導水暗柱、側(cè)向?qū)抵拓Q向?qū)抵Y(jié)構(gòu)為碎石混凝土筒并由親水型泡沫混凝土填充而成。
揚州大學
2021-04-14
一種水潤滑柱塞泵
本發(fā)明公開了一種水潤滑柱塞泵，包括殼體、左端蓋、右端蓋、 凸輪軸、配流閥塊、柱塞滑靴組件、壓縮彈簧和配流閥，殼體上安裝 左端蓋和所述右端蓋；凸輪軸的安裝在左端蓋和右端蓋上；配流閥塊 固定安裝在殼體上，其上設(shè)置有進流通道、出流通道和柱塞腔；柱塞 滑靴組件設(shè)置于柱塞腔處并伸入所述殼體內(nèi)，其包括柱塞和滑靴；壓 縮彈簧豎直設(shè)置于配流閥塊內(nèi)；配流閥塊在對應(yīng)于柱塞滑靴組件的位 置設(shè)置配流閥。本發(fā)明可以利用水作為介質(zhì)進行動靜壓混合支撐，動 靜壓混合支撐具有回轉(zhuǎn)精度高、速度和載荷范圍廣、摩擦阻力及功耗 小等優(yōu)點，解
華中科技大學
2021-04-14