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目前半導體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團的成膜材料和光產(chǎn)酸劑組成，這種體系最大的問題是光產(chǎn)酸在后烘階段會發(fā)生酸遷移，導致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產(chǎn)酸劑，且其光產(chǎn)酸是高分子強酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產(chǎn)酸基團的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們在曝光過程中產(chǎn)生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產(chǎn)酸劑與其它成膜材料一起組成化學增幅型光致抗蝕劑。 以之為產(chǎn)酸劑與其它部分保護的對羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護部分酚羥基，由其組成了單組分的化學增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現(xiàn)。   利用高分子產(chǎn)酸劑透明性好的特點，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達5：1的光刻圖形：   在此基礎上，還制備了負型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現(xiàn)。這些高分子光產(chǎn)酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應條件溫和可控，去金屬雜質(zhì)的方法也是簡便易行，成本相對低廉，在經(jīng)過多年的深入研究之后，完全具備了產(chǎn)業(yè)化的條件。 半導體加工的關(guān)鍵設備、材料主要掌握在美、日手中，對我國電子工業(yè)的平穩(wěn)發(fā)展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關(guān)鍵材料，日本公司的產(chǎn)品占據(jù)全球市場的70%以上，而我國在中高端產(chǎn)品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進口，即便是低端的i-線光刻膠國產(chǎn)化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉(zhuǎn)這種不利的局面，這需要科研工作者和產(chǎn)業(yè)界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會的廣泛關(guān)注，已有多家企業(yè)開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，但絕大部分仍處于研發(fā)階段。我們研制的光刻膠具備了產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)條件并具有與國外先進光刻膠產(chǎn)品競爭的產(chǎn)品性能。    半導體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結(jié)果，也在致力于這些光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。 相關(guān)項目、專利及文章： 1.國家重大科技專項（02專項）子課題,課題編號:2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產(chǎn)酸劑及新型成膜樹脂的擴試技術(shù)研究） 2.國家自然科學基金應急管理項目，51641301, 含光產(chǎn)酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產(chǎn)酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應用，中國發(fā)明專利，專利號：9。

成果描述：癲癇是一種由于神經(jīng)元異常放電所致的反復發(fā)作的慢性綜合征，為常見疾病，全球患病率約5‰～10‰，每年每萬人中約有20～70個新發(fā)病例。除部分患者能通過手術(shù)等方式針 對病因進行治療外，大部分患者需要長期服用抗癲癇藥物(Antiepileptic Drugs, AEDs)。雖然目前世界上批準上市的AEDs超過20種，但現(xiàn)有AEDs單藥或聯(lián)合治療后，仍有約1/3的患者呈現(xiàn)藥物抵抗，為難治性癲癇，因此藥品研發(fā)人員一直在致力于開發(fā)新的抗癲癇藥。2012年10月美國FDA批準了一種新型口服抗癲癇藥吡侖帕奈(perampanel)。 吡侖帕奈是第一個被批準上市的AMPA受體拮抗劑AEDs，臨床試驗已證實其在輔助治療癲癇部分發(fā)作方面有明確的臨床療效，為難治性癲癇患者提供了一個新的用藥選擇。目前，國內(nèi)多家一線藥企已經(jīng)開始在國內(nèi)申報新藥批件。 技術(shù)目前處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。由于其原料藥制備工藝復雜，原料成本昂貴，從而對開發(fā)工作及市場拓展帶來一系列困難。經(jīng)過研發(fā)團隊的攻關(guān)，使用新型催化劑，極大地降低了原料及生產(chǎn)成本，并已經(jīng)進入小批量化生產(chǎn)。目前，是國內(nèi)唯一的關(guān)鍵中間體供應商，客戶包括國內(nèi)四家一線藥企，并出口進入國際市場，完成了相關(guān)的國外DMF文件注冊。市場前景分析：全球患病率約為5‰～10‰，每年每萬人中約有20～70個新發(fā)病例[1]。除部分患者能通過手術(shù)等方式針對病因進行治療外，大部分患者需要長期服用抗癲癇藥物。與同類成果相比的優(yōu)勢分析：HPLC>99%,國內(nèi)先進。

隨著機器學習與人工智能的發(fā)展，傳統(tǒng)的CPU已經(jīng)無法滿足大規(guī)模神經(jīng)網(wǎng)絡訓練的需要。在當前機器學習與神經(jīng)網(wǎng)絡的熱潮下，美國互聯(lián)網(wǎng)和IC巨頭紛紛推出自己的神經(jīng)網(wǎng)絡/人工智能芯片，搶占這一未來市場。我們研發(fā)的神經(jīng)網(wǎng)絡/人工智能芯片可以驗證多種深度學習算法及應用，具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，是將來可以挑戰(zhàn)美國人工智能芯片領(lǐng)域的一個重要突破。

