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微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法
本發明公開了一種微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對有光刻膠掩膜的一面進行感應耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結構。本發明能有效提高皮拉尼計的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計與體
華中科技大學
2021-04-14
供應光纖光譜儀/微型光譜儀//長春博盛量子
產品詳細介紹 光纖光譜儀產品名稱： Maya2000-Pro產品名稱： S1024 高井深光譜儀產品名稱： QE65000科研級的光譜儀 產品名稱： NIR-256 溫度可調的近紅外(NIR)光譜儀 產品名稱： NIR-512 溫度可調的近紅外(NIR)光譜儀 產品名稱： HR4000高分辨率光譜儀 產品名稱： HR2000+高分辨率光譜儀 產品名稱： USB4000微型光譜儀特點? 5種觸發方式? 響應波長200-1100nm? 10μs積分時間? 光學分辨率（FWHM可達0.02nm） ? 電子快門可以防止飽和 ? 量子效率高達90％ ? 更高的系統靈敏度 ? 優異的紫外光響應能力 ? 滿足低亮度級別應用的條件? 板載微控器 ? 即插即用USB ? 光學平臺 ? 安裝和使用手冊 ? 采用附件 ? 規格應用范圍：適用于激光及環境檢測、成分分析等各種測量，而且小巧方便，價格較國內的許多光學儀器都非常的低廉，可以看做是一款近民用的光學儀器，非常適用于科學研究已經廣泛的應用在全國的各大院校當中
長春博盛量子科技有限公司
2021-08-23
直葉片變量泵定子內表面摩擦磨損檢測裝置
本實用新型公開了直葉片變量泵定子內表面摩擦磨損檢測裝置.目前沒有模擬單作用變量葉片泵在正常工況下摩擦磨損的測試儀.本實用新型的直葉片與葉片導槽的底部槽道構成滑動副;直葉片的底面與定子內曲線輪廓模擬凸輪構成凸輪副;加載環底面與直葉片頂面之間設有彈簧;加載裝置驅動加載環;壓力傳感器檢測直葉片和彈簧之間的壓力;速度傳感器檢測定子內曲線輪廓模擬凸輪轉速;檢測腔腔體經開關閥和檢測通道連接消光式粒度儀和消光式顆粒計數器;消光式粒度儀檢測液壓油中金屬顆粒的平均粒度,消光式顆粒計數器檢測液壓油中金屬顆粒數目.本實用新型可靠模擬直葉片變量泵工作環境,并測量磨損量.
杭州電子科技大學
2021-05-06
微泵功低品位熱驅動朗肯發電裝置
本發明公開了一種微泵功低品位熱驅動朗肯發電裝置,包括流體輸運單元和膨脹做功單元,所述流體輸運單元包括冷凝器、流體泵、儲液裝置、蒸發器;所述的膨脹做功單元包括汽輪機和發電機,所述的儲液裝置包括儲液罐以及儲液罐出入口處的流體截止裝置,各單元通過管路相連,儲液裝置內的流體流入蒸發器內被低品位熱加熱產生蒸汽,蒸汽進入汽輪機膨脹做功,帶動發電機發電。本發明的流體輸運單元的流體泵僅需克服流體在管道內流動的阻力,泵功消耗可大大減少,發電裝置的凈發電效率得到極大提高。
浙江大學
2021-04-11
海水液壓泵關鍵技術及產業化