柔性電子紙顯示具有低功耗、輕薄、可讀性強等優(yōu)勢，廣泛應用于戶外顯示、廣告牌、電子價簽、電 子書閱讀器等，其中彩色化、快速響應電子紙為主要的技術(shù)難點；瞄準此一趨勢，本團隊近年來對電子紙 顯示相關(guān)材料、工藝、驅(qū)動和系統(tǒng)集成進行了系統(tǒng)的研究，主要工作包括： （1）材料端：黑白/彩色粒子帶電修飾、電子墨水配方調(diào)制、微膠囊的合成； （2）工藝端：膠囊涂布液調(diào)配/涂布/成膜工藝、防水氧封裝、介電層改性； （3）驅(qū)動/系統(tǒng)集成端：驅(qū)動波形設計、基于機器學習的殘影識別、大尺寸電子屏幕拼接技術(shù)。 在此基礎上，目前已實現(xiàn)快速響應的電子紙膜片制備（響應時間比傳統(tǒng)提升80%以上）和基于轉(zhuǎn)印工 藝的全彩化彩色電子紙（三個亞像素的色域達到NTSC 13.7%，四個亞像素的色域達到NTSC 6.04%，高于 彩色濾光膜法3.14%）；在應用端，完成了大尺寸柔性彩色電子紙樣機demo（31英寸），在后期的應用場 景上，還將包含電子紙藝術(shù)品裝飾、可拉伸及紙基電子紙的制備，逐步建立起從材料、工藝、驅(qū)動系統(tǒng)到 器件應用的一體化產(chǎn)業(yè)規(guī)劃。目前，相關(guān)技術(shù)積累已完成一項國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃（863計劃）

"該項目基于虛擬現(xiàn)實技術(shù)，還原現(xiàn)場真實三維場景，綜合集成物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)等現(xiàn)代信息技術(shù)，在“真實”的三維環(huán)境中，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的“所見即所得”及各種交互式應用。三維可視化綜合管理平臺包括： 1）三維數(shù)字化工廠；2）三維可視化生產(chǎn)運行管理系統(tǒng)；3）三維可視化設備管理系統(tǒng)——特種設備管理系統(tǒng)；4）三維可視化設備管理系統(tǒng)——管線管理系統(tǒng)；5）三維可視化設備管理系統(tǒng)——通用設備管理系統(tǒng)；6）設備健康管理——設備運行仿真與優(yōu)化，設備運行狀態(tài)監(jiān)測，故障診斷與預測；7）三維可視化安全管理——三維數(shù)字化應急預案，應急預案模擬演練，警示教育與事故再現(xiàn)；8）交互式技能培訓。 “三維可視化綜合管理平臺”用戶已達20多家，其中很多是長期客戶，用戶涵蓋石油、化工、鋼鐵、電力、鐵路、水利、民航、機械制造、軍事、教育、智慧城市（園區(qū)）等行業(yè)，合同額1000多萬元。隨著“中國制造2025”戰(zhàn)略的實施，智能制造、智能工廠建設已開始全面啟動，“三維可視化綜合管理平臺”的市場前景將越來越廣闊。 "

聚合物多孔材料在高技術(shù)領(lǐng)域有可觀的應用前景，如作為有機合成催化劑載體、生物組織工程支架等。通過高內(nèi)相乳液模板法（HIPEs）制備的聚合物多孔材料具有孔徑和孔容積可調(diào)等優(yōu)點，是極具工業(yè)價值的一種技術(shù)。但前人的工作都基于乳液經(jīng)典理論：Bancroft規(guī)則即水包油型的乳液只能采用水溶性的乳化劑，油包水型的乳液只能采用油溶性的乳化劑，這嚴重限制了以高內(nèi)相乳液為模板制成的聚合物多孔材料的直接應用，迫使其在使用前必須經(jīng)由復雜的表面功能化；且傳統(tǒng)方法在制備穩(wěn)定高內(nèi)相乳液時，乳化劑占有機相5-70 wt%，大大增加了高內(nèi)相乳液制備成本，并造成環(huán)境污染。本項目以一步法制備功能化聚合物多孔材料及降低HIPEs制備過程乳化劑用量為技術(shù)特點，以僅占有機相0.8 wt% 的水溶性乳化劑為穩(wěn)定劑，獲得穩(wěn)定的、水相體積分數(shù)達96.3vol% 的油包水型高內(nèi)相乳液，并聚合得到功能化聚苯乙烯-二乙烯基苯基多孔材料。該多孔材料已成功地用作有機合成的微反應器和催化劑載體，避免了高毒性有機錫類催化劑的使用，為聚合物多孔材料在綠色化學工業(yè)中直接應用提供新的途徑。