水液壓傳動技術是當前流體傳動與控制領域的一個前沿熱點研究方向，在高層建筑滅火、食品加 工、高壓水射流清洗、潛器浮力調節、水下液壓機械手及作業工具等方面具有廣泛的應用前景。北京工 業大學流體傳動與控制中心經過長期實驗和實踐積累，在國內水液壓技術方面具有領先優勢，通過國家 863、國家自然科學基金等項目資助，已經掌握海水液壓泵的關鍵技術，并成功研制出多臺高可靠海水液 壓泵樣機， 樣機采用全水潤滑的盤配流軸向柱塞式結構，其額定工作壓力可達 14 MPa，額定轉速 1500 r/ min，工作流量在 100 L/min 左右，容積效率約為 85%，也可根據需要進行系列化設計，滿足不同工作壓力和流量需求。
北京工業大學
2021-04-13
一種平衡式大流量軸向柱塞泵
本發明公開了一種平衡式大流量軸向柱塞泵，包括：斜盤、缸體、柱塞、配流盤、殼 體、傳動軸；所述缸體內設置多排同心圓分布的柱塞孔；所述配流盤設置多排吸、排油口； 所述殼體將配流盤的多個排油口連通接入一個出油口，將配流盤的多個吸油口連通接入一個 進油口。所述斜盤包含多個呈層次設置的臺階式斜面，層次相鄰的兩斜面傾角呈相反方向設 置；每一層所述的斜面上均設有通過滑靴與之連接的柱塞，位于同一層斜面上的柱塞對應缸 體內與之相配的位于同一排同心圓上的柱塞孔。本發明可以實現柱塞泵高速高壓運轉下，保 持軸向柱塞泵關鍵零部件如缸體、配流盤等的軸向液壓力的平衡，同時，可以在不明顯增大 軸向柱塞泵的體積和重量的情況下，實現大排量。
安徽理工大學
2021-04-13
海水液壓泵關鍵技術及產業化
北京工業大學
2021-04-14
一種具有間歇冷卻功能的球形泵
本發明公開了一種具有間歇冷卻功能的球形泵，其包括相連接 的缸體座及主軸支架、轉盤、主軸及主軸軸套。所述球形泵上端開設 有第一回流通道、球形腔及與所述球形腔相連通的導液孔。所述缸體 座開設有第一凹槽及與所述第一凹槽相連通的第二凹槽;所述缸體座 還開設有與所述第一回流通道相連通的第二回流通道。所述主軸支架 開設有第三凹槽及與所述第三凹槽相連通的第二冷卻通道;所述轉盤 的一端收容在所述球形腔內，另一端連接于所述主軸，所述轉盤開設 有噴液孔，其通過轉動使所述噴液孔與所述導液孔相連通或者相隔離。 所述主軸的一
華中科技大學
2021-04-14
一種刻槽軸承動壓懸浮機械泵
本發明屬于機械泵領域，并公開了一種刻槽軸承動壓懸浮機械泵，包括蝸殼、上端蓋、葉輪、無刷電機、防水套筒和水潤滑螺旋槽推力軸承，所述蝸殼上設置有進水通道和出水通道；所述無刷電機包括電機外殼、硅鋼片、線圈、磁鋼轉子、防水套筒、轉子套筒和轉子轉軸；所述磁鋼轉子的上方和下方分別設置一組所述水潤滑螺旋槽推力軸承，每組所述水潤滑螺旋槽推力軸承均包括靜環和帶有螺旋槽的動環。本機械泵工作時，液體通過上端蓋的中間進水孔，進入到電機
華中科技大學
2021-04-14
一種高溫超導線圈磁通泵設備
本實用新型公開了一種高溫超導線圈磁通泵設備，包括磁路、三相電繞組、直流電線圈、超導線圈定子和超導線圈，磁路首尾相連形成封閉線路，并依次被分為第一段、第二段、第三段和第四段，第一段和第三段上下對應設置，第二段和第四段左右對應設置，第一段上設有線圈繞槽，線圈繞槽位于磁路構成的封閉線路內側，三相電繞組繞制在線圈繞槽上，直流電線圈分別設置在磁路的第二段和第四段上，超導線圈設置在磁路外側與超導線圈定子相連并形成閉合回路，磁路的第三段從超導線圈定子與超導線圈構成的封閉回路內側穿過。解決高溫超導磁體在持續電流模式下運行的難題，同時解決高溫超導磁體直流電源設備昂貴，制冷系統負擔大，制冷成本高的問題。
四川大學
2017-12-28