本發(fā)明公開了一種自動化數(shù)據(jù)挖掘預處理方法，其特征在于， 包括：建立數(shù)據(jù)庫和預處理規(guī)則庫，在該數(shù)據(jù)庫中新建數(shù)據(jù)表且標準 化命名，將待預處理數(shù)據(jù)進行抽樣后導入新建數(shù)據(jù)表中，同時對抽樣 后的預處理數(shù)據(jù)的每一個字段的值進行數(shù)理統(tǒng)計；提取數(shù)據(jù)表的關(guān)鍵 字 A、B 和 C，在預處理規(guī)則庫中查詢是否存在這些關(guān)鍵字，如果不 存在則將數(shù)據(jù)表的關(guān)鍵字和所有字段添加到預處理規(guī)則庫中，然后采 用分箱法和數(shù)據(jù)平滑法對所有預處理數(shù)據(jù)進行處理，以生成新的規(guī)則， 并將其添加到原有規(guī)則庫中。本發(fā)明通過對預處理結(jié)果進行評分和反 饋，調(diào)整字段映射函數(shù)，提高預處理的質(zhì)量。

法拉第激光是一種新型的利用鉀、銣、銫原子譜線等作為量子頻率參考的半導體激光器，它采用法拉第原子濾光技術(shù)，實現(xiàn)輸出波長與原子多普勒譜直接相對應，擺脫外界振動、溫度變化和電流波動對輸出激光波長頻率的干擾，摒棄了復雜的鎖頻系統(tǒng)。

小型化高穩(wěn)定度光頻原子鐘是一項結(jié)合小體積和高穩(wěn)定度優(yōu)點的時頻計量科學儀器設備，性能指標超越傳統(tǒng)微波原子鐘，基于創(chuàng)新性的研究方案，克服了光晶格鐘和離子光鐘普遍存在的體積龐大、系統(tǒng)復雜的問題，具有巨大的應用前景和產(chǎn)業(yè)化能力。該項目已實現(xiàn)基于鈣、銣、銫不同原子體系的小型化高穩(wěn)定度光頻原子鐘。在鈣原子方面，創(chuàng)新性提出熱原子能級轉(zhuǎn)移探測方案被國際著名研究單位廣泛引用效仿。在銣、銫原子方面，通過與國內(nèi)科研機構(gòu)的項目合作，實現(xiàn)了研究成果處于國際先進水平的小型化高穩(wěn)定度光頻原子鐘。

地下礦物資源（如煤炭）被采出后，開采區(qū)域周圍巖體原始的應力平衡狀態(tài)遭到破壞，使得應力重新分布并達到新的平衡，在此過程中，巖體和地表將產(chǎn)生移動和變形，這種現(xiàn)象稱為“開采沉陷”。開采沉陷是典型的人類活動所誘發(fā)的環(huán)境災害，導致礦區(qū)及其周邊自然環(huán)境的污染和資源的破壞。因地下開采所引起或誘發(fā)的礦區(qū)建筑物損壞、地表沉陷、地表開裂以及山體滑坡、水資源枯竭等各種地質(zhì)環(huán)境災害，已經(jīng)成為危害礦區(qū)人們生產(chǎn)和生活的主要災害來源，給各礦區(qū)的經(jīng)濟發(fā)展和人民生命財產(chǎn)造成了巨大損失。據(jù)不完全統(tǒng)計，我國僅采煤塌陷就以 200 平方千米的速度逐年增加，這對礦區(qū)的自然環(huán)境構(gòu)成了嚴重威脅。因此，開采沉陷區(qū)的環(huán)境資源損害評價、環(huán)境保護及治理問題，直接關(guān)系到礦區(qū)的經(jīng)濟發(fā)展與社會穩(wěn)定，同時也關(guān)系到礦區(qū)的可持續(xù)發(fā)展，是我國各大礦區(qū)正面臨的嚴峻的問題。       基于此，多年來，團隊廣泛運用開采沉陷學、環(huán)境經(jīng)濟學、計算機科學、信息技術(shù)等學科理論構(gòu)建了一套科學、合理的開采沉陷區(qū)環(huán)境資源損害評價理論體系，結(jié)合礦區(qū)實際，本著靈活性、實用性的原則抽象出評價系統(tǒng)執(zhí)行體系，并引入三維數(shù)據(jù)場及地理信息系統(tǒng)(GIS)可視化技術(shù)，開發(fā)了礦山開采沉陷環(huán)境資源損害可視化評價系統(tǒng)，實現(xiàn)了開采沉陷與環(huán)境資源損害評價一體化研究。研究成果獲得山東省科技進步二等獎 1 項。